一种蓝宝石单晶炉制造技术

本实用新型专利技术涉及蓝宝石单晶炉技术领域，公开了一种蓝宝石单晶炉，包括坩埚和用于支撑所述坩埚的支架，还包括坩埚托，所述坩埚托的下端与所述支架连接，所述坩埚托的上端设有呈锥形的凸台，所述坩埚的底部设有与所述凸台相配合的呈锥形的内凹结构。在安装坩埚时，将坩埚底部的内凹结构与坩埚托上端的凸台对齐，可先实现坩埚的粗定位，凸台可起到导向作用，随着坩埚的向下移动，逐渐实现坩埚的精确定位，很容易达到较高的同心度要求，坩埚与加热器的同心度较高，由凸台进行导向，坩埚安装十分方便，安装时间较短，人力耗费少，重复定位精度高。（*该技术在2021年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及蓝宝石单晶炉
，尤其涉及一种坩埚与加热器同心度较高的蓝宝石单晶炉。
技术介绍
蓝宝石单晶炉是一种用于蓝宝石单晶生长的常用设备。请参考图1，图1为现有技术中一种典型的蓝宝石单晶炉的结构示意图。蓝宝石单晶炉通常包括加热器1、坩埚2，坩埚2由支架7、坩埚托8支撑，坩埚2的侧面和底面处均设有加热器1，加热器1的外侧设有侧保温屏4，加热器1的下方设有底部保温屏5，坩埚2的上端口处设有上部保温屏6。加热器11可通过铜电极10与直流电源连通，对高温区进行加热，加热器1通电后，将在侧保温屏4、底部保温屏5与坩埚2之间形成内部温场，内部温场对坩埚2进行加热。这种结构的蓝宝石单晶炉要求热系统具有较好的对称性，对坩埚2的径向定位要求较高。现有技术中，蓝宝石单晶炉的坩埚托8的上端为平面，坩埚2的底部平放在坩埚托 8的上端，技术人员在安装坩埚2时，通常边测量，边移动调整，从而达到坩埚2相对于加热器1同心。坩埚2的这种安装方式，由于采用人工测量，坩埚2与加热器1很难达到较高的同心度要求，使得坩埚2与加热器1的同心度较低；由于坩埚2周边是加热器1，且安装面低于操作面，安装十分困难，使得安装时间长，人力耗费多；每次移动坩埚2后，需要重新定位，重复定位的精度差。因此，如何研发出一种坩埚与加热器同心度较高的蓝宝石单晶炉，成为本领域技术人员亟待解决的技术难题。
技术实现思路
本技术的目的是提供一种蓝宝石单晶炉，该蓝宝石单晶炉的坩埚与加热器的同心度较高。为了实现上述目的，本技术提供了一种蓝宝石单晶炉，包括坩埚和用于支撑所述坩埚的支架，还包括坩埚托，所述坩埚托的下端与所述支架连接，所述坩埚托的上端设有呈锥形的凸台，所述坩埚的底部设有与所述凸台相配合的呈锥形的内凹结构。优选的，所述凸台为圆锥台。优选的，所述凸台为阶梯状的圆锥台。优选的，所述凸台的外缘为弧形面。优选的，所述坩埚托的下端与所述支架卡接。优选的，所述坩埚托的下端为圆锥面，该圆锥面与所述支架形成卡接。优选的，所述坩埚托为钨坩埚托。本技术提供的蓝宝石单晶炉，坩埚托的上端设有呈锥形的凸台，坩埚的底部设有与所述凸台相配合的呈锥形的内凹结构。在安装坩埚时，将坩埚底部的内凹结构与坩埚托上端的凸台对齐，可先实现坩埚的粗定位，凸台可起到导向作用，随着坩埚的向下移动，逐渐实现坩埚的精确定位，很容易达到较高的同心度要求，坩埚与加热器的同心度较高，由凸台进行导向，坩埚安装十分方便，安装时间较短，人力耗费少，重复定位精度高。附图说明图1为现有技术中一种典型的蓝宝石单晶炉的结构示意图；图2为本技术所提供的蓝宝石单晶炉的一种具体实施方式的局部结构示意图；其中，图1、图2中加热器1、坩埚2、侧保温屏4、底部保温屏5、上部保温屏6、支架7、坩埚托8、锆盘 9、铜电极10。具体实施方式本技术的核心是提供一种蓝宝石单晶炉，该蓝宝石单晶炉的坩埚与加热器的同心度较高。为了使本领域的技术人员更好地理解本技术的技术方案，以下结合附图和具体实施例对本技术作进一步的详细说明。