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本发明涉及一种掩模对准机用的基板升降装置，该装置包括：可变升降销，用于支撑基板；销板，设置成可升降；升降部，用于使所述销板升降；可变销板，结合有所述可变升降销；以及切换部，结合于所述可变销板，其中，所述切换部包括切换机构，所述切换机构以能够...
该专利属于亚威科股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过亚威科股份有限公司授权不得商用。

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