一种均热装置，包括：容器构造体，该容器构造体具有在内部填充有工作流体、且对被加热材料加热以使被加热材料汽化的加热块（１）；加热单元（６），该加热单元（６）配置在容器构造体的底部；以及材料供应管（１１），该材料供应管（１１）将容器构造体的外侧与内侧连通。在加热块（１）上形成有作为供被加热材料流动的流路的、与材料供应管（１１）相连接并朝水平方向延伸的总集气管（１２）以及从总集气管（１２）分岔并向上下方向延伸的竖管（１４），此外，还形成有作为对工作流体进行冷却冷凝的冷凝路的、形成于竖管（１４）两侧并朝水平方向延伸的冷凝孔（１０）以及形成于竖管（１４）下侧的冷凝槽（１６）。在冷凝孔（１０）与冷凝槽（１６）之间配置有总集气管（１２）。
【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及一种特别是在有机膜的成膜装置中采用的、用于对收容在容器内的 规定材料的原料进行加热的均热装置以及采用这种均热装置的有机膜成膜装置。
技术介绍
例如在现有的有机EL (电致发光)的制造中，当将粉体状的有机EL材料在基板 上成膜时，作为有机EL原料的蒸发装置，一般使用利用加热器对蒸发皿的外部进行加热 从而使蒸发皿内部的有机EL原料升华或熔融蒸发的加热方式。这种加热处理所采用的现 有装置例如公开在国际公开第2007/034790号文本(专利文献1)中。图19是现有的加热处理所采用的蒸发容器的侧视图。图20是现有的加热处理 所采用的蒸发容器的俯视图。如图19和图20所示，蒸发容器由蒸发皿50和隔板52构 成，其中，上述蒸发皿50包括底面和从该底面立设的侧面并对在侧面内部开口的原料收 容空间加以限定，上述隔板52将上述原料收容空间分割成多个局部空间。此外，隔板52 设有具有使多个局部空间在蒸发皿的底面侧连通这样的高度的卡定片54。图21是表示现有的隔板的变形例的示意图。在图21中，作为对上述蒸发皿的 底面和侧面部以及隔板的内部进行加热的单元，记载有包括热管741、761的单元。专利文献1 国际公开第2007/034790号文本专利技术的公开专利技术所要解决的技术问题在专利文献1所示的现有的加热装置中，规定材料的原料被供应至蒸发皿底面 侧的连通部，并在蒸发皿的底面、侧面以及隔板部上加热而蒸发。由于所供应的原料停 留在蒸发皿底面侧的连通部并被加热，因此，在底部连通部的一部分、尤其是在由侧面 和隔板形成的角落部出现原料滞流。一旦出现滞流，将无法充分进行在加热、蒸发的同 时用新原料连续替换蒸发皿各个部分的原料。因此，很难在均勻的温度历史下对蒸发皿 内原料的各个部分加热、蒸发，因而会有在原料的蒸发量上出现偏差这样的问题。此外，对于专利文献1所示的现有的加热装置中在隔板内部设有热管的结构， 需要确保用于收容热管的隔板的厚度。为了流畅地进行热管的内部工作液的循环，需要 将上述热管的直径确保在一定程度以上，例如当以水为工作液时，需要确保热管的直径 为7 8mm以上。藉此，在增加隔板厚度并增大蒸发皿尺寸而大型化的同时，会有出现 加热装置的热响应迟缓这样的问题。此外，在专利文献1所示的现有的加热装置中，将蒸发皿的底面部和侧面部作 为双重构造，并使设于隔板内部的热管与上述双重构造部连通，当蒸发皿被加热至所需 温度时，在上述双重构造部分上会产生与动作温度相应的热管的工作液的蒸汽压作为内 压。例如，当以水作为工作液而在200°c进行动作时会产生大约1.6MPa的蒸汽压力，而 当以萘为工作液而在400°C进行动作时会产生大约1.9MPa的蒸汽压力。不过，这种双重 构造部分由于无法作为保持这种高温加热时的内压强度的结构，因此，会有在高温时出现蒸发皿变形或破损的危险性这样的问题。本专利技术为解决上述技术问题专利技术而成，其目的在于提供一种可在装置内部的各 个部分对被加热材料连续加热，使被加热材料的温度均勻而进行稳定的汽化，并且在高 温下也能充分承受工作流体的蒸汽压的均热装置。解决技术问题所采用的技术方案本专利技术的均热装置包括容器构造体、加热单元以及材料供应管。在容器构造 体的内部形成有供工作流体填充的封闭空间。加热单元配置在容器构造体的底部。材料 供应管将容器构造体的外侧与内侧连通。容器构造体具有对被加热材料加热以使其汽化 的加热块和围住加热块的外壳部。在加热块上形成有供被加热材料流动的流路。流路包 括第一流路，该第一流路与材料供应管相连接并朝水平方向延伸；第二流路，该第二 流路从第一流路分岔并向上下方向延伸；以及开口部，该开口部是第二流路在容器构造 体的上部表面的开口。此外，在加热块上形成有冷凝路。在冷凝路上，被加热单元加热 而蒸发的工作流体被冷却而冷凝。冷凝路包括上侧冷凝孔，该上侧冷凝孔形成于第二 流路两侧并朝水平方向延伸；以及下侧冷凝槽，该下侧冷凝槽形成于第一流路的下侧。 在上侧冷凝孔与下侧冷凝槽之间配置有第一流路。