本发明专利技术提供一种托盘式基板输送系统、成膜方法和电子装置的制造方法，即使在移动载置基板时将基板向托盘移动载置的基板移动载置机构的精度低的情况下，也能够使托盘始终稳定地保持基板，能抑制在输送基板时基板自托盘偏移、破损、脱落的产生。在本发明专利技术的一实施方式中，在基板(102)被装载在第一托盘(106)上时加压机构对基板(102)施加压力，成为第一托盘(106)保持基板(102)的状态，将该第一托盘(106)安装到第二托盘(107)上，输送机构以第二托盘(107)倾斜的姿势输送到处理室(109)。在处理室(109)中，在减压状态下导入气体，使薄膜堆积在基板(102)上。
【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及使用托盘输送基板的托盘式基板输送系统，特别是涉及在进行减压下的成膜等处理的基板处理装置中输送基板所使用的系统。此外，本专利技术涉及使用这样的基板处理装置的成膜方法、电子装置的制造方法。另外，所谓“电子装置”，是指利用电子技术的所有装置，例如液晶显示器和等离子显示器等各种显示用元件、太阳能电池等。
技术介绍
在各种电子装置的制造过程中，需要对被处理物(以下称为基板)实施加热处理、 成膜处理等表面处理。例如，在液晶显示器中，需要在玻璃制的基板的板面(不是端面的面)进行形成透明电极的处理等。因为用于这样的处理的基板处理装置在规定的气氛下处理基板，所以具有构成为能够通过真空排气而减压或向内部导入规定的气体的腔室。而且，因为需要连续地进行不同的处理，或从大气压逐渐地降低压力等，所以形成具有多个腔室的结构。图4是表示作为以往的有代表性的基板处理技术的一个例子，用于立起地输送基板的立式输送在线(in-line)式基板处理装置的概略机构的图。立式输送在线式基板处理装置是在一条直线上纵向设有加载互锁真空室408和多个处理室409的结构，以贯穿加载互锁真空室408和多个处理室409的方式设有用于输送基板402的输送机构。在各室之间设有间阀404。基板402以被载置在托盘(或也称为第一托盘)406上的状态由输送机构依次输送到各室，例如进行成膜等处理。各室中的一个室是在搬入、搬出基板402时向大气开放的加载互锁真空室。在进行立式输送的在线式基板处理装置中，存在被保持在托盘上的基板由于输送时的振动而引起大的变形，导致基板破损和脱落的问题。特别是在处理G6代 (1500 )尺寸以上的玻璃基板时，基板本身的重量变重，以及随着近年来显示面板的薄型化要求基板的厚度也变薄，所以输送时变形的程度也较大，显著地出现基板的破损、脱落这样的问题。在解决上述的问题时，作为进行立式输送的在线式基板处理装置中的输送用托盘，在专利文献1中公开有如下的输送用托盘的结构，该输送用托盘在基板的处理面上具有利用使用了柔软的纤维材料的支承销支承基板的机构。此外，在专利文献2中公开有如下的结构，S卩，在输送用托盘下部设有用于吸收输送基板时的冲击的机构，相对于大型基板而言抑制基板的破损。专利文献1 日本特开2007-204824号公报专利文献2 日本特开2007-262539号公报如上所述，以往的在线式基板处理装置的托盘为以下的机构，S卩，安装嵌入有玻璃基板的方形的托盘，仅通过嵌入基板而保持该基板的机构。因而，托盘的基板嵌入空间只考虑了不对基板的外形尺寸加压就能够把持基板程度的余量。因此，将基板移动载置到托盘上的机构(机器人等)要求精度非常高的基板移动载置的动作。除此之外，随着基板的大型化发展，对于G6代(1800 X0.07 ) 尺寸的基板，基板的重量接近于^g，将基板移动载置到基板处理装置的托盘上时的机构要求非常高的精度，并且大型化且要求高装载重量，因此价格非常高。此外，在线式基板处理装置中，将基板嵌入托盘中而进行输送，但是，为了缩短基板处理时间，输送速度也要加快。除此之外，因为基板重量大，所以惯性也大，有可能产生在输送中基板自托盘位移，以及基板破损、脱落，因此寻求其对应措施。
技术实现思路
