一种卧式真空镀膜机靶门翻转机构制造技术

一种卧式真空镀膜机靶门翻转机构，包括真空镀膜机箱体、靶门、连杆、第一油缸、第二油缸，所述真空镀膜机箱体一侧通过第一铰轴铰装在所述连杆上，所述靶门的一侧通过第二铰轴铰装在所述连杆上；所述第一油缸两端分别铰装在所述靶门的上端面及所述连杆上；所述第二油缸的两端分别铰装在所述真空镀膜机箱体上及所述连杆上；所述第一铰轴、第五铰轴、第六铰轴的轴心连线构成一个三连杆机构；所述第二铰轴、第三铰轴、第四铰轴的轴心连线构成另一个三连杆机构。本实用新型专利技术结构简单、加工制造容易、操作方便、不会造成真空镀膜环境污染，可实现工业化生产，适于与各种、型号的真空镀膜箱配套使用。（*该技术在2020年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术公开了一种卧式真空镀膜机靶门翻转机构，属于真空镀膜机械技术领 域。
技术介绍
卧式真空镀膜机靶门主要用于生产线例行检修和更换靶材时打开真空箱体。传 统的卧式真空镀膜机在检修及更换靶材时，通常是用起重行车吊开真空箱体的盖板门(靶 门或检修门)，由于真空镀膜机是在洁净空间内运行，起重设备的运行不可避免的会产生落 灰，导致真空镀膜机运行可靠性及镀膜质量的下降。同时，吊装过程只能手动操作，很繁琐， 还存在有安全隐患。
技术实现思路
本技术的目的在于克服现有技术之不足而提供一种结构简单、加工制造容 易、操作方便、不会造成真空镀膜环境污染的卧式真空镀膜机靶门翻转机构。本技术是采用下述方案实现的一种卧式真空镀膜机靶门翻转机构，包括真 空镀膜机箱体、靶门、连杆、第一油缸、第二油缸，所述真空镀膜机箱体一侧通过第一铰轴铰 装在所述连杆上，所述靶门的一侧通过第二铰轴铰装在所述连杆上；所述第一油缸的一端 通过第三铰轴铰装在所述靶门的上端面，所述第一油缸的另一端通过第四铰轴铰装在所述 连杆上；所述第二油缸的一端通过第五铰轴铰装在所述真空镀膜机箱体上，所述第二油缸 的另一端通过第六铰轴轴铰装在所述连杆上；所述第一铰轴、第五铰轴、第六铰轴的轴心连 线构成一个三连杆机构；所述第二铰轴、第三铰轴、第四铰轴的轴心连线构成另一个三连杆 机构。本技术的工作原理及优点简述于下当真空箱体检修或更换靶材需开启靶门时，先驱动第二液压油缸动作，在第二液 压油缸的驱动下，连杆带动靶门一起绕第一铰轴旋转，当第二液压油缸的活塞收缩到位后， 第二液压油缸停止工作，此时靶门旋转大于90度，见附图2中状态A ；然后，驱动第一液压 油缸动作，在第一液压油液压油缸的驱动下，靶门绕第四铰轴旋转，当第一液压油缸的活塞 收缩到位后，第一液压油缸停止工作，靶门绕第四铰轴旋转约90度，处于水平状态，开门工 作完成，见附图2中状态B。本技术由于采用上述结构，利用第二液压油缸、第一液压油缸分步驱动耙门 饶不同的铰接轴转动，实现耙门自动开启90度或180度，克服了现有技术耙门开启程序烦 琐、劳动强度大、污染真空镀膜环境的弊端，操作过程自动化程度高，外观整洁。综上所述，本技术结构简单、加工制造容易、操作方便、不会造成真空镀膜环 境污染，可实现工业化生产，适于与各种、型号的真空镀膜箱配套使用。附图说明附图1为本技术结构示意图。附图2为本技术使用状态示意图。图中1_靶门、2-真空镀膜机箱体、3-第二油缸、4-第一油缸、7-连杆。