一种均热装置，包括容器结构体、材料供给管（１２）及加热装置（６）。容器结构体具有内容器（２）和外容器（１）。在外容器（１）中，填充有工作流体。将内容器（２）与外容器（１）的各自的上端部接合，并在内容器（２）与外容器（１）之间形成有中空部（４）。材料供给管（１２）从容器结构体的外部到达内容器（２）的内表面。加热装置（６）配置于外容器（１）的底部。在内容器（２）的底面，形成有朝内容器（２）的内部侧突起的多个突起（１０）和底面朝突起（１０）的内侧凹陷、并可收纳汽化了的工作流体的凹部（１１）。
【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及一种均热装置，特别地，涉及一种用于对收容于容器内的规定材料的 原料加热的均热装置。
技术介绍
例如在现有的有机EL(电致发光)的制作中，当将粉体状的有机EL材料在基板上 成膜时，作为有机EL原料的蒸发装置，一般使用利用加热器对容器的外部加热而使容器内 部的有机原料升华或熔融蒸发的加热方式。在这种加热处理中所采用的现有的装置例如公 开在日本专利特开2004-315898号公报(专利文献1)中。图15是现有的蒸发装置的概略结构说明图。在图15中，记载有蒸镀装置中的蒸 发源，其特征是，利用设置于外周的加热器32对收纳材料的容器(坩埚体)31加热，且除了 外周部的加热器32以外，将包括加热辅助部33和与其连接设置的传导加热部34的均热盖 37设于容器31的上部，使容器31上部的蒸发口 35附近的温度上升。专利文献1 日本专利特开2004-315898号公报专利技术的公开专利技术所要解决的技术问题在图15所示现有的蒸发装置中，将均热盖37设于容器(坩埚体)31的上部，其目 的在于，防止因容器31上部的蒸发口 35附近的温度降低而导致蒸镀材料36在蒸发口 35 周边堵塞的情况。然而，由于是使用加热器32对容器31的外表面加热的方式，因此，由于 加热器32的接触条件，会在蒸镀材料接触的容器31的内表面产生温度分布。因此，存在在 容器31的内表面整面不能将蒸镀材料保持在均勻温度的问题。例如，在专利文献1的实施 例中表示有温度上升的曲线，但表示了容器31的各部分的温度上升不一致、即使在稳定时 容器31的表面与均热盖37的温度差也有30°C左右的情况。另外，在现有的蒸发装置中，存在达到装置各部分的温度稳定需要较长时间的问 题。例如，在专利文献1的实施例中，表示了达到温度稳定需要三小时以上的例子。此外，由于在现有的蒸发装置中在蒸镀材料的熔融物的内部产生温度差，因此，存 在材料的蒸发变得不均勻的问题。即，与容器的壁面接触的材料迅速被加热而蒸发，但远离 容器壁面的容器中心部的熔融物温度上升迟缓，产生蒸发延迟，并因在容器内部对材料的 熔融物产生对流的影响，从而在熔融物中产生显著的温度分布。这样，由于不能在容器内整 体将材料的熔融物温度控制在均勻温度，且不能高精度地控制蒸镀材料的蒸发量，因此，存 在不适用于高精度的成膜处理的问题。本专利技术为解决上述技术问题而作，其目的在于提供一种使容器内的被加热材料的 温度的均勻性提高、并能进行稳定的汽化的均热装置。解决技术问题所采用的技术方案本专利技术的一种情况所涉及的均热装置包括容器结构体、加热供给管及加热装置。 容器结构体具有内容器和外容器。在外容器中填充有工作液体。将内容器与外容器的各自的上端部接合，并在内容器与外容器之间形成有中空部。材料供给管从容器结构体的外部 到达内容器的内表面。加热装置配置于外容器的底部。在内容器的底面形成有朝内容器的 内部侧突起的多个突起和底面朝突起的内侧凹陷、并可收纳汽化后的工作流体的凹部。本专利技术的另一种情况所涉及的均热装置包括容器结构体、材料供给管及加热装 置。容器结构体具有加热块和外容器。在加热块上形成有供被加热材料流动的流路。在外 容器中填充有工作流体。将加热块与外容器的各自的上端部接合，并在加热块与外容器之 间形成有中空部。材料供给管连通容器结构体的外侧与加热块。加热装置配置于外容器的 底部。被加热材料的流路包括与材料供给管连接并沿水平方向延伸的第一流路；从第一 流路分支并沿上下方向延伸的第二流路；以及第二流路在容器结构体的上部表面开口的开 口部。在加热块的底面形成有底面朝加热块的内部侧凹陷、并可收纳汽化后的工作流体的 多个凹部。在相邻的凹部之间，配置有第二流路。本专利技术的此外另一种情况所涉及的均热装置包括容器结构体、加热装置及管路。 容器结构体具有外容器。在外容器的内部形成有填充好工作流体的封闭空间。加热装置配 置于外容器的底部。