真空蒸气处理装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种真空蒸气处理装置，其可调节蒸发的金属原子在被处理物上的供给 量且结构简单。其配置有：真空容器12，其可保持规定压力；处理容器2以及蒸发容器 3，其在该真空容器内隔离设置并彼此连通；加热手段6a、6b，其在把被处理物配置在 该处理容器2中的同时，把金属蒸发材料V配置在蒸发容器内，可在该状态下加热处理 容器及蒸发容器。并采用以下构成：通过加热手段把处理容器及蒸发容器分别加热，使 被处理物升温到规定温度的同时，使金属蒸发材料蒸发，把该蒸发的金属原子提供给处 理容器内的被处理物表面。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及用于实施真空蒸气处理的真空处理装置，其在处理室内加热被处理物 的同时使金属蒸发材料蒸发，使该蒸发的金属原子附着、沉积到规定温度下的被处理 物表面形成金属膜，此外，当被处理物具有结晶构造的情况下，可使金属原子在附着 到被处理物表面的同时向其晶界内扩散。
技术介绍
众所周知，此种真空蒸气处理装置是用来提高例如Nd—Fe—B系烧结磁铁的磁特 性的，由玻璃管等构成的密封容器和电炉构成。此种真空蒸气处理装置，是在密封容 器内以混合状态收容Nd—Fe—B系烧结磁铁等被处理物，以及从Yb、 Eu、 Sm中选择 出的稀土类金属的金属蒸发材料，通过真空泵等减压到规定压力加以密封后收容到电 炉内，边使该密封容器旋转边加热(例如50(TC)。密封容器一被加热，由于金属蒸发材料蒸发，在密封容器内形成金属蒸气气氛， 由于该蒸气气氛中的金属原子被大致加热到相同温度的烧结磁铁吸附，进而该附着的 金属原子向烧结磁铁的晶界相扩散，因而通过向烧结磁铁表面及其晶界相均匀且按所 需量导入金属原子，即可提高或恢复磁化及顽磁力(参见专利文献1及专利文献2)。专利文献1:特开2002—105503号公报(例如参照图1、图2)专利文献2:特开2004—296973号公报(例如参照权利要求书)
技术实现思路
然而，正如上文所述，当为了提高烧结磁铁的磁特性而实施使金属原子向烧结磁铁 的被处理物表面附着的同时向其晶界内扩散的情况下，通过控制电炉加热密封容器的 温度取决于作为被处理物的烧结磁铁的加热温度。由于在上述装置中，金属蒸发材料 和被处理物是以混合状态配置的，而金属蒸发材料也被加热到大致相同的温度，因而 金属蒸气气氛中的金属原子提供给被处理物的供给量取决于该温度下的蒸气压。因而4存在一定温度下的金属蒸气气氛中的金属原子提供给被处理物的供给量无法调节的问 题。此外，由于要想将金属原子在烧结磁体的整个面上导入所需量，就需有使密封容器 旋转的驱动机构，因而导致装置结构复杂化，成本上升。还有，由于金属蒸发材料和 被处理物是以混合状态配置的，因而有可能出现熔化的金属蒸发材料直接附着到被处 理物上的不良状态。为此，鉴于上述问题，本专利技术的目的在于提供一种真空蒸气处理装置，其可用简单 的结构调节蒸发的金属原子提供给被处理物的供给量。为了解决上述课题，本专利技术的 真空蒸气处理装置，其特征在于，其配置有真空容器，其可保持规定压力；处理容 器以及蒸发容器，其在该真空容器内隔离设置并彼此连通；加热手段，其把被处理物 配置在该处理容器中的同时，把金属蒸发材料配置在蒸发容器内，可在该状态下加热 处理容器及蒸发容器，并采用以下构成通过所述加热手段把处理容器及蒸发容器分 别加热，使被处理物升温到规定温度的同时，使金属蒸发材料蒸发，把该蒸发的金属 原子提供给处理容器内的被处理物表面。若采用本专利技术，将被处理物和金属蒸发材料分别设置在处理容器和蒸发容器中，通 过在真空容器减压环境下使加热手段动作，将处理容器和蒸发容器分别加热，在一定 压力下，金属蒸发材料一达到规定温度即开始蒸发。在此情况下，由于被处理物和金 属蒸发材料分别收容在不同的容器中，因此即使被处理物是烧结磁铁，且金属蒸发材 料是稀土类金属时，熔化的稀土类金属也不会直接附着到表面Nd富相熔化的烧结磁铁 上。而且，在蒸发容器内蒸发的金属原子被提供给处理容器，在处理容器内直接或经反 复撞击后从多个方向向被处理物移动并附着、沉积。当被处理物具有结晶构造情况下， 附着在被加热到规定温度的被处理物表面上的金属原子向其晶界内扩散。此时，由于 配置被处理物的处理容器和收容金属蒸发材料的蒸发容器彼此分离，因而可对被处理 物和金属蒸发材料单独加热，与被处理物的加热温度无关，通过将蒸发容器加热到任 意温度，改变蒸发容器内的蒸气压，即可调节蒸发的金属原子提供给被处理物的供给若预先在前述蒸发容器内设置可配置金属蒸发材料的托盘，还可进一步调节蒸发的 金属原子向被处理物的供给量。此外，若预先在前述托盘的开口面上或在处理容器及蒸发容器彼此间的通道上安装 可调节金属原子向处理容器的供给量的调节板，在不安装调节板的情况下，金属蒸发 材料的蒸发量取决于托盘上面的开口面积，安装了调节板的情况下，通过该调节板到 达处理容器内的金属原子的数量减少，可调节金属蒸发材料向被处理物的供给量。