半导体制造的派工管理系统及方法技术方案

一种半导体制造的派工管理方法，包括：根据设备和在制品的基本信息，以一派工处理单元计算所述设备和在制品的扩展信息，并将所述扩展信息存储至信息管理单元；以所述派工处理单元，由信息管理单元读取设备和在制品的基本信息及扩展信息；并且，以所述派工处理单元，由规则管理单元读取对应所述基本信息及扩展信息的派工标准及派工基准；利用所述派工处理单元根据所述信息管理单元提供的基本信息及扩展信息及所述规则管理单元提供的对应所述基本信息及扩展信息的派工标准及派工基准对所述设备和在制品进行派工操作，并提供派工清单。应用本发明专利技术方法，可根据在制品交期、设备负荷、制程时间限制以及在制品及设备的运行状况等因素的任意组合灵活地实现派工控制。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及平导体制造
，特别涉及一秤平导体制造的派工管理系 纟克及方法。
技术介绍
对于当前半导体工厂中广泛应用的制造执行系统(MES),如国际商业机 器(1BM)公司的SIVIEW，提供的派工管理机制无法保证准时交货率，即利用此 派工管理机制实施的派工管理无法体现在制品交期、设备负荷、制程时间限 制以及在制品及设备的运行状况等因素。由于制造执行系统缺乏有效的派工 管理机制，制程工程师在处理需考虑上述因素的批货情况时必须以纸本记录 等人工方式在设备机台上指定制程程序编号且使用手动模式处理，使得制造 程序拖延，违反厂区自动化的趋势。如何提供一种可保证准时交货率的派工管理方法成为本领域技术人员亟 待解决的问题。专利号为"ZL 200310103814. X"的中国专利中^是供了 一种半导体制程等 待时间限制下的派工控制方法，其实施于一具有输入单元及运算单元的电子 计算机及一运送系统，用以决定多个晶圆产品中哪一种能送进制造系统。应 用该方法进行派工控制的步骤包括首先，由该输入单元接收每一种晶圆产 品的相对产量及等待时间限制。接着，由该计算单元计算每一晶圓产品的多 制造过程加工需求时间以及每一晶圓产品的总等待时间限制。由该计算单元 根据该加工需求时间以及总等待时间限制的比较结果，决定哪一种晶圓产品 可被送入该制造系统，当 一 晶圓产品的多制造过程加上需求时间小于总等待 时间限制，批次晶圆可被送入制造系统中处理或者在既定的机台中进一步处 理该晶圆产品，再依据该派工结果，将该选定的晶圓严品运送至该制造系统。显然，应用该方法进行派工控制时，仅通过制程等待时间限制保证准时 交货率，而无法根据在制品交期、设备负荷、制程时间限制以及在制品及设 备的运行状况等因素的任意组合灵活地实现派工控制。
技术实现思路
本专利技术提供了一种半导体制造的派工管理方法及系统，可根据在制品交 期、设备负荷、制程时间限制以及在制品及设备的运行状况等因素的任意组合灵活地实现派工控制。本专利技术提供的一种半导体制造的派工管理方法，包括根据设备和在制品的基本信息，以一派工处理羊元计算所迷设备和在制品的扩展信息，并将所述扩展信息存储至信息管理单元；以所述派工处理单元，由信息管理单元读取设备和在制品的基本信息及 扩展信息；并且，以所述派工处理单元，由规则管理单元读取对应所述基本 信息及扩展信息的派工标准及派工基准；利用所述派工处理单元根据所述信息管理单元提供的基本信息及扩展信 息及所述规则管理单元提供的对应所述基本信息及扩展信息的派工标准及派 工基准对所述设备和在制品进行派工操作，并提供派工清单。执行所述派工操作包括利用所述扩展单元计算设备及在制品的扩展信息 以及利用所述重组单元将所述WIP按顺序排列；执行所述派工操作还包括利用所述过滤单元保留能在当前设备上运行的WIP;执行所述派工操作还包括利用 所述分组单元根据将所述WIP分为真值组和假值组;执行所述派工操作还包括 利用所述批处理单元对瓶颈设备前的WIP进行批处理;执行所述派工操作还包 括利用所述修饰单元隐藏运算过程中产生的中间数据;所述派工管理方法还包 括利用监控单元监控所述派工操作的执行情况。利用所述监控单元对所述派工操作的执行情况进行监控的方法包括 利用记录单元获得设备加工在制品后第 一派工清单；利用激活判别单元确定所述第 一派工清单内被激活的在制品数/在制品批数；利用派工评估单元确定所述第一派工清单内存在#:激活的在制品时，则利用标准判别单元检查被激活的在制品是否满足派工基准，若满足派工基准，则判定为派工成功；若不满足派工基准，则获得设备加工在制品前第二派工清单，并利用激活判别单元确定所述第二派工清单内被激活的在制品数/在制品批数，当所述被激活的在制品满足派工基准，则判定为派工成功；若不满 足派工基准，则判定为派工失败；利用派工评估单元确定所述第一派工清单内不存在被激活的在制品时， 则获得设备加工在制品前第二派工清单，若被禁止的在制品数/在制品批数为 零，则判定所述派工无效；若被禁止的在制品数/在制品批数不为零，则判定所述派工失败。