掩膜版制造技术

本发明专利技术提供了掩膜版。该掩膜版包括：矩形区；两个夹爪区，两个所述夹爪区分别位于所述矩形区相对的两个边上，所述夹爪区具有彼此正对设置的第一边和第三边、第二边和第四边，所述第一边位于所述矩形区的边上，第二边和第四边之间的最小水平间距小于所述第一边的边长。由此，在对掩膜版进行张网时，可以有效改善掩膜版的平坦度和下垂量；而且相比现有的结构的掩膜版，本申请的掩膜版的夹爪区的数量较少，可以减弱张网使得复杂度和简化仿真；同时，可以突破对掩膜版尺寸的限定，设计尺寸更大的掩膜版。

【技术实现步骤摘要】
掩膜版
本专利技术涉及掩膜版

技术介绍
近年来，作为新一代显示技术，有机发光二极管(OLED)以其自发光，快速响应，温度适用范围广，可进行柔性显示等方面优势受到市场广泛追捧和认可。随着5G时代的到来，高品质、宽幅可折叠的手机屏幕炙手可热。同时，在中大尺寸方面OLED屏幕的市场占有率也越来越高，这对现有蒸镀工艺中精细金属掩膜版(FineMentalMask，简称FMM)的张网设备是一个挑战。目前普遍使用的精细金属掩膜版如图1(掩膜版100包括矩形区20和夹爪区10，其中，矩形区20包括显示区21和固定区22)所示，该结构的掩膜版一方面其设计本身会使来料存在边缘上翘，不利于掩膜版的AA区(显示区)21下垂量的改善；另一方面，随着目前OLED屏幕尺寸的扩大，这样的精细金属掩膜版的设计必然会增加夹爪区爪子(Gripper)的数量，这势必会增加精细金属掩膜版张网时的复杂度，不利于宽幅精细金属掩膜版的发展。因此，关于掩膜版的研究有待深入。
技术实现思路
本专利技术旨在至少在一定程度上解决相关技术中的技术问题之一。为此，本专利技术的一个目的在于提出一种掩膜版，在张网时，可以改善该掩膜版的下垂量或平坦度，或者减少掩膜版夹爪区的数量。在本专利技术的一个方面，本专利技术提供了一种掩膜版。根据本专利技术的实施例，该掩膜版包括：矩形区；两个夹爪区，两个所述夹爪区分别位于所述矩形区相对的两个边上，所述夹爪区具有彼此正对设置的第一边和第三边、第二边和第四边，所述第一边位于所述矩形区的边上，所述第二边和所述第四边之间的最小水平间距小于所述第一边的边长。由此，在对掩膜版进行张网时，可以有效改善掩膜版的平坦度和下垂量；而且相比现有的结构的掩膜版，本申请的掩膜版的夹爪区的数量较少，可以减弱张网使得复杂度和简化仿真；同时，可以突破对掩膜版尺寸的限定，设计尺寸更大的掩膜版。根据本专利技术的实施例，每个所述夹爪区包括至少两个间隔设置的子夹爪区，相邻两个所述子夹爪区之间具有凹槽。根据本专利技术的实施例，所述第二边包括相互连接的第一直线段和第一圆弧段，且所述第一圆弧段与所述矩形区相连；所述第四边包括相互连接的第二直线段和第二圆弧段，且所述第二圆弧段与所述矩形区相连。根据本专利技术的实施例，所述第一边、所述第一圆弧段和所述矩形区的第一顶点具有第一交点，所述第一边、所述第二圆弧段和所述矩形区的第二顶点具有第二交点，所述第一交点、所述第二交点以及所述凹槽的底部的最低点在同一直线上，其中，所述第一顶点为所述矩形区设置所述夹爪区的边靠近所述第二边的顶点，所述第二顶点为所述矩形区设置所述夹爪区的边靠近所述第四边的顶点。根据本专利技术的实施例，定义所述第一圆弧段靠近所述矩形区的顶点与所述第二圆弧段靠近所述矩形区的顶点之间的连线为第二直线，在所述第一直线段的长度方向上，所述凹槽的底部的最低点位于所述第二直线靠近所述矩形区的一侧或远离所述矩形区的一侧。根据本专利技术的实施例，所述掩膜版关于第一直线对称，所述第一直线与所述第一边相垂直，且过所述矩形区的中心点。根据本专利技术的实施例，在所述第一边的长度方向上，所述第一直线段与所述第一交点之间的水平间距和所述第二直线段与所述第二交点之间的水平间距之和为所述第一边边长的30％～40％。根据本专利技术的实施例，所述凹槽包括依次连接的第三直线段、第三圆弧段和第四直线段，其中，所述第一圆弧段和所述第二圆弧段的半径均为r1，所述第三圆弧段的半径为r2，其中，r1≥r2。根据本专利技术的实施例，r1-r2≤20毫米根据本专利技术的实施例，所述第一直线段、所述第二直线段、所述第三直线段和所述第四直线段的长度分别为10～20毫米。根据本专利技术的实施例，r1为15～30毫米，r2为15～25毫米。根据本专利技术的实施例，每个所述子夹爪区远离所述第一边的边长长度为10毫米～40毫米。附图说明图1是现有技术中掩膜版的结构示意图；图2是本专利技术一个实施例中掩膜版的结构示意图；图3是本专利技术另一个实施例中掩膜版的结构示意图；图4是本专利技术又一个实施例中掩膜版的结构示意图；图5是本专利技术又一个实施例中掩膜版的结构示意图；图6是实施例1和对比例1中掩膜版的下垂量曲线的仿真图；图7是本专利技术又一个实施例中掩膜版的结构示意图；图8是本专利技术又一个实施例中掩膜版的结构示意图；图9是对比例2中掩膜版的结构示意图；图10是实施例2-4和对比例2中掩膜版的下垂量曲线的仿真图。具体实施方式下面详细描述本专利技术的实施例。下面描述的实施例是示例性的，仅用于解释本专利技术，而不能理解为对本专利技术的限制。实施例中未注明具体技术或条件的，按照本领域内的文献所描述的技术或条件或者按照产品说明书进行。在本专利技术的一个方面，本专利技术提供了一种掩膜版。根据本专利技术的实施例，参照图2，该掩膜版100包括：矩形区；两个夹爪区10，两个夹爪区10分别位于矩形区20相对的两个边上，夹爪区10具有彼此正对设置的第一边11和第三边13、第二边12和第四边14，第一边11位于矩形区20的边上，第二边12和第四边14之间的最小水平间距D4小于第一边11的边长D3。由此，由于掩膜版的夹爪区10位于矩形区20边(比如掩膜版的短边)上的中间位置，而不是位于边缘位置，所以在对掩膜版100进行张网时，可以防止掩膜版不设置夹爪区相对的两个边上翘，进而有效改善掩膜版100(尤其是掩膜版的显示区21)的平坦度和下垂量，改善掩膜版在张网时出现的“M”型褶皱；而且相比现有的结构的掩膜版(由于张网设备的夹子的尺寸限制，夹爪区至少存在两个子夹爪区，如图1所示)，本申请的掩膜版的夹爪区的数量较少，可以减弱张网时的复杂度以及简化仿真；同时，可以突破对掩膜版尺寸的限定，设计尺寸更大的掩膜版。本领域技术人员可以理解，掩膜版100的矩形区20包括位于中间的显示区和设置在显示区两侧的固定区，其中，在张网时显示区正对应显示面板中蒸镀发光材料的区域，掩膜版的显示区具有多个阵列分布的多个开口，而开口与显示面板中蒸镀发光材料的多个区域一一对应。另外，在一些实施例中，夹爪区设置在掩膜板的短边上，如此可以更有利于提升张网时掩膜板的平坦度。根据本专利技术的实施例，该掩膜版为精细金属掩膜版，可用于真空蒸镀OLED器件中的发光材料。根据本专利技术的实施例，参照图3，每个夹爪区10包括至少两个间隔设置的子夹爪区15，相邻两个子夹爪区15之间具有凹槽16(图3中以两个子夹爪区为例)，也就是说，夹爪区10由多个被凹槽16间隔隔离设置的子夹爪区15组成。由此，对于大尺寸的掩膜版，可以设置多个子夹爪区，以便张网时张网设备的夹子更稳定的夹持子夹爪区，且使得掩膜版在夹持过程中受力均匀，保证掩膜版良好的平坦度。需要说明的是，如图3所示，当夹爪区包括至少两个子夹爪区时，夹爪区10的第三边13是指所有子夹爪区15远离矩形区的边，也就是说，夹爪区的第三边13的长度为所有子夹爪区15远离矩形区的边的长度d之和。根据本专利技术本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种掩膜版，其特征在于，包括：/n矩形区；/n两个夹爪区，两个所述夹爪区分别位于所述矩形区相对的两个边上，所述夹爪区具有彼此正对设置的第一边和第三边、第二边和第四边，所述第一边位于所述矩形区的边上，所述第二边和所述第四边之间的最小水平间距小于所述第一边的边长。/n

