移动式出料多晶硅铸锭炉制造技术

技术编号:6461615 阅读:258 留言:0更新日期:2012-04-11 18:40
本实用新型专利技术涉及一种移动式出料多晶硅铸锭炉,包括炉体立架、和悬置安装在炉体立架操作台上的上部炉腔体,在上部炉腔体的下方设有一个可在升降机构控制下升降移动的下部炉腔体,当升降机构起升到位后,两炉腔体间紧密对合并由紧固装置紧固在一起,在铸锭炉体的下方安装有一条伸出炉体立架外的导轨,在导轨上设有一个用于承托下部炉腔体的并可在传动机构牵引下沿导轨往返移动的滑块。当铸锭完成出料时,先通过升降机构使下部炉腔体降落至导轨上的滑块,再通过滑块带动下部炉腔体沿导轨从炉体下方滑出,最后用专吊具将晶锭等移出铸锭炉。与现有技术相比,本实用新型专利技术大大降低了劳动强度,提高了效率以及设备的自动化水平和安全性、可靠性。(*该技术在2021年保护过期,可自由使用*)

【技术实现步骤摘要】

本技术属于多晶硅铸锭炉设备
,涉及一种便于对多晶硅铸锭完成之后取出晶锭的多晶硅铸锭炉。
技术介绍
在本技术技术提出之前,本领域现有的多晶硅铸锭炉在铸锭完成之后取出晶锭的方式主要有两种,其一种方式是先通过开启炉体升降机构使下部炉腔体降下,继而使用专用叉车将把晶锭、石英坩埚连同石墨坩埚等一起取出,然后卸下石墨坩埚,敲碎石英坩埚,最后再用专用吊具吊取出晶锭并将之送往暂存处,这种方式存在着劳动强度大、效率低、自动化程度不高等缺点;另一种方式是先移开炉体的炉盖,再通过吊具取出晶锭,这种方式也存在着效率低、安全性和可靠性不高等缺点。
技术实现思路
本技术的目的在于克服现有技术存在的不足,进而提供一种结构合理、效率高、安全性和可靠性好、易于实现全自动化操作从而大幅度提高生产效率的移动式出科多晶硅铸锭炉。为实现上述专利技术目的而采用的技术解决方案是这样的所提供的移动式出料多晶硅铸锭炉包括炉体立架、电源箱、真空压力控制装置、悬置安装在炉体立架操作台上的上部炉腔体,在上部炉腔体的下方设有一个可在升降机构带动下升起或降下的下部炉腔体,当升降机构起升到位后,上、下部炉腔体间紧密对合并由紧固装置紧固在一起,在炉体的正下方位置处安装有一条沿伸出炉体立架外的导轨,在导轨上设有一个用于承托下部炉腔体的并可在传动机构牵引下沿导轨往返移动的滑块。实际工作中,当熔炼完成需要取出晶锭时, 先开启炉体升降机构将下部炉腔体降下,使下部炉腔体降落至导轨上的滑块后,再通过滑块带动下部炉腔体沿导轨从炉体下方滑出,最后再用专用的吊具吊起晶锭并送往暂存处。与现有的技术相比,本技术改变了传统多晶硅铸锭炉用叉车取晶锭的方式, 减少了以往用叉车将晶锭和坩埚取出的中间环节,不仅减小了操作人员的劳动强度,提高了安全性和可靠性,也提高了生产效率,提高了多晶硅铸锭炉设备的自动化水平。附图说明附图为本技术一个具体实施例的左视向结构示意图。附图中各标号的名称分别是1-红外测温仪,2-氩气控制器,3-操作台,4-真空压力控制装置,5-紧固装置,6-电源箱,7-下部炉腔体,8-滑块,9-导轨,10-升降机构,11-炉体立架,12-上部炉腔体。具体实施方式参见附图,本技术所述的移动式出料多晶硅铸锭炉由炉体立架11、电源箱6、真空压力控制装置4、铸锭炉炉体、升降机构10、导轨9、滑块8、上部操作台3等部分组成, 其中铸锭炉炉体由悬置安装在炉体立架操作台3上的上部炉腔体12和设在上部炉腔体12 下方并可在升降机构10控制下升起或降下的下部炉腔体7组成,当升降机构10起升到位后,上、下部炉腔体间紧密对合并由三个紧固装置5紧固在一起,形成密闭完整的炉腔。本技术的移动式出料方式主要由导轨9、滑块8、传动机构、紧固装置5和升降机构10来实现,导轨9和滑块8置于铸锭炉腔体的下方,出料时铸锭炉的下部炉腔体7可以落在滑块 8上,滑块8又可以在传动机构的牵弓I下沿导轨运动。本技术结构的工作原理如下所述。如图所示,多晶硅铸锭炉整个炉体的中部为圆柱形,上下端呈球形,从中部法兰面分上下两部分,上部炉腔体12固定在操作台上面,下部炉腔体7则是由三个紧固装置5固定,并可以通过升降装置使下炉体上下移动。当熔炼完成出料时,先使升降机构10拖住下部炉腔体7,再释放紧固装置5,之后再通过升降机构10使下部炉腔体7往下移动,使下部炉腔体7落在滑块8上,继而再启动滑块8的传动机构牵引着滑块8沿着导轨9从铸锭炉下面往外移动下部炉腔体7,最终将晶锭移出铸锭炉;下部炉腔体7移出后,卸下石墨坩埚,敲碎石英坩埚,再通过专用吊具吊起晶锭取出并送往暂存处。本技术的装料过程与出料过程相反,首先启动滑块8的传动机构牵引着上托着下部炉腔体7的滑块8沿着导轨9移动到炉体的正下方,然后通过升降机构10使下部炉腔体7往上移动,当上、下部炉腔体12、 7闭合时,法兰面上的密封圈被紧压,同时启动紧固装置5,保证炉体的气密性。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种移动式出料多晶硅铸锭炉,包括炉体立架(11)、电源箱(6)、真空压力控制装置(4)、悬置安装在炉体立架操作台(3)上的上部炉腔体(12),在上部炉腔体(12)下方设有一个可在升降机构(10)带动下升起或降下的下部炉腔体(7),当升降机构(10)起升到位后,上、下部炉腔体间紧密对合并由紧固装置(5)紧固在一起,其特征是在炉体的正下方位置处安装有一条沿伸出炉体立架(11)外的导轨(9),在导轨(9)上设有一个用于承托下部炉腔体(7)的并可在传动机构牵引下沿导轨(9)往返移动的滑块(8)。

【技术特征摘要】
1. 一种移动式出料多晶硅铸锭炉,包括炉体立架(11)、电源箱(6)、真空压力控制装置 G)、悬置安装在炉体立架操作台(3)上的上部炉腔体(12),在上部炉腔体(12)下方设有一个可在升降机构(10)带动下升起或降下的下部炉腔体(7),当升降机构(...

【专利技术属性】
技术研发人员:周继跃
申请(专利权)人:西安华恒新能科技有限公司
类型:实用新型
国别省市:87

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