驱动装置及真空处理装置制造方法及图纸

驱动装置及真空处理装置。磁性螺杆驱动装置（９）通过连结于电动机的驱动轴（１３）使轴支承于壳体（１７）的螺旋状磁体轴（１１）旋转。驱动轴（１３）及螺旋状磁体轴（１１）分别设有插有驱动轴（１３）及螺旋状磁体轴（１１）并气密地安装的圆筒状的轴环（１９）、及以与该轴环（１９）的表面滑动接触的方式安装在壳体（１７）侧的油封（２０），因此，能够将润滑剂（Ｇｒ）密封在壳体（１７）内。结果，可以提供有助于降低维护成本及运行成本的磁性螺杆驱动装置。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及驱动装置及包括该驱动装置的真空处理装置，特别是涉及具有油封构 造和旋转轴的驱动装置、及包括该驱动装置的真空处理装置。
技术介绍
在成膜工序等半导体制造工艺中，需要防止灰尘附着于被成膜面，因此，要求减少 真空容器内所存在的灰尘。由于各种原因在真空容器内产生灰尘，例如公知这样的原因是， 附着于基板保持架的成膜材料的膜剥离，以及由基板与其他构件之间的接触导致的磨损。 特别是在包括基板输送装置的真空处理装置中具有构成输送装置的构件彼此接触的构造， 因此，期望一种能够进一步降低由磨损、削蚀(cutting erosion)导致灰尘的产生的输送装 置。为了降低灰尘的产生，期望采用非接触传递方式的输送装置。作为非接触传递方 式的输送装置，以往提出了各种方式。其中，作为构造比较简单的方式，已知有利用磁性耦 合的方式(以下称作“磁性输送装置”)。对于磁性输送装置，如美国专利第5377816号、日本 特开平10-159934号公报、日本特开2001-206548号公报、日本特开2008-297092号公报、 日本特开平8-274142号公报等提出了将螺旋状的磁性螺杆和磁极组合而成的直线输送装 B (linear transfer device)。作为现有技术的例子，说明日本特开平10-159934号公报所公开的技术。日本特 开平10-159934号公报所公开的技术是将多个处理室串联连接而成的在线式真空处理装 置(in-line vacuum processing apparatus)所采用的磁性输送装置。装载锁定室(load lock chamber)、处理室、卸载锁定室(unload lock chamber)通过介于之间的闸阀相连结， 贯穿各室地配设有磁性输送装置。被保持在承载器上的基板可以借助磁性输送装置在各室 之间移动。磁性输送装置可采用磁性螺杆驱动装置。在各承载器的下端部设有承载器侧磁体 (magnet)，在承载器侧磁体的下方的室侧配置有磁性螺杆。形成于各磁性螺杆的螺旋状磁 极与承载器侧磁体磁性耦合，因此，能够随着磁性螺杆的旋转沿水平方向输送承载器。由于 各室被间阀分隔开，因此，每个室都备有磁性螺杆驱动装置。在通常运转时，磁性螺杆驱动装置收容在外壳内，且与真空容器内的成膜区域相 隔离。但是，在维护时，配设有磁性螺杆等的磁性螺杆驱动装置所处的区域可能与成膜区域 相连结，因此，需要尽可能减少磁性螺杆驱动装置内的灰尘。对日本特开平10-159934号公报所采用的磁性螺杆驱动装置进行说明。磁性螺 杆驱动装置是用于将来自未图示的电动机的扭矩传递到磁性螺杆的装置，其包括动力传递 部，该动力传递部具有作为主要的构成要件的一对伞齿轮(bevel gear) 0通过采用磁性螺 杆驱动装置，能够以非接触的方式来驱动承载器。因此，承载器在移动过程中仅与自重承受 用轴承、引导用轴承接触，从而能够大幅度降低灰尘的产生。但是，在这样的磁性螺杆驱动 装置中，也无法避免动力传递部的齿轮磨损，有可能导致承载器的移动不稳定或者磁极的相位偏差(Phase shift)。因此，在动力传递部的齿轮滑动部分涂敷润滑剂来抑制磨损，并 且使用油封将润滑剂密封在动力传递部内来防止润滑剂飞散。
技术实现思路
