掩膜版制造技术

本发明专利技术提供了掩膜版。该掩膜版包括：矩形区；两个夹爪区，两个所述夹爪区分别位于所述矩形区相对的两个边上，所述夹爪区具有彼此正对设置的第一边和第三边、第二边和第四边，所述第一边位于所述矩形区的边上，第二边和第四边之间的最小水平间距小于所述第一边的边长。由此，在对掩膜版进行张网时，可以有效改善掩膜版的平坦度和下垂量；而且相比现有的结构的掩膜版，本申请的掩膜版的夹爪区的数量较少，可以减弱张网使得复杂度和简化仿真；同时，可以突破对掩膜版尺寸的限定，设计尺寸更大的掩膜版。

【技术实现步骤摘要】
掩膜版
本专利技术涉及掩膜版

技术介绍
近年来，作为新一代显示技术，有机发光二极管(OLED)以其自发光，快速响应，温度适用范围广，可进行柔性显示等方面优势受到市场广泛追捧和认可。随着5G时代的到来，高品质、宽幅可折叠的手机屏幕炙手可热。同时，在中大尺寸方面OLED屏幕的市场占有率也越来越高，这对现有蒸镀工艺中精细金属掩膜版(FineMentalMask，简称FMM)的张网设备是一个挑战。目前普遍使用的精细金属掩膜版如图1(掩膜版100包括矩形区20和夹爪区10，其中，矩形区20包括显示区21和固定区22)所示，该结构的掩膜版一方面其设计本身会使来料存在边缘上翘，不利于掩膜版的AA区(显示区)21下垂量的改善；另一方面，随着目前OLED屏幕尺寸的扩大，这样的精细金属掩膜版的设计必然会增加夹爪区爪子(Gripper)的数量，这势必会增加精细金属掩膜版张网时的复杂度，不利于宽幅精细金属掩膜版的发展。因此，关于掩膜版的研究有待深入。
技术实现思路
本专利技术旨在至少在一定程度上解决相关技术中的技术问题之一。为此，本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种掩膜版，其特征在于，包括：/n矩形区；/n两个夹爪区，两个所述夹爪区分别位于所述矩形区相对的两个边上，所述夹爪区具有彼此正对设置的第一边和第三边、第二边和第四边，所述第一边位于所述矩形区的边上，所述第二边和所述第四边之间的最小水平间距小于所述第一边的边长。/n

【技术特征摘要】
1.一种掩膜版，其特征在于，包括：
矩形区；
两个夹爪区，两个所述夹爪区分别位于所述矩形区相对的两个边上，所述夹爪区具有彼此正对设置的第一边和第三边、第二边和第四边，所述第一边位于所述矩形区的边上，所述第二边和所述第四边之间的最小水平间距小于所述第一边的边长。


2.根据权利要求1所述的掩膜版，其特征在于，每个所述夹爪区包括至少两个间隔设置的子夹爪区，相邻两个所述子夹爪区之间具有凹槽。


3.根据权利要求2所述的掩膜版，其特征在于，所述第二边包括相互连接的第一直线段和第一圆弧段，且所述第一圆弧段与所述矩形区相连；所述第四边包括相互连接的第二直线段和第二圆弧段，且所述第二圆弧段与所述矩形区相连。


4.根据权利要求3所述的掩膜版，其特征在于，所述第一边、所述第一圆弧段和所述矩形区的第一顶点具有第一交点，所述第一边、所述第二圆弧段和所述矩形区的第二顶点具有第二交点，所述第一交点、所述第二交点以及所述凹槽的底部的最低点在同一直线上，
其中，所述第一顶点为所述矩形区设置所述夹爪区的边靠近所述第二边的顶点，所述第二顶点为所述矩形区设置所述夹爪区的边靠近所述第四边的顶点。


5.根据权利要求3所述的掩膜版，其特征在于，定义所述第一圆弧段靠近所述矩形区的顶点与所述第二圆弧段靠近所述矩形区的顶点之间的连线为第二直线，在...

【专利技术属性】
技术研发人员：赵钰，徐鹏，
申请(专利权)人：京东方科技集团股份有限公司，成都京东方光电科技有限公司，
类型：发明
国别省市：北京;11