【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及半导体领域，尤其涉及一种设备的漏液检测系统。
技术介绍
1、在半导体掩膜生产设备中，有一部分小型单片式旋转喷淋清洗机台，在制程中使用到的化学药剂有氨水。从设备管路设计而言，当使用到这些化学药剂的管路发生药剂泄漏时，泄漏液的液体量须达到触发漏液报警器时，设备才会做出紧急停车响应。
2、目前设备对于漏液检测采用的都是单一的漏液传感器，该传感器灵敏度高，但抗干扰性略低，且需要在有大量漏液或必须接触到液体时才能够做出响应；小范围的漏液情况下，一般很难进行侦测。
技术实现思路
1、本专利技术解决的问题是现有设备的漏液检测装置无法侦测到少量漏液。
2、为解决上述问题，本专利技术提供一种设备的漏液检测系统，包括：侦测单元和显示单元。侦测单元适于获取设备内待测气体浓度，在待测气体浓度超过浓度阈值时产生报警信号；其中，待测气体与设备运行中使用的液体相关，浓度阈值与设备对液体的泄漏承载量有关。显示单元适于实时显示待测气体浓度。
3、可选的，侦测单元包括：气体传...
【技术保护点】
1.一种设备的漏液检测系统，其特征在于，包括：
2.如权利要求1所述设备的漏液检测系统，其特征在于，所述侦测单元包括：气体传感器、模数转换器和控制器；
3.如权利要求2所述设备的漏液检测系统，其特征在于，所述气体传感器为气敏电阻。
4.如权利要求2所述设备的漏液检测系统，其特征在于，所述侦测单元还包括：仿真单元；
5.如权利要求4所述设备的漏液检测系统，其特征在于，所述仿真单元包括滑动变阻器，所述滑动变阻器提供的仿真模拟信号为所述滑动变阻器上的电压信号。
6.如权利要求4所述设备的漏液检测系统，其特征在于，<...
【技术特征摘要】
1.一种设备的漏液检测系统，其特征在于，包括：
2.如权利要求1所述设备的漏液检测系统，其特征在于，所述侦测单元包括：气体传感器、模数转换器和控制器；
3.如权利要求2所述设备的漏液检测系统，其特征在于，所述气体传感器为气敏电阻。
4.如权利要求2所述设备的漏液检测系统，其特征在于，所述侦测单元还包括：仿真单元；
5.如权利要求4所述设备的漏液检测系统，其特征在于，所述仿真单元包括滑动变阻器，所述滑动变阻器提供的仿真模拟信号为所述滑动变阻器上的电压信号。
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【专利技术属性】
技术研发人员：邓勇贤，贺江涛，
申请(专利权)人：中芯国际集成电路制造上海有限公司，
类型：发明
国别省市：
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