请参看图2，图2为本技术所提供的蓝宝石单晶炉的一种具体实施方式的局部结构示意图。如图2所示，本技术提供的蓝宝石单晶炉包括坩埚2、加热器1，坩埚2内用于容纳蓝宝石晶体，坩埚2的底部由支架7、坩埚托8支撑；加热器1呈筒状设于坩埚2的外侧和底部，加热器1与电源电连接，加热器1的侧面设有侧保温屏4、底面设有底部保温屏 5，坩埚2的上部设有上部保温屏6，侧保温屏4、底部保温屏5及上部保温屏6可起到隔热保温作用；坩埚托8的下端与支架7的上端连接，坩埚托8的上端设有呈锥形的凸台，坩埚 2的底部设有与所述凸台相配合的呈锥形的内凹结构。本技术提供的蓝宝石单晶炉，坩埚托8的上端设有呈锥形的凸台，坩埚2的底部设有与所述凸台相配合的呈锥形的内凹结构。在安装坩埚2时，将坩埚2底部的内凹结构与坩埚托8上端的凸台对齐，可先实现坩埚2的粗定位，凸台可起到导向作用，随着坩埚 2的向下移动，逐渐实现坩埚2的精确定位，很容易达到较高的同心度要求，坩埚2与加热器1的同心度较高，由凸台进行导向，坩埚2安装十分方便，安装时间较短，人力耗费少，重复定位精度高。具体的方案中，支架7的底部可固定在锆盘9上，锆盘9形成该蓝宝石单晶炉的底座。在一种具体的方案中，坩埚托8上端的凸台可以为圆锥台，相对应地，坩埚2底部的内凹结构也可以为圆锥斜面结构。优选的方案中，坩埚托8上端的凸台可以为呈阶梯状的圆锥台，在安装坩埚2时， 可逐渐对坩埚2进行精定位。4优选方案中，在安装坩埚2时，为了便于对坩埚2进行导向，可将所述凸台的外缘设置为圆弧面。优选方案中，坩埚托8的下端与支架7卡接，坩埚托8与支架7的这种连接方式结构简单，连接稳固可靠。具体的方案中，坩埚托8的下端可以为圆锥面结构，支架7的卡于所述圆锥面结构内。优选的方案中，所述坩埚托8为钨坩埚托。钨的熔点远高于蓝宝石晶体的熔点，在高温下钨挥发速度慢，且其挥发物在抽真空时可以被抽至炉外，不会在蓝宝石晶体生长过程中进入坩埚2内，对蓝宝石晶体生长影响极小。优选的方案中，底部保温屏5可以采用环形的钨片，在高温情况下，钨的化学性能比钼稳定，挥发少，对蓝宝石晶体生长影响小；在高温情况下，钨片的机械性能好、耐用，使用寿命长，维修工作少。本技术并不对底部保温屏5的结构进行限制，底部保温屏5还可以采用钼片。优选方案中，加热器1可以采用钨棒加热器1，钨的熔点远高于蓝宝石晶体的熔点，在高温下钨挥发速度慢，且其挥发物在抽真空时可以被抽至炉外，不会在蓝宝石晶体生长过程中进入坩埚2内，对蓝宝石晶体生长影响极小。本文中应用了具体个例对本技术的原理及实施方式进行了阐述，以上实施例的说明只是用于帮助理解本技术的方法及其核心思想。应当指出，对于本
的普通技术人员来说，在不脱离本技术原理的前提下，还可以对本技术进行若干改进和修饰，这些改进和修饰也落入本技术权利要求的保护范围内。本文档来自技高网...

【技术保护点】
１．一种蓝宝石单晶炉，包括坩埚和用于支撑所述坩埚的支架，其特征在于，还包括坩埚托，所述坩埚托的下端与所述支架连接，所述坩埚托的上端设有呈锥形的凸台，所述坩埚的底部设有与所述凸台相配合的呈锥形的内凹结构。

【技术特征摘要】
1.一种蓝宝石单晶炉，包括坩埚和用于支撑所述坩埚的支架，其特征在于，还包括坩埚托，所述坩埚托的下端与所述支架连接，所述坩埚托的上端设有呈锥形的凸台，所述坩埚的底部设有与所述凸台相配合的呈锥形的内凹结构。2.根据权利要求1所述的蓝宝石单晶炉，其特征在于，所述凸台为圆锥台。3.根据权利要求2所述的蓝宝石单晶炉，其特征在于，所述凸台为阶梯状的圆锥台...

【专利技术属性】
技术研发人员：徐永亮，施海斌，周波，
申请(专利权)人：浙江昀丰新能源科技有限公司，
类型：实用新型
国别省市：33