掩模对准机用的基板升降装置制造方法及图纸

本发明专利技术涉及一种掩模对准机用的基板升降装置，该装置包括：可变升降销，用于支撑基板；销板，设置成可升降；升降部，用于使所述销板升降；可变销板，结合有所述可变升降销；以及切换部，结合于所述可变销板，其中，所述切换部包括切换机构，所述切换机构以能够在支撑位置与隔开位置之间进行旋转的方式结合于切换主体，所述支撑位置是所述切换机构被所述销板支撑，使得所述可变销板随着所述销板升降而一同升降的位置，而所述隔开位置是所述切换机构从所述销板隔开，以使所述销板相对于所述可变销板独立地升降的位置。

【技术实现步骤摘要】
掩模对准机用的基板升降装置
本专利技术涉及在掩模对准机中用于使基板升降的基板升降装置。
技术介绍
通常，液晶显示装置(LCD，LiquidCrystalDisplay)、有机发光显示装置(OLED，OrganicLightEmittingDiodes)、等离子显示板(PDP，PlasmaDisplayPanel)、电泳显示装置(EPD，ElectrophoreticDisplay)等显示装置以及太阳能电池等产品的制造需要经过多种工艺。这种制造工艺包括对基板蒸镀薄膜的蒸镀工序、对蒸镀于基板的薄膜进行蚀刻的蚀刻工序等。通过蒸镀工序、蚀刻工序等在基板形成所需形态的薄膜时，会利用掩模(Mask)。此时，会在基板与掩模彼此粘合的状态下，进行对于基板的蒸镀工序、蚀刻工序等。其中，在进行对准基板与掩模之间的位置并粘合基板与掩模的工序时，会利用掩模对准机。为了对准基板与掩模之间的位置，掩模对准机包括基板升降装置。韩国公开专利公报第10-2014-0021832号(公开日：2014年2月21日)公开了关于掩模对准机的
技术介绍
。图1是现有技术的基板升降装置的概略俯视图，图2及图3是示例性地示出一般的基板和掩模的概略仰视图。参考图1至图3，现有技术的基板升降装置100包括通过升降单元(未示出)升降的销板110及结合于所述销板110的升降销120。所述升降销120用于支撑所述基板200。所述升降销120在支撑所述基板200的状态下，随着所述销板110升降而一同升降，并使所述基板200升降。所述销板110结合有多个所述升降销120。多个所述升降销120以彼此位于不同位置的方式结合于所述销板110，从而支撑所述基板200的彼此不同的位置。其中，在所述基板200中，被多个所述升降销120支撑的部分无法用作有效区域。因此，在所述基板200中，为了增大有效区域的大小，多个所述升降销120会配置为支撑所述基板200中被掩模300掩盖的部分。然而，如图2及图3所示，在所述基板200中，有效区域会根据产品的种类、大小等发生变更。因此，粘合于所述基板200的掩模300的形态也会发生变更，所以多个所述升降销120需要变更位置，以便与所述有效区域及所述掩模300的形态变更相对应。为此，现有技术的基板升降装置100形成为多个所述升降销120能够对所述销板110进行拆装。然而，现有技术的基板升降装置100需要由工人直接手动地对需要位置变更的多个升降销110进行拆装操作。例如，当对准如图2所示的基板200与掩模300之间的位置时，工人需要直接手动地将多个升降销120结合于所述销板110的第一区域111。然后，当变更为如图3所示的基板200和掩模300时，工人需要直接手动地从所述销板110的第一区域111分离多个升降销120，并将多个升降销120结合于所述销板110的第二区域112。因此，现有技术的基板升降装置100存在的问题在于，不仅变更所述升降销120的位置的变更操作存在困难，而且由于变更所述升降销120的位置的变更操作所耗费的时间增加，导致运行率降低。
技术实现思路
