【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种太阳能电池硅片刻蚀检测仪，其特征在于：包括其上设有凸台的测试台、调节杆、底部具有与所述凸台相适配的凹陷的滑动面板、探针架和升降机构，所述滑动面板置于所述测试台的凸台上，所述滑动面板侧边设有齿条，所述调节杆的外圈上有与所述齿条啮合的齿形，所述调节杆紧靠滑动面板的侧边齿条通过自转驱动所述滑动面板在所述凸台上滑移，且所述调节杆上标有读出所述滑动面板移动距离的刻度，所述探针架从所述滑动面板的顶部延伸到前端面，由位于所述探针架上方的所述升降机构控制所述探针架上升及下降，所述探针架的底部装有两个具有弹性的所述探针，分别与万用表的正负电极相连。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：王守志，勾宪芳，王鹏，姜利凯，
申请(专利权)人：中节能太阳能科技镇江有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏;32
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