多晶硅铸锭炉下炉腔单丝杠升降装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及一种多晶硅铸锭炉下炉腔单丝杠升降装置，具有一个设置在多晶硅铸锭炉下方的支撑架，在支撑架的两侧对称各设有一部直立的滑块轨道，在支撑架中部装有一根可通过一部电机及减速器带动旋转的滚珠丝杠，在滚珠丝杠上配装有可随滚珠丝杠转动沿滑块轨道上升或下降的滑块，在滑块的一侧连装有用于承托多晶硅铸锭炉下炉腔体的托架。实际工作中，滑块在滚珠丝杠和电机传动机构的作用下沿滑块轨道上下运动，铸锭炉的下炉腔体落在托架上随着滑块一并运动。与现有技术相比，本实用新型专利技术的结构简洁合理、成本低、可靠性高、稳定性好，为多晶硅铸锭炉的装料与出料提供了方便。（*该技术在2021年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术属于多晶硅铸锭炉设备
，涉及一种便于铸锭炉下炉腔升降的单丝杠升降装置。
技术介绍
在本技术技术提出之前，本领域现有的多晶硅铸锭炉在铸锭完成之后升降下炉腔的机械装置主要有两种。一种装置是采用三个滚珠丝杠和三套电机及减速机构的升降装置，这种升降装置由于需要三部电机作为运动部件，致使整个装置的成本偏高，而且三个丝杠的工作同步性也不易协调，稳定性差。另一种装置是采用三个滚珠丝杠、一套电机及减速机构和两根软轴的升降装置，电机安装在中间支撑柱顶部，通过一对同步带轮减速后由双向传动轴、联轴器输出扭矩，三个丝杠间通过两根软轴连接并改变转动方向，进而实现使铸锭下炉腔提升或落下的作用。这种升降装置虽然只用一套电机及减速机构节省了成本，但由于三个滚珠丝杠需要用软轴连接，软轴存在的扭转偏差依然使这种升降装置存在着同步性不高、稳定性差的缺点。
技术实现思路
本技术的目的在于克服现有技术存在的不足，进而提供一种结构简洁合理、成本低、可靠性高、稳定性好的多晶硅铸锭炉下炉腔单丝杠升降装置。为实现上述专利技术目的而采用的技术解决方案是这样的：所提供的多晶硅铸锭炉下炉腔单丝杠升降装置具有一个设置在多晶硅铸锭炉下方的支撑架，在支撑架的两侧对称各设有一部直立的滑块轨道，在支撑架中部装有一根可通过一部电机及减速器带动旋转的滚珠丝杠，在滚珠丝杠上配装有可随滚珠丝杠转动沿滑块轨道上升或下降的滑块，在滑块的一侧连装有用于承托多晶硅铸锭炉下炉腔体的托架。实际工作中，滑块在滚珠丝杠和电机传动机构的作用下沿滑块轨道上下运动，铸锭炉的下炉腔体落在托架上随着滑块一并运动。在滑块与下炉腔体升降过程中通过分段设置的四个位置传感器来检测下炉腔体的位置并控制其升降速度，在下炉腔体上行接近炉体上法兰时，滑块通过第一个位置传感器后减缓提升速度，直至滑块接触到第二个位置传感器后上行停止，炉门闭合。下炉腔体上行减速后减小了炉门闭合时的冲击，保证了炉内坩埚在石墨台上的位置及安全。在下炉腔体降下过程中，第三、第四个位置传感器同样使滑块在接近底部支撑架时减速，以减缓铸锭炉下炉腔体落下的速度并减小其与支撑架的碰撞，保证坩埚的平稳。与现有的采用三丝杠、三电机结构的升降装置相比，本技术仅采用一根丝杠及一套电机传动机构，简化了设备结构，节省了成本；而与采用两根软轴连接三根丝杠的升降装置相比，本技术明显提高了设备的稳定性和可靠性，同时采用本技术所述的单丝杠升降装置也为多晶硅铸锭炉的装料与出料提供了方便。