硅片传输机器人Z轴双重限位机构制造技术

一种硅片传输机器人的Z轴双重限位机构。电子限位应用了光电传感器原理，属于无触点式的电子开关，限位精度高，无机械磨损、使用寿命长。机械硬限位使用金属材料，约束面积大、刚性高，有利于Z轴电机迅速产生过载力矩而报警断电，防止因电子限位失效而造成设备的其它损害。本发明专利技术限位作用可靠，在装配过程中无需调整。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及在半导体芯片设备制造领域内，一种硅片传输机器人的Z轴双重限位机构。本限位机构除具有电子限位机构外，还配有机械硬限位机构对Z轴运动极限位置进行限位。一旦发生电子限位故障时，机械硬限位机构能够可靠限位，在装配过程中无需调 整
技术介绍
使用电子限位对Z轴运动进行监测和控制，是硅片传输机器人中最常见的结构形式。是否需要再加装机械硬限位机构，是依据Z轴的负载情况而定的。一般来说，当硅片传输机器为单臂且Z轴行程不大时，可不安装机械硬限位。而硅片传输机器人为双臂且重量较大、Z轴行程较长时，则应安装机械硬限位。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种结构合理的硅片传输机器人的Z轴双重限位机构、具有限位作用可靠，无需调整等特点。本专利技术的专利技术目的实现过程为一种硅片传输机器人的Z轴双重限位机构包括Z 轴下端机械硬限位1、τ轴支撑滑块2、Z轴上端机械硬限位3、上端电子限位光电开关4、导轨5、Z轴电子限位上挡片6、导轨滑块7、Z轴电子限位下挡片8、下端电子限位光电开关9、 大立柱机构组合10。电子限位应用光电传感器原理，包括T轴支撑滑块2、上端电子限位光电开关4、导轨5、Z轴电子限位上挡片6、导轨滑块7、Z轴电子限位下挡片8、下端电子限位光电开关9、 大立柱机构组合10 ；上端电子限位光电开关4、下端电子限位光电开关9安装在大立柱10 上，上端电子限位光电开关4与下端电子限位光电开关9之间的距离，即是Z轴行程的距离；Z轴电子限位上挡片6、Z轴电子限位下挡片8安装在T轴支撑滑块2的侧面，当T轴支撑滑块2在传动丝母的带动下，通过导轨滑块7在导轨5上向上运动至规定位置时，Z轴电子限位上挡片6进入上端电子限位光电开关4的光路内并阻挡光路，使上端电子限位光电开关4输出信号，通过计算机控制Z轴电机停止运转，达到向上限位的目的。当T轴支撑滑块2在传动丝母的带动下，通过导轨滑块7在导轨5上向下运动至规定位置时，Z轴电子限位下挡片8进入下端电子限位光电开关9的光路内并阻挡光路，使下端电子限位光电开关 9输出信号，通过计算机控制Z轴电机停止运转，达到向下限位的目的。机械硬限位包括Z轴下端机械硬限位1、T轴支撑滑块2、Z轴上端机械硬限位3、 导轨5、导轨滑块7、大立柱机构组合10 ；Z轴下端机械硬限位1、Z轴上端机械硬限位3安装在大立柱10上，安装距离比电子限位每端长3 5mm ；两个机械硬限位的约束部位与T轴支撑滑块2侧翼的上下平面的被约束部位安装高度相同。当电子限位发生故障失效时，如 Z轴向下运动，T轴支撑滑块2侧翼底面直接与Z轴下端机械硬限位1接触，使Z轴电机因超载报警而停止运行；如Z轴向上运动，T轴支撑滑块2侧翼上面直接与Z轴上端机械硬限位3接触，使Z轴电机因超载报警而停止运行，从而达到限位的目的。