被加热材料在管路的内部流动。管路具有连通容器结构体的外侧与内 侧的材料供给管。此外，管路具有与材料供给管连接并沿水平方向延伸的总集气管。另外， 管路具有从总集气管分支并沿水平方向延伸的分集气管。另外，管路具有从分集气管分支 并朝容器结构体的上部表面开口的多个竖管。专利技术效果根据本专利技术，在形成于内容器的凹部的内壁面处，利用气体状的工作流体的冷却 冷凝作用，来加热内容器，并能使加热后的内容器的温度均勻化。被加热材料在内容器的内 部流动时被加热。由于内容器的温度被均勻化，因此，被加热材料被相同温度的加热面加 热。所以，能使被加热汽化的被加热材料的温度的均勻性提高，并能高精度地控制被加热材 料的汽化量，因此，能得到能适用于进行高精度的成膜处理的蒸镀装置。附图说明图1是实施方式1的均热装置的上部俯视图。图2是沿图1所示的II - II线的均热装置的剖视图。图3是实施方式2的均热装置的上部俯视图。图4是实施方式3的均热装置的上部俯视图。图5是沿图4所示的V - V线的均热装置的剖视图。图6是实施方式4的均热装置的上部俯视图。图7是沿图6所示的ΥΠ - ΥΠ线的均热装置的剖视图。图8是实施方式5的均热装置的上部俯视图。图9是沿图8所示的IX - IX线的均热装置的剖视图。图10是实施方式6的均热装置的剖视图。图11是实施方式7的均热装置的剖视图。图12是实施方式8的均热装置的剖视图。图13是实施方式9的均热装置的剖视图。图14是实施方式10的均热装置的剖视图。图15是现有的蒸发装置的概略结构说明图。(符号说明)1外容器、2内容器、3 凸缘、4中空部、5工作液、6加热装置、7蒸汽泡、8、9、13 箭头、10、14 突起、11、15、20、21 凹部、12材料供给管、16加热块、17总集气管、18分集气管、19 竖管、19a 开 口部、22 肋片(fin body)、23 沸腾促进体(boiling promoter),24加热器收纳管、25加热器、26发热部、27 肋片、28沸腾促进体。具体实施例方式以下，根据附图对本专利技术的实施方式进行说明。在以下的附图中，对相同或相当的 部分标注相同的参照符号，不重复其说明。在以下所说明的实施方式中，各个构成要素除了有特别记载的情况之外，对本发 明而言均并非是必须的。此外，在以下实施方式中，说到个数、量等情况时，除了有特别记载 的情况之外，上述个数等均为例示，本专利技术的范围不必限定于其个数、量等。(实施方式1)图1是实施方式1的均热装置的上部俯视图。图2是沿图1所示的II - II线的均 热装置的剖视图。在以下实施方式中，水平方向是指均热装置的剖视图中的左右方向，上下 方向是指这些图中的上下方向。 如图1及图2所示，均热装置包括外容器1和内容器2。外容器1配置成包围内容 器2的周围。此外，均热装置具有凸缘3。外容器1及内容器2形成容器结构体，分别在其 上端部与凸缘3接合，并在内容器2与外容器1之间形成有封闭空间即中空部4。在内容器2的底面形成有朝内容器2的内部侧突起的多个突起10。突起10从内 容器2的底面朝上方突起。如图1所示，突起10的俯视形状大致呈正方形，该正方形在内 容器2的底面沿纵横方向各排列有多个。在图1中，在相邻的突起10之间的间隙中，露出 有内容器2的底面。另外，在内容器2的底面形本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种均热装置，其特征在于，包括：将内容器（２）与填充有工作流体的外容器（１）各自的上端部接合，并在所述内容器（２）与所述外容器（１）之间形成中空部（４）的容器结构体；从所述容器结构体的外部到达所述内容器（２）的内表面的材料供给管（１２）；以及配置于所述外容器（１）的底部的加热装置（６），在所述内容器（２）的底面形成有多个突起（１０、１４）和凹部（１１、１５），其中，所述多个突起（１０、１４）朝所述内容器（２）的内部侧突起，所述凹部（１１、１５）通过所述底面朝所述突起（１０、１４）的内侧凹陷而形成，并能收纳汽化了的工作流体。
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】
【专利技术属性】
技术研发人员：山荫久明，山田义人，
申请(专利权)人：东芝三菱电机产业系统株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]
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