专利技术效果根据本专利技术，利用在设于加热块的冷凝路的内壁面上对气体状的工作流体冷 却、冷凝的作用，可对加热块进行加热，并使被加热的加热块的温度均勻化。因此，能 使在经过加热块内的流路时被加热的被加热材料的温度均勻化后进行加热。此外，构成 被加热材料从流路入口到出口连续流动的流路，不会造成被加热材料的一部分在流路的 一部分滞留，从而能提高被加热材料的加热历史的均勻性。此外，通过将被加热材料的 流路制成小径，从而能抑制经过流路内部的被加热材料的熔融物的对流。因此，由于可 使被加热、汽化的被加热材料的温度的均勻性提高，因而能得到可应用于进行高精度的 成膜处理的蒸镀装置。附图说明图1是实施方式1的均热装置的剖视图。图2是与图1所示的截面正交的均热装置的剖视图。图3是图1和图2所示的均热装置的俯视图。图4是实施方式2的均热装置的剖视图。图5是与图4所示的截面正交的均热装置的剖视图。图6是实施方式3的均热装置的剖视图。图7是与图6所示的截面正交的均热装置的剖视图。图8是实施方式3的均热装置的变形例的剖视图。图9是与图8所示的截面正交的均热装置的剖视图。图10是实施方式4的均热装置的剖视图。图11是与图10所示的截面正交的均热装置的剖视图。图12是实施方式5的均热装置的剖视图。图13是与图12所示的截面正交的均热装置的剖视图。图14是实施方式6的均热装置的剖视图。图15是与图14所示的截面正交的均热装置的剖视图。图16是表示实施方式1的均热装置的升温过程中的装置各个部分的温度测量结 果的曲线图。图17是表示由不锈钢的催化效果产生的萘的热分解特性的曲线图。图18是表示由不锈钢的催化效果产生的萘烷的热分解特性的曲线图。图19是现有的加热处理所采用的蒸发容器的侧视图。图20是现有的加热处理所采用的蒸发容器的俯视图。图21是表示现有的隔板的变形例的示意图。(符号说明)1加热块2外壳部3 凸缘4中空部5工作液6加热单元7蒸汽泡8、9、17、20 箭头10、10a、IOb冷凝孔(日文凝縮孔)11材料供应管12总集气管13分集气管14竖管(日文立上>9管)15 开口部16冷凝槽(日文凝縮穴)18柱管(日文力，A )21配管系统22冷凝槽23蒸发器24蒸汽管25 液管26第二工作液27第二加热单元具体实施例方式以下，根据附图对本专利技术的实施方式进行说明。另外，在以下附图中，对相同 或相似的部分标注相同的符号，不重复其说明。另外，在以下所说明的实施方式中，各个构成要素除了有特别记载的情况之 外，对本专利技术而言均是非必须的。此外，在以下实施方式中，说到个数、量等情况时，除了有特别记载的情况之外，上述个数等均为例示，本专利技术的范围并不限定于其个数、旦雄里寺。(实施方式1)图1是实施方式1的均热装置的剖视图。图2是与图1所示的截面正交的均热 装置的剖视图。图3是图1和图2所示的均热装置的俯视图。在以下实施方式中，水平 方向是指均热装置的剖视图中的左右方向，上下方向是指这些图中的上下方向。如图1 图3所示，均热装置包括加热块1和以围住加热块1的周围的形态配 置的外壳部2。此外，均热装置包括凸缘3。加热块1和外壳部2在各自的上端部与凸 缘3接合，而各自的下部接本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种均热装置，其特征在于，包括：容器构造体，该容器构造体在内部形成有填充了工作流体的封闭空间；加热单元（６），该加热单元（６）配置在所述容器构造体的底部；以及材料供应管（１１），该材料供应管（１１）将所述容器构造体的外侧与内侧连通，所述容器构造体具有对被加热材料进行加热而使被加热材料汽化的加热块（１）、以及围住所述加热块（１）的外壳部（２），在所述加热块（１）上形成有供被加热材料流动的流路、对被所述加热单元（６）加热、蒸发的工作流体进行冷却、冷凝的冷凝路，所述流路包括：第一流路（１２、１３），该第一流路（１２、１３）与所述材料供应管（１１）相连接并朝水平方向延伸；第二流路（１４），该第二流路（１４）从所述第一流路（１２、１３）分岔并向上下方向延伸；以及开口部（１５），该开口部（１５）是所述第二流路（１４）在所述容器构造体的上部表面上的开口，所述冷凝路包括：上侧冷凝孔（１０），该上侧冷凝孔（１０）形成于所述第二流路（１４）两侧并朝水平方向延伸；以及下侧冷凝槽（１６），该下侧冷凝槽（１６）形成于所述第一流路（１２、１３）的下侧，在所述上侧冷凝孔（１０）与所述下侧冷凝槽（１６）之间配置所述第一流路（１２、１３）。...
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】
【专利技术属性】
技术研发人员：大见忠弘，北野真史，山荫久明，山田义人，
申请(专利权)人：国立大学法人东北大学，东芝三菱电机产业系统株式会社，
类型：发明
国别省市：JP
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。