技术问题本专利技术为了解决如上所述的问题而提出，提供一种掩模对准机用的基板升降装置，该装置能够消除变更升降销的位置的变更操作中所存在的困难。本专利技术提供一种掩模对准机用的基板升降装置，该装置能够缩短变更升降销的位置的操作所耗费的时间，从而降低运行率降低的程度。技术方案为了解决如上所述的技术问题，本专利技术包括如下结构。本专利技术的掩模对准机用的基板升降装置可以包括：可变升降销，用于支撑基板；销板，设置成可升降；升降部，用于使所述销板升降；可变销板，结合有所述可变升降销；以及切换部，结合于所述可变销板。所述切换部可以包括切换主体，结合于所述可变销板；切换机构，可旋转地结合于所述切换主体。所述切换机构以能够在支撑位置与隔开位置之间以进行旋转的方式结合于所述切换主体，所述支撑位置是所述切换机构被所述销板支撑，使得所述可变销板随着所述销板升降而一同升降的位置，而所述隔开位置是所述切换机构从所述销板隔开，以使所述销板相对于所述可变销板独立地升降的位置。在所述切换机构位于所述支撑位置的状态下，当所述销板上升时，所述可变升降销位于支撑所述基板的位置，而在所述切换机构位于所述隔开位置的状态下，当所述销板上升时，所述可变升降销位于从所述基板隔开的位置。有益效果本专利技术能够实现如下效果。本专利技术能够在进行切换为使可变升降销可变地支撑基板的切换操作的过程中，防夹、防摩擦等，从而提高切换为使可变升降销可变地支撑基板的切换操作的准确性。附图说明图1是现有技术的基板升降装置的概略俯视图。图2及图3是示例性地示出一般的基板和掩模的概略仰视图。图4是本专利技术的掩模对准机用的基板升降装置的概略侧视图。图5是在本专利技术的掩模对准机用的基板升降装置中对于销板、升降销以及可变升降销的概略俯视图。图6是在本专利技术的掩模对准机用的基板升降装置中对于切换部的概略侧视图。图7是在本专利技术的掩模对准机用的基板升降装置中对于销板及切换部的概略俯视图。图8至图14是在本专利技术的掩模对准机用的基板升降装置中将切换部的动作以图7的I-I线为基准示出的概略截面图。图15是本专利技术的变形实施例的掩模对准机用的基板升降装置的概略侧视图。附图标记1：掩模对准机用的基板升降装置2：升降销(liftpin)3：销板(pinplate)4：升降部5：可变升降销6：可变销板7：切换部8：升降单元31：通孔32：支撑机构41：台(stage)42：驱动单元43：支撑部件71：切换主体72：切换机构73：升降机构74：弹性部件75：弹性机构具体实施方式以下，参照附图，对本专利技术的掩模对准机用的基板升降装置的实施例进行详细说明。参考图4，本专利技术的掩模对准机用的基板升降装置1设置于掩模对准机，所述掩模对准机能够对准基板200与掩模300之间的位置，并粘合所述基板200与所述掩模300。本专利技术的掩模对准机用的基板升降装置1在所述掩模对准机中，起支撑所述基板200并使其升降的功能。本专利技术的掩模对准机用的基板升降装置1可以包括销板3、升降部4、可变升降销5、可变销板6以及切换部7。本专利技术的掩模对准机用的基板升降装置1可以根据需要而进一步包括升降销2。以下，参照附图对所述升降销2、所述销板3、所述升降部4、所述可变升降销5、所述可变销板6以及所述切换部7进行具体的说明。参考图4及图5，所述升降销2用于支撑所述基板200。所述升降销2可以结合于所述销板3。因此，所述升降销2能够随着所述销板3升降而一同升降。所述升降销2以朝向所述销板3的上侧凸出的方式结合于所述销板3。所述升降销2能够插入在形成于所述掩模300的贯通孔(未示出)内，以支撑位于所述掩模300的上侧的基板200。所述升降销2本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种掩模对准机用的基板升降装置，其特征在于，包括：/n可变升降销，用于支撑基板；/n销板，设置成可升降；/n升降部，用于使所述销板升降；/n可变销板，结合有所述可变升降销；以及/n切换部，结合于所述可变销板，/n其中，所述切换部包括：切换主体，结合于所述可变销板；切换机构，可旋转地结合于所述切换主体，/n所述切换机构以能够在支撑位置与隔开位置之间进行旋转的方式结合于所述切换主体，所述支撑位置是所述切换机构被所述销板支撑，使得所述可变销板随着所述销板升降而一同升降的位置，而所述隔开位置是所述切换机构从所述销板隔开，以使所述销板相对于所述可变销板独立地升降的位置，/n在所述切换机构位于所述支撑位置的状态下，当所述销板上升时，所述可变升降销位于支撑所述基板的位置，而在所述切换机构位于所述隔开位置的状态下，当所述销板上升时，所述可变升降销位于从所述基板隔开的位置。/n

