一种有机ＥＬ发光元件，其具有：导电性透明电极（３）、与该导电性透明电极（３）对置的对置电极（８）、在所述导电性透明电极（３）和所述对置电极（８）之间设置的有机ＥＬ发光层（６）、至少覆盖所述有机ＥＬ发光层（６）而设置的绝缘保护层（９）、与...

在形成于基本上含有（１１０）平面的硅表面上的Ｐ－沟道功率ＭＩＳ场效应晶体管中，使用栅极绝缘膜，该栅极绝缘膜提供１０Ｖ或以上的栅极－至－源极击穿电压，并且平面化硅表面，或者含有Ｋｒ、Ａｒ或Ｘｅ。

在形成于基本上含有（１１０）平面的硅表面上的Ｐ－沟道功率ＭＩＳ场效应晶体管中，使用栅极绝缘膜，该栅极绝缘膜提供１０Ｖ或以上的栅极－至－源极击穿电压，并且平面化硅表面，或者含有Ｋｒ、Ａｒ或Ｘｅ。

在透明基体上形成选择性地设置了到达该透明基体的沟的感光性透明树脂膜，在沟内设置实质上具有与感光性透明树脂膜的表面相同的表面的布线部。在将布线部覆盖在沟内之前，通过对感光性透明树脂膜表面或者沟的底面实施处理，可以迅速形成布线部，同时可以容...

为了提供电绝缘层间的粘合性高、并且层间电阻低的电路基板，在具有基体１上形成的第１导体层，和在该第１导体层上形成的第１电绝缘层的电路基板中，第１导体层有０．１ｎｍ以上且不足１００ｎｍ的表面粗糙度Ｒａ，在该第１导体层与第１电绝缘层之间设置以...

本发明的目的在于发现由于电子装置制造时使用的加热处理装置中的气氛，制造的电子装置叠置材料特性受到坏影响，从而减轻该坏影响。为了实现该目的，利用氧化物钝态膜覆盖加热处理装置的内表面，并且将该内表面的表面粗糙度以中心平均粗糙度Ｒａ设为１μｍ...

一种压接压接部的接合装置，通过使其内部的压接部气氛的水分浓度比装置外部气氛的水分浓度小，从而能够在低温、低压条件下进行压接。此时，形成压接部的接合金属端子及被接合金属端子的各表面的吸附水分量为１×１０↑［１６］分子／ｃｍ↑［２］以下。

一种使用了放射线槽天线的微波等离子体处理装置，由与滞波板（１８）的热膨胀率接近的材料或通过在构成滞波板（１８）的电介质板上附着金属来形成槽板（１６）。提高天线中滞波板与构成微波辐射面的槽板之间的粘附性，防止异常放电。

一种微波等离子体处理装置，为了使阻抗变化缓和，通过在微波供给波导管和微波天线之间设置锥面或具有中间介电常数的部件，可抑制微波供给波导管与微波天线的连接部中的反射波的形成，提高供电效率，抑制放电，在等离子体处理装置中稳定形成等离子体。

一种等离子体处理装置，由：通过外壁围成、并具备保持被处理基板的保持台的处理容器；与上述处理容器连接的排气系统；向上述处理容器中供给等离子体气体的等离子体气体供给部；对应于上述被处理基板而设置于上述处理容器上的微波天线；以及面对上述被处理...

一种具有放射线槽天线的微波等离子体处理装置，可抑制异常放电，提高微波等离子体的激发效率。在放射线槽天线与同轴波导管的连接部中，使同轴波导管中的供电线前端部离开构成辐射面的槽板。

一种使用了放射线槽天线的微波等离子体处理装置，由与滞波板（１８）的热膨胀率接近的材料或通过在构成滞波板（１８）的电介质板上附着金属来形成槽板（１６）。提高天线中滞波板与构成微波辐射面的槽板之间的粘附性，防止异常放电。

本发明涉及使用放射线槽天线的微波等离子体处理装置，使放射线槽天线辐射面与构成处理室外壁的一部分，贴紧在与浇淋板贴紧的盖板上，在放射线槽天线上还通过设置冷却器，以便吸收于厚度方向在处理室外壁中流过的热流，从而使浇淋板的冷却效率最佳化，同时...

本发明涉及使用放射线槽天线的微波等离子体处理装置，使放射线槽天线辐射面与构成处理室外壁的一部分，贴紧在与浇淋板贴紧的盖板上，在放射线槽天线上还通过设置冷却器，以便吸收于厚度方向在处理室外壁中流过的热流，从而使浇淋板的冷却效率最佳化，同时...

本发明能够尽量抑制高价氪、氙气的消耗量，同时降低等离子处理时对被处理物的损伤。在利用稀有气体进行的基板的等离子处理中，使用２种以上的不同的稀有气体，稀有气体之一采用廉价的氩气，其以外的气体采用与电子的碰撞截面积大于氩气的氪、氙的一种或两...

以提供成膜速度快，使均匀成膜成为可能，能够节省原料的成膜装置和成膜方法为目的，使蒸发的成膜材料通过输运气体的气体流动到达基板表面，可以通过气体的气体流动控制成膜条件，能够将均匀的膜堆积在大面积的基板上。即、通过将气化的原料引导向基板而提...

一种有机ＥＬ发光元件，其具有：导电性透明电极（３）、与该导电性透明电极（３）对置的对置电极（８）、在所述导电性透明电极（３）和所述对置电极（８）之间设置的有机ＥＬ发光层（６）、至少覆盖所述有机ＥＬ发光层（６）而设置的绝缘保护层（９）、与...

本发明涉及准分子激光器振荡设备，其具有激光室，用于存储包括至少一种选自Ｋｒ、Ａｒ、Ｎｅ、Ｆ↓［２］气体组中惰性气体混合物的激光气体，在激光室内表面上具有相对于所要求波长如，２４８ｎｍ，１９３ｎｍ，或１５７ｎｍ光不反射的表面，该内表面的最...

在通过使电介质谐振来发射电波的电介质谐振器天线中，通过使电介质含有磁性体，使相对磁导率大于１且降低相对介电常数，从而以维持波长缩短率的状态使谐振的Ｑ值降低，由此，实现宽频带的电介质谐振器天线。

本发明涉及一种发电装置，特别是一种几乎完全不使用矿物燃料，对地球环境不会造成污染，并以低价格取得大量发电功能，以代替火力发电的发电装置，该装置包括在一容器中装入由一种本身不离解的溶剂和向其中添加的在该溶剂中离解的物质所组成的溶液。该容器...