【技术特征摘要】
1.一种掩膜版，其特征在于，包括：
矩形区；
两个夹爪区，两个所述夹爪区分别位于所述矩形区相对的两个边上，所述夹爪区具有彼此正对设置的第一边和第三边、第二边和第四边，所述第一边位于所述矩形区的边上，所述第二边和所述第四边之间的最小水平间距小于所述第一边的边长。


2.根据权利要求1所述的掩膜版，其特征在于，每个所述夹爪区包括至少两个间隔设置的子夹爪区，相邻两个所述子夹爪区之间具有凹槽。


3.根据权利要求2所述的掩膜版，其特征在于，所述第二边包括相互连接的第一直线段和第一圆弧段，且所述第一圆弧段与所述矩形区相连；所述第四边包括相互连接的第二直线段和第二圆弧段，且所述第二圆弧段与所述矩形区相连。


4.根据权利要求3所述的掩膜版，其特征在于，所述第一边、所述第一圆弧段和所述矩形区的第一顶点具有第一交点，所述第一边、所述第二圆弧段和所述矩形区的第二顶点具有第二交点，所述第一交点、所述第二交点以及所述凹槽的底部的最低点在同一直线上，
其中，所述第一顶点为所述矩形区设置所述夹爪区的边靠近所述第二边的顶点，所述第二顶点为所述矩形区设置所述夹爪区的边靠近所述第四边的顶点。


5.根据权利要求3所述的掩膜版，其特征在于，定义所述第一圆弧段靠近所述矩形区的顶点与所述第二圆弧段靠近所述矩形区的顶点之间的连线为第二直线，在...

【专利技术属性】
技术研发人员：赵钰，徐鹏，
申请(专利权)人：京东方科技集团股份有限公司，成都京东方光电科技有限公司，
类型：发明
国别省市：北京;11