改善蒸镀源的蒸发容器（９）的热控制性。本发明专利技术的蒸镀源（３）具有配置有机材料（２１）的蒸发容器（９），在蒸镀源（３）的外周卷绕有加热线（１８）。有机材料（２１）和蒸发容器（９）的侧壁接触的部分以与加热线（１８）的下端相比成为下方的方式配置，在基板支持架（４）安装基板（２０）。在启动电源（７）使加热线（１８）发热而加热蒸发容器（９）时，有机材料（２１）的蒸气从朝上的贯通孔（３１）释放至真空槽（２）内部，附着于基板（２０），形成薄膜。因将加热线（１８）配置至蒸发容器（９）的上端，所以能够使开口升温至蒸发温度以上，上述蒸发容器（９）由铜、铜／铍合金、Ｔｉ或Ｔａ的任一种金属材料构成，侧壁与底壁被成形为０．３ｍｍ以上０．７ｍｍ以下的厚度，因此热容小，控制性优越。
【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及蒸镀源，和使用该蒸镀源的装置。
技术介绍
历来，对于蒸镀装置的蒸发容器(坩埚)，使用石墨制的容器。由于石墨制的坩埚 需要某种程度的壁厚，所以坩埚变重，热容变大。因此，坩埚的温度响应性差，难以正确地控制坩埚内的蒸镀材料的温度。另外，在 作为蒸镀材料而将有机材料填充于坩埚的情况下，根据有机材料的种类，存在有机材料渗 入坩埚的情况。专利文献1 日本专利申请特开2005-97730号公报
技术实现思路
专利技术要解决的课题本专利技术是为了解决上述课题而完成的，其目的在于提供一种温度响应性高，且蒸 镀材料难以渗入蒸发容器的蒸镀源。用于解决课题的方案为了解决上述课题，本专利技术是蒸镀源，其构成为具有环状的加热装置；以及被插 入上述加热装置，并配置有机材料蒸发容器，当上述加热装置发热时，上述有机材料被加 热，从上述蒸发容器释放上述有机材料的蒸气，其中，上述蒸发容器是由铜、铜/铍合金、Ti 或Ta的任一种金属材料构成，侧壁与底壁被成形为0. 3mm以上0. 7mm以下的厚度。本专利技术是蒸镀源，其中，构成为在上述加热装置的周围配置有水冷护罩，上述加热 装置的外周侧面与上述水冷护罩的内周侧面面对。本专利技术是蒸镀源，其中，上述水冷护罩的高度被做成比上述蒸发容器的开口的高 度低。本专利技术是蒸镀源，其中，具有覆盖上述蒸发容器的内部空间的盖构件，上述盖构件 具有盖部主体，以及形成于上述盖部主体的贯通孔，上述盖部主体配置于上述蒸发容器内 部的、上述蒸发容器的开口与底面之间，在上述蒸发容器内从上述有机材料释放蒸气时，该 蒸气充满上述蒸发容器的内部空间，并通过上述贯通孔向上述蒸发容器的外部空间释放。本专利技术是蒸镀源，其中，上述盖部主体位于以上述加热装置包围的空间。本专利技术是蒸镀源，其中，上述盖构件具有连接于上述盖部主体的悬吊部，上述悬吊 部载置于上述蒸发容器的开口的缘部分，上述盖部主体通过上述悬吊部，悬挂于上述蒸发 容器的内部空间。本专利技术是有机EL元件的制造装置，在基板表面形成有机薄膜而制造有机EL元件， 其中，该有机EL元件的制造装置构成为，具有真空槽；以及配置于上述真空槽内的蒸镀 源，上述蒸镀源，具有环状的加热装置；以及被插入上述加热装置，并配置有机材料的蒸 发容器，当上述加热装置发热时，上述有机材料被加热，从上述蒸发容器释放上述有机材料的蒸气，上述蒸发容器由铜、铜/铍合金、Ti或Ta的任一种金属材料构成，侧壁与底壁被成 形为0. 3mm以上0. 7mm以下的厚度。本专利技术是有机EL元件的制造装置，其中，构成为在上述加热装置的周围配置有水 冷护罩，上述加热装置的外周侧面与上述水冷护罩的内周侧面面对。本专利技术是有机EL元件的制造装置，其中，上述水冷护罩的高度被做成比上述蒸发 容器的开口的高度低。本专利技术是有机EL元件的制造装置，其中，具有覆盖上述蒸发容器的内部空间的盖 构件，上述盖构件具有盖部主体，以及形成于上述盖部主体的贯通孔，上述盖部主体配置 于上述蒸发容器内部的上述蒸发容器的开口与底面之间，在上述蒸发容器内从上述有机材 料释放蒸气时，该蒸气充满上述蒸发容器的内部空间，并通过上述贯通孔向上述蒸发容器 的外部空间释放。本专利技术是有机EL元件的制造装置，其中，上述盖部主体位于以上述加热装置包围 的空间。本专利技术是有机EL元件的制造装置，其中，上述盖构件具有连接于上述盖部主体的 悬吊部，上述悬吊部载置于上述蒸发容器的开口的缘部分，上述盖部主体通过上述悬吊部， 悬挂于上述蒸发容器的内部空间。 专利技术的效果因为蒸发容器的热响应性高，所以能够缩短从加热开始到蒸气释放的启动时间。 