【技术实现步骤摘要】
本技术属于用物理冶金技术提纯多晶硅的
,特别涉及一种感应熔炼多晶硅铸锭炉。
技术介绍
高纯多晶硅是制备太阳能电池的主要原料。目前多晶硅感应熔炼炉是冶金法提纯多晶硅的重要设备,该设备可以使多晶硅原料从块状或粉状熔化冷却后形成铸锭,铸锭经过切方和切片就可以制作太阳能电池片。以前的定向凝固设备的设计中,定向凝固冷源都是使用一层隔热板隔热,铸锭的散热能力不可控制。只要隔热板一打开,整个底部都在散热,能量消耗较大。
技术实现思路
本技术的目的是克服上述不足问题,提供一种双开拉板式散热的感应熔炼多晶硅铸锭炉,对传统底部散热的装置进行了改进,设计使用双开拉板的散热方式,改善感应熔炼中的热场分布,增加了能量的利用率,降低了成本。本技术为实现上述目的所采用的技术方案是:一种双开拉板式散热的感应熔炼多晶硅铸锭炉,感应线圈的内部安装上保温套筒,上保温套筒的上面安装保温套盖,保温套盖通过保温盖连杆连接到炉盖上,保温套筒的里面安装石墨套筒,保温套筒和石墨套筒共同固定在支架上,炉底部分水冷铜托盘通过底座支架连接在炉底盖上,石墨支架直接支撑在水冷铜托盘上,石墨支架上支撑安装石墨托盘,石墨托盘上面是石墨坩埚,石墨坩埚里套装石英坩埚,水冷铜托盘与石墨托盘之间有下保温套筒,下保温套筒上安装有上隔热板和下隔热板,隔热板采用块可分别四个方向拉动的隔热板。所述石墨套筒的上面安装料斗支架,料斗支架的上面安装石墨料斗,料斗支架和石墨料斗共同围成一个加料的空间,石墨料斗的开口处安装石墨盘,石墨盘由石墨杆连接到顶部螺杆,顶部螺杆由顶部变速箱、伺服电机共同控制升降。所述下可移动的散热挡板和上散热挡板分别 ...
【技术保护点】
1.一种双开拉板式散热的感应熔炼多晶硅铸锭炉,其特征是:感应线圈(12)的内部安装上保温套筒(9),上保温套筒(9)的上面安装保温套盖(7),保温套盖(7)通过保温盖连杆(5)连接到炉盖(6)上,保温套筒(9)的里面安装石墨套筒(30),保温套筒(9)和石墨套筒(30)共同固定在支架(17)上,炉底部分水冷铜托盘(23)通过底座支架(22)连接在炉底盖(21)上,石墨支架(19)直接支撑在水冷铜托盘(23)上,石墨支架(19)上支撑安装石墨托盘(30),石墨托盘(30)上面是石墨坩埚,石墨坩埚里套装石英坩埚(14),水冷铜托盘(23)与石墨托盘(30)之间有下保温套筒(18),下保温套筒(18)上安装有上隔热板(26)和下隔热板(20),隔热板采用4块可分别四个方向拉动的隔热板。
【技术特征摘要】
1.一种双开拉板式散热的感应熔炼多晶硅铸锭炉,其特征是:感应线圈(12)的内部安装上保温套筒(9),上保温套筒(9)的上面安装保温套盖(7),保温套盖(7)通过保温盖连杆(5)连接到炉盖(6)上,保温套筒(9)的里面安装石墨套筒(30),保温套筒(9)和石墨套筒(30)共同固定在支架(17)上,炉底部分水冷铜托盘(23)通过底座支架(22)连接在炉底盖(21)上,石墨支架(19)直接支撑在水冷铜托盘(23)上,石墨支架(19)上支撑安装石墨托盘(30),石墨托盘(30)上面是石墨坩埚,石墨坩埚里套装石英坩埚(14),水冷铜托盘(23)与石墨托盘(30)之间有下保温套筒(18),下保温套筒(18)上安装有上隔热板(26)和下隔热板(20),隔热板采用4块可分别四个方向拉动的隔热板。2.根据权利要求1所述的一种双开拉板式散热的感应熔炼多晶硅铸锭炉,其特征是:所述石墨套筒(30)的上面...
【专利技术属性】
技术研发人员:谭毅,战丽姝,顾正,
申请(专利权)人:大连隆田科技有限公司,
类型:实用新型
国别省市:91
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