具体事实方式本技术的具体结构，下面结合具体实施例及附图详细说明。参见附图1、2，本技术一种卧式真空镀膜机靶门翻转机构，包括靶门1、真空 镀膜机箱体2、第二油缸3、第一油缸4、连杆7，所述真空镀膜机箱体2 —侧通过第一铰轴5 铰装在所述连杆7上，所述靶门1的一侧通过第二铰轴6铰装在所述连杆7上；所述第一油 缸4的一端通过第三铰轴8铰装在所述靶门1的上端面，所述第一油缸4的另一端通过第 四铰轴9铰装在所述连杆7上；所述第二油缸3的一端通过第五铰轴10铰装在所述真空镀 膜机箱体2上，所述第二油缸3的另一端通过第六铰轴11轴铰装在所述连杆7上；所述第 一铰轴5、第五铰轴10、第六铰轴11的轴心连线构成一个三连杆机构；所述第二铰轴6、第 三铰轴8、第四铰轴9的轴心连线构成另一个三连杆机构。权利要求一种卧式真空镀膜机靶门翻转机构，包括真空镀膜机箱体、靶门、连杆、第一油缸、第二油缸，其特征在于所述真空镀膜机箱体一侧通过第一铰轴铰装在所述连杆上，所述靶门的一侧通过第二铰轴铰装在所述连杆上；所述第一油缸的一端通过第三铰轴铰装在所述靶门的上端面，所述第一油缸的另一端通过第四铰轴铰装在所述连杆上；所述第二油缸的一端通过第五铰轴铰装在所述真空镀膜机箱体上，所述第二油缸的另一端通过第六铰轴铰装在所述连杆上；所述第一铰轴、第五铰轴、第六铰轴的轴心连线构成一个三连杆机构；所述第二铰轴、第三铰轴、第四铰轴的轴心连线构成另一个三连杆机构。专利摘要一种卧式真空镀膜机靶门翻转机构，包括真空镀膜机箱体、靶门、连杆、第一油缸、第二油缸，所述真空镀膜机箱体一侧通过第一铰轴铰装在所述连杆上，所述靶门的一侧通过第二铰轴铰装在所述连杆上；所述第一油缸两端分别铰装在所述靶门的上端面及所述连杆上；所述第二油缸的两端分别铰装在所述真空镀膜机箱体上及所述连杆上；所述第一铰轴、第五铰轴、第六铰轴的轴心连线构成一个三连杆机构；所述第二铰轴、第三铰轴、第四铰轴的轴心连线构成另一个三连杆机构。本技术结构简单、加工制造容易、操作方便、不会造成真空镀膜环境污染，可实现工业化生产，适于与各种、型号的真空镀膜箱配套使用。文档编号C23C14/24GK201695079SQ20102021904公开日2011年1月5日 申请日期2010年6月8日 优先权日2010年6月8日专利技术者孙桂红, 祝海生, 黄国兴 申请人:湘潭宏大真空设备有限公司本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种卧式真空镀膜机靶门翻转机构，包括真空镀膜机箱体、靶门、连杆、第一油缸、第二油缸，其特征在于：所述真空镀膜机箱体一侧通过第一铰轴铰装在所述连杆上，所述靶门的一侧通过第二铰轴铰装在所述连杆上；所述第一油缸的一端通过第三铰轴铰装在所述靶门的上端面，所述第一油缸的另一端通过第四铰轴铰装在所述连杆上；所述第二油缸的一端通过第五铰轴铰装在所述真空镀膜机箱体上，所述第二油缸的另一端通过第六铰轴铰装在所述连杆上；所述第一铰轴、第五铰轴、第六铰轴的轴心连线构成一个三连杆机构；所述第二铰轴、第三铰轴、第四铰轴的轴心连线构成另一个三连杆机构。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：黄国兴，孙桂红，祝海生，
申请(专利权)人：湘潭宏大真空设备有限公司，
类型：实用新型
国别省市：43[中国|湖南]