但是，如图6所示，在通过使用与旋转轴106或107滑动接触的油封105将润滑剂 密封在动力传递部内的构造中，无法避免旋转轴106或107与油封105之间的滑动接触部 分A的磨损。为了避免磨损的不良影响，需要定期地更换油封105和旋转轴106、107的维 护。但是，旋转轴106、107是贯穿整个磁性输送装置的构造，这使维护作业复杂。另外，旋 转轴价格昂贵，增加维护成本。本专利技术即是鉴于上述问题而做成的，本专利技术的目的在于提供通过使密封有润滑剂 的动力传递部的维护作业简便而有助于降低维护成本及运行成本的驱动装置、以及包括该 驱动装置的真空处理装置。根据本专利技术的驱动装置是用于真空处理装置中的基板输送的驱动装置，所述驱动 装置包括壳体；至少1根旋转轴，其以贯穿上述壳体的壁部的方式配设；圆筒状的轴环，其以上述旋转轴插过其中的状态安装于上述旋转轴；及密封构件，其与上述轴环的表面滑动接触，以在上述轴环与上述壳体之间保持气 密，上述密封构件安装在上述壳体侧；上述旋转轴以在其与上述轴环之间保持气密的方式插过上述轴环。根据本专利技术的真空处理装置包括用于对基板进行真空处理的处理室、及用于将基 板输送到上述处理室内的输送装置。上述输送装置包括根据本专利技术的上述驱动装置。通过采用本专利技术，能够降低驱动装置或者真空处理装置的维护作业所需的成本。 换言之，不必更换旋转轴，仅需要更换轴环(collar)，因此，能够削减更换工件。由于仅需要 更换轴环，因此，不必拆分整个驱动装置，这能够缩短维护所需的时间。并且，维护的低成本 化有助于降低输送装置或真空处理装置的运行成本。附图说明图1是根据本专利技术的一个实施方式的在线式真空处理装置的概略剖视图；图2是根据本专利技术的一个实施方式的磁性输送装置的示意图；图3是根据本专利技术的一个实施方式的磁性输送装置的沿线A-A截取的剖视图；图4是根据本专利技术的一个实施方式的磁性螺杆驱动装置的剖视图；图5是根据本专利技术的一个实施方式的磁性螺杆驱动装置的局部分解图；以及图6是示出现有技术中的驱动装置中的旋转轴与油封之间的滑动接触面的磨损 的示意图。具体实施例方式下面，参照附图说明本专利技术的实施方式。另外，以下说明的构件、配置等是用于具体化本专利技术的示例，并非意欲限制本专利技术。实际上，能够按照本专利技术的主旨对这些示例进行 各种改变。本专利技术的驱动装置用作真空处理装置中的用于输送基板的输送装置的构成构件。 本专利技术的驱动装置包括壳体、以贯穿该壳体的壁部的方式配设的至少1根旋转轴、安装于 该旋转轴的圆筒状的轴环、及安装在壳体侧的密封构件。该密封构件与上述轴环的表面滑 动接触，以在上述轴环与上述壳体之间保持气密，而且，上述旋转轴以在其自身与上述轴环 之间保持气密的方式被插入。作为本专利技术的驱动装置，能够列举出下述第1形式和第2形式。在第1形式中，上述旋转轴是表面具有磁体部的磁体轴，上述旋转轴以贯穿壳体 的两个相对壁部的方式配设，且利用电动机来旋转。第2形式包括第1旋转轴、第2旋转轴、 及至少安装于第2旋转轴的轴环。根据本专利技术的第1旋转轴以贯穿壳体的第1壁部的形式 可转动地安装，第2旋转轴以贯穿壳体的第2壁部和与该第2壁部相对的第3壁部的方式 配设。换言之，第2旋转轴被设置成贯穿整个壳体。第2旋转轴从动于第1旋转轴地旋转。本专利技术的第2形式的驱动装置优选用于上述磁性耦合方式的磁性输送装置。换言 之，是第1旋转轴为驱动轴、第2旋转轴是表面具有磁体部的磁体轴的磁性螺杆驱动装置。 下面，以将第2形式应用于磁性螺杆驱动装置为例具体说明本专利技术。图1 图4是与根据本专利技术的示例性实施方式的在线式真空处理装置相关的图， 图1是在线式真空处理装置的概略剖视图，图2是磁性输送装置的示意图，图3是沿图2的 线A-A截取的剖视图，图4是磁性螺杆驱动装置的剖视图。在本实施方式中，作为包括磁性 输送装置的真空处理装置的一个例子，对设置于在线式真空处理装置的磁性输送装置进行 说明。为了防止附图复杂化，将其一部分除去省略。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种驱动装置，其用于真空处理装置中的基板输送，该驱动装置包括：壳体；至少１根旋转轴，其以贯穿上述壳体的壁部的方式配设；圆筒状的轴环，其以上述旋转轴插过其中的状态安装于上述旋转轴；及密封构件，其与上述轴环的表面滑动接触，以在上述轴环与上述壳体之间保持气密，上述密封构件安装在上述壳体侧；其中，上述旋转轴以在其与上述轴环之间保持气密的方式插过上述轴环。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：宫内琢真，吉塚浩一，
申请(专利权)人：佳能安内华股份有限公司，
类型：发明
国别省市：JP[日本]