一种石英舟检测装置及检测方法制造方法及图纸

一种石英舟检测装置及检测方法，其中所述装置包括：检测部，与石英舟外周匹配；支撑部，与检测部连接，且支撑所述检测部；所述方法，包括如下步骤：握持支撑部；将检测部夹于石英舟外周，如检测部与石英舟完全匹配，则石英舟未变形；如检测部与石英舟不匹配，则石英舟变形。本发明专利技术提供的石英舟检测装置及检测方法，通过比较检测装置的检测部与石英舟外周的匹配程度，不会损伤或污染石英舟凹槽，并可以快速判断出石英舟是否变形，提高了工作效率。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种半导体辅助设备，特别是一种石英舟检测装置及检测方法。
技术介绍
在半导体器件制造过程中，有许多工艺流程是在高温下进行的，比如用来掺杂离子的热扩散(thermal diffusion)工艺、生长氧化层的热氧化(thermaloxidation)工艺，以及用来消除缺陷的退火(annealing)工艺。这些工艺一般都是通过炉管来完成的，具体方法是：用机械手将放置在晶盒中的晶圆逐片取出，放入炉管中的承载装置，然后将放有晶圆的承载装置送入反应室进行高温反应，待反应完成冷却后取出。目前使用的承载装置大多为石英舟，因其性价比较高。但由于炉管内反应室的反应温度一般都很高，立式石英舟在使用一段时间后会发生变形，如果没有及时发现，而继续使用变形的石英舟则容易导致放置的晶圆滑出或刮伤，造成晶圆的报废，影响了良率。图1a为未发生变形的石英舟示意图，图1b为图1a的俯视图。如图1a和图1b所示，所述石英舟包括：三根石英棒200和上底盘201、下底盘202，所述石英棒200的两端固定于上底盘201、下底盘202；所述石英棒200内侧设有凹槽，用于放置晶圆。图2a为在中部区域203发生变形的石本文档来自技高网...

【技术保护点】
１．一种石英舟检测装置，其特征在于，包括：检测部，与石英舟外周匹配；支撑部，与检测部连接，且支撑所述检测部。

【技术特征摘要】
1.一种石英舟检测装置，其特征在于，包括：检测部，与石英舟外周匹配；支撑部，与检测部连接，且支撑所述检测部。2.根据权利要求1所述的石英舟检测装置，其特征在于，所述检测部与支撑部的材料为特氟龙、氮化硅或石英。3.根据权利要求1或2所述的石英舟检测装置，其特征在于，所述支撑部位于检测部外围。4.根据权利要求3所述的石英舟检测装置，其特征在于，所述检测部与支撑部一体成形。5.根据权利要求3所述的石英舟检测装置，其特征在于，所述检测部与支撑部通过连接件连接固定。6.根据权利要求5所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：王硕，许忠义，
申请(专利权)人：上海宏力半导体制造有限公司，
类型：发明
国别省市：31