因为可以正确地进行有机材料的温度控制，所以能够不分解有机材料而使其蒸发。在停止 加热装置时，蒸气释放在短时间停止。因为有机材料不析出到贯通孔，所以蒸气释放速度稳 定。因为有机材料不渗入蒸发容器，所以能够有效利用高价的有机材料。附图说明图1是说明真空蒸镀装置的一例的剖面图。图2是说明本专利技术的蒸镀源的一例的剖面图。附图标记说明1 真空蒸镀装置(有机EL元件的制造装置)3 :蒸镀源9 蒸发容器10 加热装置21 有机材料具体实施例方式图1的附图标记1表示本专利技术的一例的有机EL元件的制造装置(真空蒸镀装置)。 真空蒸镀装置1具有真空槽2。在真空槽2内部的下方配置有蒸镀源3，在其上方配置有基 板支架4。蒸镀源3如图2所示具有蒸发容器9、加热装置10、和水冷护罩13。加热装置10为环状，具有将高导热率的物质形成为环状的均热体17。均热体17 在真空槽2内，将其中心轴线作为大致垂直而配置。蒸发容器9在将开口 35朝向上方(真空槽2的顶侧)的状态下铅直地插入到均热体17的环内，均热体17环装于蒸发容器9的外周侧面。在均热体17的内部，设置有与均热体17同心卷绕的加热线18，蒸发容器9被加热 线18所卷绕。均热体17的铅直方向(高度方向)的长度与蒸发容器9的铅直方向的长度(高 度)相比被缩短。在蒸发容器9的上端(开口 35的周围)为了加强而形成有凸缘36(开 口 35的缘部分)，均热体17的上端与凸缘36接触，将凸缘36载置于均热体17。因此，蒸 发容器9在底面部分从加热装置10突出的状态下，悬挂于加热装置10。即，蒸发容器9的 与均热体17的下端相比为下方的部分不被均热体17覆盖而露出于真空槽2的内部环境。在真空槽2的外部配置有加热电源7，加热线18连接于该加热电源7。通过加热 电源7对加热线18通电，当加热线18发热时，在蒸发容器9的外周侧面中，与均热体17面 对的部分通过来自均热体17的导热被加热而升温。蒸发容器9是通过铜薄板，或铜/铍合金薄板的拉延加工而形成，底面与侧壁的厚 度被作为0. 3mm以上0. 7mm以下。由于蒸发容器9壁的厚度薄，所以坩埚的重量轻，由于热容小，所以升温速度或降 温速度快，在进行温度控制的情况下追随性高在蒸发容器9的内部，到与均热体17的下端相比较低的位置配置有粉体的有机材 料21，蒸发容器9中的有机材料21的上端与均热体17的下端之间的部分是与均热体17及 有机材料21均不接触的无接触部分14，当从均热体17通过热传导而加热蒸发容器9的上 部时，在无接触部分14中从上方至下方传导热而加热有机材料21。因此，蒸发容器9侧面的热的上流侧的上部与热的下流侧的下部相比温度变高， 因此即使令蒸发容器9的配置了有机材料21的部分降温至蒸发温度附近，也能够将温度容 易下降的蒸发容器9的开口 35的部分的温度维持在蒸发温度以上。在露出于蒸发容器9的内部空间的底面与内周面(露出面27)，形成有反应防止膜 41。反应防止膜41例如将镍、镍钯合金、白金、铑，钯等作为主成分，以电镀法形成。有机材料21不与铜接触而与反应防止膜41接触，即使有机材料21被升温至蒸发 温度以上，也不与铜进行反应。水冷护罩13为环状，与蒸发容器9及均热体17以同心的方式包围均热体17的外 周而配置。水冷护罩13不与均热体17接触，从均热体17的外周侧面放射的热线被水冷护 罩13遮蔽，真空槽2的壁面不被加热。水冷护罩13的铅直方向的长度比均热体17的铅直方向的长度短，水冷护罩13的 下端与均热体17的下端高度相同，或配置于其下方，水冷护罩13的上端与均热体17的上 端相比位于下方。因此，均热体17的外周本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种蒸镀源，其构成为，具有：环状的加热装置；以及被插入上述加热装置，并配置有机材料的蒸发容器，当上述加热装置发热时，上述有机材料被加热，从上述蒸发容器释放上述有机材料的蒸气，其中，上述蒸发容器是由铜、铜／铍合金、Ｔｉ或Ｔａ的任一种金属材料构成，侧壁与底壁被成形为０．３ｍｍ以上０．７ｍｍ以下的厚度。
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...
【专利技术属性】
技术研发人员：永田纯一，
申请(专利权)人：株式会社爱发科，
类型：发明
国别省市：JP[日本]
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