所述Z轴双重限位机构两个机械硬限位的约束部位，在T轴支撑滑块2侧翼的上下平面上；所述Z轴电子限位上挡片6、Z轴电子限位下挡片8安装在T轴支撑滑块2的另一侧面平面上。本专利技术一种硅片传输机器人的Z轴双重限位机构，具有如下优点1、由于电子限位应用了光电传感器原理，属于无触点式的电子开关，因此在使用过程中，比较传统的触压式的触发信号传感器来说，限定位置精度较高，并且由于没有机械磨损、不会产生各种机械故障，有效提高了使用寿命。2、由于机械硬限位使用金属材料，且约束面积大、刚性高，有利于Z轴电机迅速产生过载力矩而报警断电，防止因电子限位失效而造成设备的其它损害。3、Z轴双重限位机构在装配过程中无需调整，简化了装配程序。附图说明图1为本专利技术一种硅片传输机器人的Z轴双重限位机构三维立体图。在图1中，具体数字表示1-Z轴下端机械硬限位、2-T轴支撑滑块、3-Z轴上端机械硬限位、4-上端电子限位光电开关、5-导轨、6-Z轴电子限位上挡片、7-导轨滑块、8-Z轴电子限位下挡片、9-下端电子限位光电开关、10-大立柱机构组合。具体实施例方式结合附图对本专利技术作进一步说明参照图1所示，一种硅片传输机器人的Z轴双重限位机构包括Z轴下端机械硬限位1、τ轴支撑滑块2、Ζ轴上端机械硬限位3、上端电子限位光电开关4、导轨5、Ζ轴电子限位上挡片6、导轨滑块7、Ζ轴电子限位下挡片8、下端电子限位光电开关9、大立柱机构组合 10。电子限位应用光电传感器原理，包括T轴支撑滑块2、上端电子限位光电开关4、导轨5、Ζ轴电子限位上挡片6、导轨滑块7、Ζ轴电子限位下挡片8、下端电子限位光电开关9、 大立柱机构组合10 ；上端电子限位光电开关4、下端电子限位光电开关9安装在大立柱10 上，上端电子限位光电开关4与下端电子限位光电开关9之间的距离，即是Z轴行程的距离；Z轴电子限位上挡片6、Ζ轴电子限位下挡片8安装在T轴支撑滑块2的侧面，当T轴支撑滑块2在传动丝母的带动下，通过导轨滑块7在导轨5上向上运动至规定位置时，Z轴电子限位上挡片6进入上端电子限位光电开关4的光路内并阻挡光路，使上端电子限位光电开关4输出信号，通过计算机控制Z轴电机停止运转，达到向上限位的目的。当T轴支撑滑块2在传动丝母的带动下，通过导轨滑块7在导轨5上向下运动至规定位置时，Z轴电子限位下挡片8进入下端电子限位光电开关9的光路内并阻挡光路，使下端电子限位光电开关 9输出信号，通过计算机控制Z轴电机停止运转，达到向下限位的目的。机械硬限位包括Z轴下端机械硬限位1、T轴支撑滑块2、Z轴上端机械硬限位3、 导轨5、导轨滑块7、大立柱机构组合10 ；Z轴下端机械硬限位1、Ζ轴上端机械硬限位3安装在大立柱10上，安装距离比电子限位每端长3 5mm ；两个机械硬限位的约束部位与T轴支撑滑块2侧翼的上下平面的被约束部位安装高度相同。当电子限位发生故障失效时，如Z轴向下运动，T轴支撑滑块2侧翼底面直接与Z轴下端机械硬限位1接触，使Z轴电机因超载报警而停止运行；如Z轴向上运动，T轴支撑滑块2侧翼上面直接与Z轴上端机械硬限位3接触，使Z轴电机因超载报警而停止运行，从而达到限位的目的。本文档来自技高网...

