衬底传送设备和处理设备及使用所述设备的衬底处理方法技术

提供一种在腔室内沿着两个方向水平地传送衬底的衬底传送设备、一种具有衬底传送设备的衬底处理设备以及一种使用衬底传送设备的衬底处理方法。衬底传送设备包含：多个辊，其经配置以支撑并水平地传送衬底；多个辊驱动单元，其经配置以向多个辊提供旋转力；辊升降单元，其经配置以垂直操作多个辊；以及多个轴连接部件，其连接于多个辊的驱动轴与辊驱动单元的驱动轴之间以传输旋转力，多个轴连接部件维持多个辊的驱动轴与辊驱动单元的驱动轴之间的连接状态，所述多个辊的驱动轴与辊驱动单元的驱动轴通过辊升降单元而安置于彼此不同的高度处。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及衬底传送设备(substrate transferring apparatus)、衬底处理设备 (substrate processing apparatus)以及使用衬底传送设备的衬底处理方法，且更特定来说，涉及在腔室(chamber)内沿着两个方向水平地传送衬底的衬底传送设备、具有衬底传送设备的衬底处理设备，以及使用衬底传送设备的衬底处理方法。
技术介绍
近来，对具有例如细长轮廓(slim profile)、轻重量(lightweight)、低功率消耗 (low power consumption)等优良特性的平板显示器(flat panel display, FPD)的需求日益增加。除此之外，正在积极开发具有优良的色彩再现(colorr印roduction)的液晶显 Tj^器(liquid crystal display, LCD)。在用于制造此FPD的衬底处理设备中，可在衬底上形成图案(pattern)或可在衬底上沉积其它薄膜。为此，可应用物理气相沉积(physical vapord印osition)PVD方法或化学气相沉禾只(chemical vapor deposition) CVD 方法。在现有技术衬底处理设备中，由于衬底尺寸较大，因此在衬底垂直竖立的状态下将衬底加载到腔室中以处理衬底。此处，在衬底安装在用于传送衬底的载体(carrier)上的状态下将衬底加载到腔室中和从腔室中卸载。而且，通过安置于腔室内的衬底传送设备将衬底水平地传送到衬底处理位置。当将衬底加载到腔室中时，载体的上端(upper end)由使用磁性(magnetism) 的导引单元(guide unit)支撑以防止载体倾斜。载体的下端(Iowerend)安放于多个辊 (rollers)上以沿着加载方向(loading direction)水平地传送载体。而且，为了改善衬底的处理效率，在与加载或卸载方向交叉的方向(下文中称为“处理方向”)上水平地传送衬底，以允许衬底接近衬底处理单元(例如，目标)。然而，在现有技术衬底传送设备中，由于当在处理方向上水平地传送衬底时导引单元或多个辊会中断衬底的传送，因此应垂直操作导引单元或辊。在现有技术衬底传送设备中，垂直操作导引单元，之后在处理方向上传送完全在加载方向上传送的衬底，这样的局限是在腔室内的操作因素可能增加，从而增加微粒 (particles)产生的可能性。因此，这样的局限是衬底可能被微粒污染或损坏，从而增加衬底缺陷率(substrate defect rate)。另外，这样的局限是用于传送衬底的过程的数目增加了，从而增加了处理衬底的处理时间，进而降低生产率。而且，垂直操作辊的现有技术衬底传送设备具有一种结构，其中安置于腔室内的辊的驱动轴(driving shafts)和安置于腔室外的辊驱动单元的驱动轴通过辊的垂直操作而彼此重复地耦合和分离。因此，衬底传送设备具有复杂结构。因此，这样的局限在于需要许多成本来制造衬底传送设备和包含衬底传送设备的衬底处理设备。而且，难以使彼此重复地耦合和分离的驱动轴对准。因此，难以将从辊驱动单元供应的旋转力平稳地传输到辊。
技术实现思路