-->附图说明图1为本技术一个具体实施例的工作结构示意图。图2为该多晶硅铸锭炉下炉腔单丝杠升降装置的俯视向结构示意图。附图中各标号构件的名称分别是：1-支撑架，2-电机及减速器，3-滚珠丝杠，4-托架，5-滑块，6-下炉腔体，7-电源箱，8-紧固装置，9-真空压力控制装置，10-上部操作台，11-氩气控制器，12-红外测温仪，13-滑块轨道。具体实施方式参见附图，本技术所述的多晶硅铸锭炉下炉腔单丝杠升降装置由一根滚珠丝杠3、一套电机及减速器2以及滑块5、滑块轨道13、托架4、支撑架1、位置传感器等部分组成。支撑架1设置在铸锭炉的下方，在支撑架1一端的两侧各设有一部直立的滑块轨道13(图2)，可通过电机及减速器2带动旋转的滚珠丝杠3装在支撑架1中部，在滚珠丝杠3上配装有可随滚珠丝杠3牵引沿滑块轨道13上下移动的滑块5。滑块位于铸锭炉腔体的下方，在滑块5的一侧连装有托架4，此托架4能够稳定地托住炉体的下炉腔体6，使其能在滚珠丝杠3的牵引下沿着滑块轨道13上下移动，从而完成多晶硅铸锭炉的装料与出料。出料时滑块5和托架4升高托住铸锭炉下炉腔体6，滑块5通过单丝杠的牵引沿着滑块轨道13向下移动，最终滑块5和托架4平稳地落在下面的支撑架1上。本技术由电机及减速器2为滚珠丝杠3提供动力，并由位置传感器提供位置信号来调节电机的转速从而调节滑块5、托架4及下炉腔体6的升降速度。本技术结构的工作原理如下所述。如图所示，多晶硅铸锭炉整个炉体的中部为圆柱形，上下端呈球形，从中部法兰面分上下两部分，上部炉腔体固定在操作台上面，下部炉腔体则是由三个紧固装置8固定。当熔炼完成出料时，先通过滚珠丝杠3升高滑块5和托架4，使其托住铸锭炉下炉腔体6，再释放炉体紧固装置8，然后由电机及减速器2提供动力进而通过滚珠丝杠3的作用使得托架4连同下炉腔体6快速、平稳地下降。在降下下炉腔体6的过程中，通过位置传感器进行检测。当滑块5接近底部支撑导轨时电机减速，以减缓下炉腔体6落下的速度并减小其与支撑架1的碰撞，保证坩埚的平稳。本技术的装料过程与出料过程相反，当下炉腔体6放在托架4上后，由电机及减速器2提供动力进而通过滚珠丝杠3的作用使得滑块5和托架4连同下炉腔体6快速、平稳地升高，当其接近炉体上法兰时，通过第一个位置传感器后减缓提升速度，直至滑块接触到第二个位置传感器后上行停止，炉门闭合，下炉腔体上行减速后减小了炉门闭合时的冲击，保证了炉内坩埚在石墨台上的位置及安全。当上、下部炉腔体闭合时，法兰面上的密封圈被紧压，同时启动紧固装置，保证炉体的气密性。-->本文档来自技高网...

【技术保护点】
１．一种多晶硅铸锭炉下炉腔单丝杠升降装置，其特征在于具有一个设置在多晶硅铸锭炉下方的支撑架（１），在支撑架（１）的两侧对称各设有一部直立的滑块轨道（１３），在支撑架（１）中部装有一根可通过一套电机及减速器（２）带动旋转的滚珠丝杠（３），在滚珠丝杠（３）上配装有可随滚珠丝杠（３）转动沿滑块轨道（１３）上升或下降的滑块（５），在滑块（５）的一侧连装有托架（４）。

【技术特征摘要】
1.一种多晶硅铸锭炉下炉腔单丝杠升降装置，其特征在于具有一个设置在多晶硅铸锭炉下方的支撑架(1)，在支撑架(1)的两侧对称各设有一部直立的滑块轨道(13)，在支撑架(1)中部装有一...

【专利技术属性】
技术研发人员：周继跃，
申请(专利权)人：西安华恒新能科技有限公司，
类型：实用新型
国别省市：87