【技术保护点】
１．一种硅片传输机器人的Ｚ轴双重限位机构包括：Ｚ轴下端机械硬限位（１）、Ｔ轴支撑滑块（２）、Ｚ轴上端机械硬限位（３）、上端电子限位光电开关（４）、导轨（５）、Ｚ轴电子限位上挡片（６）、导轨滑块（７）、Ｚ轴电子限位下挡片（８）、下端电子限位光电开关（９）、大立柱机构组合（１０）；其特征在于：所述双重限位机构的电子限位应用光电传感器原理，包括Ｔ轴支撑滑块（２）、上端电子限位光电开关（４）、导轨（５）、Ｚ轴电子限位上挡片（６）、导轨滑块（７）、Ｚ轴电子限位下挡片（８）、下端电子限位光电开关（９）、大立柱机构组合（１０）；所述上端电子限位光电开关（４）、下端电子限位光电开关（９）安装在大立柱（１０）上，上端电子限位光电开关（４）与下端电子限位光电开关（９）之间的距离，即是Ｚ轴行程的距离；所述Ｚ轴电子限位上挡片（６）、Ｚ轴电子限位下挡片（８）安装在Ｔ轴支撑滑块（２）的侧面，当Ｔ轴支撑滑块（２）在传动丝母的带动下，通过导轨滑块（７）在导轨（５）上向上运动至规定位置时，Ｚ轴电子限位上挡片（６）进入上端电子限位光电开关（４）的光路内并阻挡光路，使上端电子限位光电开关（４）输出信号，通过计算机控制Ｚ轴电机停止运转，达到向上限位的目的；当Ｔ轴支撑滑块（２）在传动丝母的带动下，通过导轨滑块（７）在导轨（５）上向下运动至规定位置时，Ｚ轴电子限位下挡片（８）进入下端电子限位光电开关（９）的光路内并阻挡光路，使下端电子限位光电开关（９）输出信号，通过计算机控制Ｚ轴电机停止运转，达到向下限位的目的；所述机械硬限位包括Ｚ轴下端机械硬限位（１）、Ｔ轴支撑滑块（２）、Ｚ轴上端机械硬限位（３）、导轨（５）、导轨滑块（７）、大立柱机构组合（１０）；所述Ｚ轴下端机械硬限位（１）、Ｚ轴上端机械硬限位（３）安装在大立柱（１０）上，安装距离比电子限位每端长３～５ｍｍ；两个机械硬限位的约束部位与Ｔ轴支撑滑块（２）侧翼的上下平面的被约束部位安装高度相同；所述双重限位机构当电子限位发生故障失效时，在Ｚ轴向下运动的情况下，Ｔ轴支撑滑块（２）侧翼底面直接与Ｚ轴下端机械硬限位（１）接触，使Ｚ轴电机因超载报警而停止运行；在Ｚ轴向上运动的情况下，Ｔ轴支撑滑块（２）侧翼上面直接与Ｚ轴上端机械硬限位（３）接触，使Ｚ轴电机因超载报警而停止运行，从而达到限位的目的。...

【技术特征摘要】
1.一种硅片传输机器人的Z轴双重限位机构包括Z轴下端机械硬限位(1)、T轴支撑滑块O)、Z轴上端机械硬限位(3)、上端电子限位光电开关、导轨(5)、Z轴电子限位上挡片(6)、导轨滑块(7)、Z轴电子限位下挡片(8)、下端电子限位光电开关(9)、大立柱机构组合(10)；其特征在于所述双重限位机构的电子限位应用光电传感器原理，包括T轴支撑滑块O)、上端电子限位光电开关、导轨(5)、Z轴电子限位上挡片(6)、导轨滑块(7)、Z 轴电子限位下挡片(8)、下端电子限位光电开关(9)、大立柱机构组合(10)；所述上端电子限位光电开关G)、下端电子限位光电开关(9)安装在大立柱(10)上，上端电子限位光电开关⑷与下端电子限位光电开关(9)之间的距离，即是Z轴行程的距离；所述Z轴电子限位上挡片(6)、Z轴电子限位下挡片(8)安装在T轴支撑滑块⑵的侧面，当T轴支撑滑块(2) 在传动丝母的带动下，通过导轨滑块(7)在导轨( 上向上运动至规定位置时，Z轴电子限位上挡片(6)进入上端电子限位光电开关的光路内并阻挡光路，使上端电子限位光电开关⑷输出信号，通过计算机控制Z轴电机停止运转，达到向上限位的目的；当T轴支撑滑块(2)在传动丝母的带动下，通过导轨滑块(7)在导轨( 上向...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘延杰，吴明月，荣伟彬，孙立宁，
申请(专利权)人：哈尔滨工业大学，
类型：发明
国别省市：93