半导体封装产品的清洗机台制造技术

技术编号:6717758 阅读:227 留言:0更新日期:2012-04-11 18:40
本实用新型专利技术公开了一种半导体封装产品的清洗机台,所述清洗机台包括:控制面板,位于机台正面的上部,用于实现清洗过程的控制;清洗作业区,位于机台正面的中部,呈中空槽状,所述作业区包括一个以上的清洗槽,且所述清洗机台对应各清洗槽设有超声波发生装置,以利用超声波对所述清洗槽内的半导体封装产品进行清洗;以及干燥区,用于对清洗后的产品进行干燥。所述清洗工艺包括超声波化学清洗、超声波水洗及干燥步骤,经清洗后,半导体封装产品上的残胶可以基本被完全去除,极大地提高了产品性能,同时便于后续产品功能测试。(*该技术在2020年保护过期,可自由使用*)

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种半导体封装产品的清洗机台,其特征在于,所述清洗机台包括:  控制面板,位于机台正面的上部;  清洗作业区,位于机台正面的中部,呈中空槽状,所述作业区包括一个以上的清洗槽,且所述清洗机台对应各清洗槽设有超声波发生装置;以及  对清洗后的产品进行干燥的干燥区。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:王超李志卫陈武伟
申请(专利权)人:嘉盛半导体苏州有限公司
类型:实用新型
国别省市:32

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