本专利技术是鉴于上述的问题而提出的，其目的在于，即使在移动载置基板时将基板向托盘移动载置的基板移动载置机构的精度低的情况下，也能够始终将基板相对于托盘稳定地保持，抑制在输送基板时基板自托盘偏移、破损、脱落的产生。本专利技术的第一技术方案是使用托盘输送基板的托盘式基板输送系统，其特征在于，包括第一托盘，能够装载上述基板；加压机构，在上述基板被装载在上述第一托盘上时通过对该基板的端面施加压力而将该基板保持在上述第一托盘上；第二托盘，上述第一托盘相对于该第二托盘能够装卸；输送机构，在从水平地配置被装载在上述第一托盘上的基板的状态立起该基板的状态下，输送安装有上述第一托盘的上述第二托盘。本专利技术的第二技术方案是一种成膜方法，其特征在于，包括以下步骤将基板装载到第一托盘上；通过对被装载在上述第一托盘上的上述基板的端面施加压力而将上述基板保持在上述第一托盘上；将保持有上述基板的第一托盘安装到第二托盘上；在从水平地配置被保持在上述第一托盘上的基板的状态立起该基板的状态下，将安装有上述第一托盘的上述第二托盘输送到腔室内；在上述腔室内，对被保持在由上述第二托盘输送且与该第二托盘一体化的上述第一托盘上的基板实施规定的处理。本专利技术的第三技术方案是用于保持并输送基板的托盘，其特征在于，包括第一托盘，能够装载基板；加压机构，设于上述第一托盘上，具有在上述基板被装载在该第一托盘上时与该基板的端面接触的面，该加压机构构成为利用该与该基板的端面接触的面对上述基板的端面施加压力，且上述与该基板的端面接触的面能够向上述第一托盘的内侧和外侧位移；第二托盘，上述第一托盘相对于该第二托盘能够装卸。根据本专利技术，即使在移动载置基板时将基板向托盘移动载置的基板移动载置机构的精度低的情况下，也能够使托盘始终稳定地保持基板，能抑制在输送基板时基板自托盘偏移、破损、脱落的产生。附图说明图1是本专利技术的一实施方式的基板输送系统和基板处理装置的概略图。图2是本专利技术的一实施方式的托盘的概略图。图3是本专利技术的一实施方式的托盘的概略图，(a)是表示第一托盘和第二托盘分离的状态的图，(b)是表示使第一托盘和合为一体的状态的图。图4是表示作为以往的有代表性的基板处理技术的一个例子，用于立起地输送基板的立式输送在线式基板处理装置的概略机构的图。图5是本专利技术的一实施方式的加压机构的示意图。图6是用于说明本专利技术的一实施方式的、基板向第一托盘进行设置的图。具体实施例方式以下，基于附图说明本专利技术的实施方式。另外，对在图中与图4说明的要素实质相同的要素，标注相同的附图标记。图1是本实施方式的基板输送系统和基板处理装置的概略图。图1所示的装置是立式输送的在线式装置。图1所示的基板处理装置包括基板输送机器人部103和装载多张基板102的多个盒部101。基板输送机器人部103发挥以下作用，即，将基板102自盒部101 移动载置到基板处理装置上的作用以及将处理完成的基板102回收到盒部101中的作用。在本实施方式中，能够装载基板的托盘(图3的(a)中的附图标记110)包括第一托盘106，具有用于保持基板的保持机构；第二托盘107，构成为能够与该第一托盘106分离，用于保持该第一托盘106。本实施方式的基板处理装置具有通过与基板输送机器人部103配合而将基板102 移动载置到第一托盘106上的载置台105。载置台105构成为，该载置台105的载置第一托盘106的载置面成为水平(与重力方向垂直的方向)，在将基板102载置到第一托盘106上时，第一托盘106被水平载置在载置台105上。因此，由基板输送机器人部103自盒部101 输送的基板102利用该基板输送机器人部103被水平移动载置到载置台105上的第一托盘 106上。在基板102被移动载置到第一托盘106上时，利用后述的加压机构对基板102施加压力而使该基板102保持在第一托盘106上。此时，例如利用自载置台105延伸的销状的机构能够暂时将输送机器人部103的基板102载置到该销状的机构后移动载置到第一本文档来自技高网...
【技术保护点】
１．一种托盘式基板输送系统，是使用托盘输送基板的托盘式基板输送系统，其特征在于，包括：第一托盘，能够装载上述基板；加压机构，在上述基板被装载在上述第一托盘上时通过对该基板的端面施加压力而将该基板保持在上述第一托盘上；第二托盘，上述第一托盘相对于该第二托盘能够装卸；输送机构，在从水平地配置被装载在上述第一托盘上的基板的状态立起该基板的状态下，输送安装有上述第一托盘的上述第二托盘。
【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：松井雅浩，
申请(专利权)人：佳能安内华股份有限公司，
类型：发明
国别省市：JP
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