【技术特征摘要】
20190107 KR 10-2019-00018621.一种掩模对准机用的基板升降装置，其特征在于，包括：
可变升降销，用于支撑基板；
销板，设置成可升降；
升降部，用于使所述销板升降；
可变销板，结合有所述可变升降销；以及
切换部，结合于所述可变销板，
其中，所述切换部包括：切换主体，结合于所述可变销板；切换机构，可旋转地结合于所述切换主体，
所述切换机构以能够在支撑位置与隔开位置之间进行旋转的方式结合于所述切换主体，所述支撑位置是所述切换机构被所述销板支撑，使得所述可变销板随着所述销板升降而一同升降的位置，而所述隔开位置是所述切换机构从所述销板隔开，以使所述销板相对于所述可变销板独立地升降的位置，
在所述切换机构位于所述支撑位置的状态下，当所述销板上升时，所述可变升降销位于支撑所述基板的位置，而在所述切换机构位于所述隔开位置的状态下，当所述销板上升时，所述可变升降销位于从所述基板隔开的位置。


2.根据权利要求1所述的掩模对准机用的基板升降装置，其特征在于，
所述销板形成有通孔，
所述切换机构可旋转地结合于所述切换主体，以便在所述支撑位置突出到所述通孔的外侧，而在所述隔开位置仅配置于所述通孔的内侧，
所述升降部在所述切换机构位于所述支撑位置的状态下，使所述销板升降，以使所述销板支撑突出到所述通孔的外侧的切换机构，从而与所述切换机构一同升降，在所述切换机构位于所述隔开位置的状态下，使所述销板升降，以使所述销板通过仅配置于所述通孔的内侧的切换机构，从而相对于所述切换机构独立地升降。


3.根据权利要求2所述的掩模对准机用的基板升降装置，其特征在于，
所述切换机构以横卧方式位于所述支撑位置，以便突出到所述通孔的外侧，或者以竖立方式位于所述隔开位置，以便仅配置于所述通孔的内侧。


4.根据权利要求2所述的掩模对准机用的基板升降装置，其特征在于，
所述销板结合有支撑机构，所述支撑机构用于支撑位于所述支撑位置的切换机构，
所述切换机构包括切换部件，所述切换部件以旋转轴为中心朝向支撑方向旋转，以便突出到所述通孔的外侧，所述切换部件在所述支撑位置突出到所述通孔的外侧，而在所述隔开位置仅配置于所述通孔的内侧，
所述支撑机构包括第一支撑部件，所述第一支撑部件以限制所述切换机构朝向所述支撑方向可旋转的角度的方式支撑所述切换部件。


5.根据权利要求4所述的掩模对准机用的基板升降装置，其特征在于，
所述支撑机构包括第二支撑部件，所述第二支撑部件配置于被所述第一支撑部件支撑的切换部件的下侧，从而使所述支撑机构形成为朝向所述通孔侧的内侧开放，
所述切换部件在所述支撑位置被所述第一支撑部件支撑，同时从所述第二支撑部件隔开，并且通过所述支撑机构的开放的内侧，朝向所述隔开位置旋转。


6.根据权利要求4所述的掩模对准机用的基板升降装置，其特征在于，
所述支撑机构包括结合于所述第一支撑部件的附着部件，
所述附着部件利用磁性使突出到所述通孔的外侧的切换部件附着于所述第一支撑部件。


7.根据权利要求4所述的掩模对准机用的基板升降装置，其特征在于，
所述切换部件包括用于与所述支撑机构接触的切换辊，
所述切换辊通过与所述支撑机构的摩擦而旋转。


8.根据权利要求1所述的掩模对准机用的基板升降装置，其特征在于，
所述切换部包括可升降地结合于所述切换主体的升降机构，
所述升降机构朝向位于所述支撑位置的切换机构侧上升，从而对所述切换机构进行加压，
所述切换机构在位于所述支撑位置的状态下被所述升降机构加压，以旋转轴为中心朝向隔开方向旋转，从而位于所述隔开位置。


9.根据权利要求8...

【专利技术属性】
技术研发人员：郑钟晔，S·梁，
申请(专利权)人：亚威科股份有限公司，
类型：发明
国别省市：韩国;KR