蒸镀源、有机ＥＬ元件的制造装置制造方法及图纸

改善蒸镀源的蒸发容器（９）的热控制性。本发明专利技术的蒸镀源（３）具有配置有机材料（２１）的蒸发容器（９），在蒸镀源（３）的外周卷绕有加热线（１８）。有机材料（２１）和蒸发容器（９）的侧壁接触的部分以与加热线（１８）的下端相比成为下方的方式配置，在基板支持架（４）安装基板（２０）。在启动电源（７）使加热线（１８）发热而加热蒸发容器（９）时，有机材料（２１）的蒸气从朝上的贯通孔（３１）释放至真空槽（２）内部，附着于基板（２０），形成薄膜。因将加热线（１８）配置至蒸发容器（９）的上端，所以能够使开口升温至蒸发温度以上，上述蒸发容器（９）由铜、铜／铍合金、Ｔｉ或Ｔａ的任一种金属材料构成，侧壁与底壁被成形为０．３ｍｍ以上０．７ｍｍ以下的厚度，因此热容小，控制性优越。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及蒸镀源，和使用该蒸镀源的装置。
技术介绍
历来，对于蒸镀装置的蒸发容器(坩埚)，使用石墨制的容器。由于石墨制的坩埚 需要某种程度的壁厚，所以坩埚变重，热容变大。因此，坩埚的温度响应性差，难以正确地控制坩埚内的蒸镀材料的温度。另外，在 作为蒸镀材料而将有机材料填充于坩埚的情况下，根据有机材料的种类，存在有机材料渗 入坩埚的情况。专利文献1 日本专利申请特开2005-97730号公报
技术实现思路
专利技术要解决的课题本专利技术是为了解决上述课题而完成的，其目的在于提供一种温度响应性高，且蒸 镀材料难以渗入蒸发容器的蒸镀源。用于解决课题的方案为了解决上述课题，本专利技术是蒸镀源，其构成为具有环状的加热装置；以及被插 入上述加热装置，并配置有机材料蒸发容器，当上述加热装置发热时，上述有机材料被加 热，从上述蒸发容器释放上述有机材料的蒸气，其中，上述蒸发容器是由铜、铜/铍合金、Ti 或Ta的任一种金属材料构成，侧壁与底壁被成形为0. 3mm以上0. 7mm以下的厚度。本专利技术是蒸镀源，其中，构成为在上述加热装置的周围配置有水冷护罩，上述加热 装置的外周侧面与上述水冷护罩的本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种蒸镀源，其构成为，具有：环状的加热装置；以及被插入上述加热装置，并配置有机材料的蒸发容器，当上述加热装置发热时，上述有机材料被加热，从上述蒸发容器释放上述有机材料的蒸气，其中，上述蒸发容器是由铜、铜／铍合金、Ｔｉ或Ｔａ的任一种金属材料构成，侧壁与底壁被成形为０．３ｍｍ以上０．７ｍｍ以下的厚度。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：永田纯一，
申请(专利权)人：株式会社爱发科，
类型：发明
国别省市：JP[日本]