本专利技术提供一种用于将衬底传送到腔室中的设备、一种具有衬底传送设备的衬底处理设备，以及一种使用衬底传送设备的衬底处理方法。本专利技术还提供一种在腔室内在彼此交叉的两个方向(即，加载方向和处理方向) 中的水平方向上容易地传送垂直竖立衬底(vertically standingsubstrate)的衬底传送设备、一种具有所述衬底传送设备的衬底处理设备，以及一种使用所述衬底传送设备的衬底处理方法。本专利技术涉及一种衬底传送设备、一种衬底处理设备以及一种衬底处理方法。具体来说，本专利技术涉及一种在腔室内在两个方向中的水平方向上传送衬底的衬底传送设备、一种具有所述衬底传送设备的衬底处理设备，以及一种使用所述衬底传送设备的衬底处理方法。本专利技术还提供一种衬底传送设备，其中提供多个辊以用于通过其旋转而支撑并水平地传送衬底，且提供将向所述多个辊提供旋转力的多个辊驱动单元连接起来的轴连接部件(shaft connection members)，以容易地对准驱动轴且平稳地传输旋转力，本专利技术还提供一种具有所述衬底传送设备的衬底处理设备，以及使用所述衬底传送设备的衬底处理方法。根据示范性实施例，一种衬底传送设备包含多个辊，其经配置以支撑并水平地传送衬底；多个辊驱动单元，其经配置以向所述多个辊提供旋转力；辊升降单元(roller elevation unit)，其经配置以垂直操作所述多个辊；以及多个轴连接部件，其连接于所述多个辊的驱动轴与所述多个辊驱动单元的驱动轴之间以传输旋转力，所述多个轴连接部件连接所述多个辊的驱动轴与所述多个辊驱动单元的驱动轴，所述多个辊的驱动轴与所述多个辊驱动单元的驱动轴通过辊升降单元而安置于彼此不同的高度处。根据另一示范性实施例，一种衬底处理设备包含腔室(chamber)，其经配置以提供处理衬底的空间；衬底传送设备，其包含多个辊，其经配置以支撑并水平地传送衬底； 多个辊驱动单元，其经配置以向所述多个辊提供旋转力；辊升降单元，其经配置以垂直操作所述多个辊；以及多个轴连接部件，其连接于所述多个辊的驱动轴与所述多个辊驱动单元的驱动轴之间以传输旋转力，所述多个轴连接部件连接所述多个辊的驱动轴与所述多个辊驱动单元的驱动轴，所述多个辊的驱动轴与所述多个辊驱动单元的驱动轴通过辊升降单元而安置于彼此不同的高度处；以及衬底处理单元，其经配置以处理在腔室内水平地传送的衬底。根据又一示范性实施例，一种衬底处理方法包含准备衬底；将所述衬底加载于安置在腔室内的多个辊上，以沿着加载方向水平地传送所述衬底；在所述衬底的两侧被固定时，降下所述多个辊以使连接于所述多个辊的驱动轴与多个辊驱动单元的驱动轴之间的多个轴连接部件弯曲；在与所述加载方向交叉的水平方向上传送衬底以将衬底安置于处理位置处；升上所述多个辊以支撑衬底，使得所述多个辊的驱动轴和所述多个辊驱动单元的驱动轴与所述多个轴连接部件安置在一条直线上，且释放衬底的两侧的固定状态；以及处理衬底。附图说明从以下结合附图进行的描述中可更详细地理解示范性实施例，其中图1到图3是说明根据示范性实施例的衬底传送设备和包含衬底传送设备的衬底处理设备的内部配置的视图。图4是说明根据示范性实施例的衬底处理设备的内部配置的经修改的实例的视图。图5(a)和图5(b)是说明根据示范性实施例的多个轴连接部件的连接状态的视图。图6(a)到图6(c)是根据示范性实施例的导引单元的视图。图7是说明根据示范性实施例的衬底处理方法的流程图。图8 (a)到图8 (d)和图9 (a)到图9 (d)是说明根据示范性实施例的衬底处理设备的操作状态的视图。具体实施例方式下文中，将参考附图详细描述具体实施例。然而，本专利技术可以不同的形式体现，且不应解释为限于本文陈述的实施例。而是，提供这些实施例以使得本专利技术将为详尽且完整的，且将本专利技术的范围完全传达给所属领域的技术人员。相同参考标号始终指代相同元件。图1到图3是说明根据示范性实施例的衬底传送设备和包含衬底传送设备的衬底处理设备的内部配置的视图，且图4是说明根据示范性实施例的衬底处理设备的内部配本文档来自技高网...

【技术保护点】
输所述旋转力，所述多个轴连接部件维持所述多个辊的所述驱动轴与所述辊驱动单元的所述驱动轴之间的连接状态，所述多个辊的所述驱动轴与所述辊驱动单元的所述驱动轴通过所述辊升降单元而安置于彼此不同的高度处。１．一种衬底传送设备，其包括：多个辊，其经配置以支撑并水平地传送衬底；多个辊驱动单元，其经配置以向所述多个辊提供旋转力；辊升降单元，其经配置以垂直操作所述多个辊；以及多个轴连接部件，其连接于所述多个辊的驱动轴与所述辊驱动单元的驱动轴之间以传

【技术特征摘要】
...

【专利技术属性】
技术研发人员：郑钟范，崔益绮，黄秉寿，
申请(专利权)人：亚威科股份有限公司，大明工程股份有限公司，
类型：发明
国别省市：KR