所述派工无效包括对生产线内非瓶颈设备进行派工操作。所 述被禁止的在制品包含不满足至少 一个派工标准的在制品。 本专利技术提供的一种半导体制造的派工管理系统，包括信息管理单元，用以存储所述设备及在制品的基本信息及扩展信息； 规则管理单元，用以存放并解析对应所述基本信息及扩展信息的派工标 准及派工基准；派工处理单元，用以根据所述信息管理单元提供的基本信息及扩展信息 及所述规则管理单元提供的对应所述基本信息及扩展信息的派工标准及派工 基准对确定设备的在制品进行派工操作，并提供派工清单。所述派工处理单元包括扩展单元和重组单元；所述扩展单元用以计算设 备及在制品的扩展信息；所述重组单元用以将所述WIP按顺序排列；所述派工 处理单元还包括过滤单元，所述过滤单元用以保留能在当前设备上运行的 WIP;所述派工处理单元还包括分组单元，所述分组单元用以将所述WIP分为 真值组和假值组；所述派工处理单元还包括批处理单元，所述批处理单元用以对瓶颈设备前的WIP进行批处理；所述派工处理单元还包括利修饰单元，所述 修饰单元用以隐藏运算过程中产生的中间数据;所述派工管理系统还包括监控 单元。所述监控单元包括记录单元，用以获得设备加工在制品的派工清单，包括第一派工清单及 第二派工清单；激活判别单元，用以确定所述派工清单内的在制品处于被激活态或非激 活态；标准判别单元，用以确定派工清单内处于被激活态的在制品满足或不满足派工标准；派工评估单元，根据所述第一派工清单，确定派工清单内存在被激活的在制品，且满足派工标准，判定为派工成功；#_据所述第一派工清单，确定派 工清单内存在被激活的在制品，但不满足派工标准时，则获得设备加工在制 品前第二派工清单；根据所述第二派工清单，所述被激活的在制品满足派工标准时，则判定为派工成功；根据所述第二派工清单，所述被激活的在制品 不满足派工标准时，则判定为派工失败；若派工清单内不存在被激活的在制品，则获得设备加工在制品前第二派工清单；根据第二派工清单，确定被禁止的在制品数为零时，则判定所述派工无效；根据第二派工清单，确定被禁 止的在制品数不为零时，则判定所述派工失败。 与现有技术相比，本专利技术具有以下优点1. 通过利用所述设备及在制品的基本信息计算得到所述设备及在制品 的扩展信息，进而根据所述基本信息及扩展信息实现派工操作，可根据在制 品交期、设备负荷、制程时间限制以及在制品及设备的运行状况等因素的任 意组合灵活地实现派工控制；2. 通过在所述派工操作中利用分组单元执行分组操作，可根据对应的派 工要素及派工标准对所述在制品执行不同的派工操作；3. 通过在派工管理系统中增加监控单元，可对设备和操作员派工操作的 实际执行情况进行及时评估。附图说明图1为说明本专利技术实施例的派工管理方法流程示意图； 图2为说明本专利技术实施例的派工监控流程示意图； 图3为说明本专利技术实施例的派工管理系统结构示意图。 具体实施例方式尽管下面将参照附图对本专利技术进行更详细的描述，其中表示了本专利技术的 优选实施例，应当理解本领域^支术人员可以修改在此描述的本专利技术而仍然实 现本专利技术的有利效果。因此，下列的描本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种半导体制造的派工管理方法，包括：　　　　根据设备和在制品的基本信息，以一派工处理单元计算所述设备和在制品的扩展信息，并将所述扩展信息存储至信息管理单元；　　　　以所述派工处理单元，由信息管理单元读取设备和在制品的基本信息及扩展信息；并且，以所述派工处理单元，由规则管理单元读取对应所述基本信息及扩展信息的派工标准及派工基准；　　　　利用所述派工处理单元根据所述信息管理单元提供的基本信息及扩展信息及所述规则管理单元提供的对应所述基本信息及扩展信息的派工标准及派工基准对所述设备和在制品进行派工操作，并提供派工清单。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：马海，周宇，苏远志，
申请(专利权)人：中芯国际集成电路制造上海有限公司，
类型：发明
国别省市：31[中国|上海]