在 此情况下，也可通过增减托盘的开口面积来增减一定温度下的金属蒸发材料的蒸发量。 此外，还可通过改变连通处理容器和蒸发容器的通道的截面积来增减通过该通道到达 处理容器内的金属原子的量。前述处理容器最好是第1箱体，其由上面开口的箱部和可在该开口面上灵活装卸的 盖部构成；该第1箱体可在真空容器内自由进出，随着真空容器的减压，第l箱体的 内部空间可减压到规定压力。这样即可不必另行设置处理容器减压用的真空排气手段， 实现低成本化，此外，例如在使金属蒸发材料停止蒸发后，不必把处理容器先行取出， 即可将其内部进一步减压到规定压力。此外，由于设定为收容了被处理物的处理容器可在真空容器内自由进出，因而无需在真空容器内设置把被处理物装入箱体内或从中 取出的机构，简化了装置本身的结构。在此情况下，若设定为将多个箱体收容在真空 容器内，可同时进行处理，还可应对大批量生产。在此情况下，还可在距前述处理容器底面的规定高度位置上设置可承载被处理物的 承载部，该承载部若通过配置线材构成，由于蒸发容器中蒸发的金属原子可直接或经 多次撞击后从多个方向提供给被处理物的所有面，因而无需使被处理物旋转的旋转机 构等，可简化装置构成。另外，前述蒸发容器最好是第2箱体，其由上面开口的箱部和可在开口面上自由 装卸的盖部构成，该第2箱体可在真空容器内自由进出，随着真空容器的减压，第2 箱的内部空间可减压到规定压力。此外，如果前述处理容器、蒸发器以及加热手段由不与金属蒸发材料发生反应的 材料构成，或由至少在其表面上采用不与金属蒸发材料发生反应的材料作为内衬膜的 工件构成。即可防止其它金属原子进入金属蒸气气氛中，此外，金属蒸发材料的回收 更为容易，尤其是在以资源匮乏，无望稳定供给的Dy及Tb作为金属蒸发材料时更为 有效°此外，如果前述被处理物是铁一硼一稀土类系的烧结磁铁，前述金属蒸发材料至 少含有Dy、 Tb中的一种，则可通过调节蒸发的Dy及Tb的金属原子提供给烧结磁铁6的供给量，使金属原子附着在烧结磁铁表面上，使该附着的金属原子在烧结磁铁表面 上形成由Dy、 Tb构成的薄膜之前即向烧结磁铁的晶界相扩散。 专利技术效果正如上文所述，本专利技术的真空蒸气处理装置具有下述效果结构简单，除此而夕卜， 还可调节蒸发的金属原子提供给被处理物的供给量。具体实施方式下面参照图l及图2加以说明，l是本专利技术的真空蒸气处理装置，真空蒸气处理装 置1具有真空容器12,其可通过涡轮分子泵、低温泵、扩散泵等真空排气手段11减压 并保持在规定压力上(例如1X10—Spa)。真空容器12内在上下方向上并列配置了处理 容器2及蒸发容器3。处理容器2及蒸发容器3经通道4彼此连通，可将按照所需的处 理适当选择出的被处理物S和金属蒸发材料V分别配置在处理容器2及蒸发容器3中， 将蒸发容器3中蒸发的金属原子经通道4提供给处理容器2。处理容器2是第1箱体，其由上面开口的长本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种真空蒸气处理装置，其特征在于，配置有：真空容器，其可保持规定压力；处理容器以及蒸发容器，其在该真空容器内隔离设置并彼此连通；加热手段，其在把被处理物配置在该处理容器中的同时，把金属蒸发材料配置在蒸发容器内，可在该状态下加热处理容器及蒸发容器，并采用以下构成：通过所述加热手段把处理容器及蒸发容器分别加热，使被处理物升温到规定温度的同时，使金属蒸发材料蒸发，把该蒸发的金属原子提供给处理容器内的被处理物表面。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2006.9.14 JP 248963/20061、一种真空蒸气处理装置，其特征在于，配置有真空容器，其可保持规定压力；处理容器以及蒸发容器，其在该真空容器内隔离设置并彼此连通；加热手段，其在把被处理物配置在该处理容器中的同时，把金属蒸发材料配置在蒸发容器内，可在该状态下加热处理容器及蒸发容器，并采用以下构成通过所述加热手段把处理容器及蒸发容器分别加热，使被处理物升温到规定温度的同时，使金属蒸发材料蒸发，把该蒸发的金属原子提供给处理容器内的被处理物表面。2、 根据权利要求1所述的真空蒸气处理装置，其特征在于在前述蒸发容器内设置 了可配置金属蒸发材料的托盘。3、 根据权利要求1或2所述的真空蒸气处理装置，其特征在于在前述托盘的开口 面上或处理容器及蒸发容器彼此间的通道上安装了调节板，其可调节蒸发的金属原子 提供给处理容器的供给量。4、 根据权利要求1至3任一项所述的真空蒸气处理装置，其特征在于前述处理容 器是第1箱体，其由上面开口的箱部...

【专利技术属性】
技术研发人员：永田浩，新垣良宪，
申请(专利权)人：株式会社爱发科，
类型：发明
国别省市：JP