真空镀膜生产线用插板阀制造技术

一种真空镀膜生产线用插板阀，包括第一真空箱体、第二真空箱体、插板阀、滑杆，所述第一真空箱体、第二真空箱体上设有通道口，所述插板阀包括第一阀门本体和第二阀门本体，所述第一阀门本体、第二阀门本体安装在所述滑杆的两侧并且可随滑杆沿滑杆轴线方向移动，所述滑杆安装在所述第一真空箱体、第二真空箱体之间，所述第一阀门本体、第二阀门本体之间安装有回位拉簧及与外设压力气源连接的波纹气管，本实用新型专利技术具有使用方便、密封效果好、避免各腔体作业时产生互相干扰等优点，可替代现有真空镀膜生产线用的转板阀。（*该技术在2020年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种紧闭机构，特别是一种真空镀膜生产线用插板阀。
技术介绍
一般在连续式的真空镀膜设备中，由于各个腔体的功能有所不同，其所需要的真 空度亦有所差异，因此腔体与腔体之间需要架设闸门阀，用于将腔体隔开，避免各腔体在作 业时产生相互干扰的情形。由于镀膜过程必须在真空环境下进行，因此该闸门阀的阀门板必须紧闭、密合，否 则一旦有真空度不佳的现象发生，镀膜过程势必发生瑕疵而造成整批工件良品率不足的缺 陷。目前真空镀膜设备各真空箱体之间使用的的阀门为转板阀，即利用转动轴体带动 阀板转动，然而，轴体带动阀板转动时，由于力臂短，在阀板升起或关闭时需要的力较大，而 且阀板并不具备任何确保其闭合、密封的机制，可能致使镀膜过程因真空度不佳而发生制 品瑕疵，在设计上确有其不周之处。
技术实现思路
本技术的目的在于克服现有技术之不足而提供一种使用方便、密封效果好、 避免各腔体作业时产生互相干扰的真空镀膜生产线用插板阀。本技术的目的通过下述技术方案予以实现—种真空镀膜生产线用插板阀，包括第一真空箱体、第二真空箱体、插板阀、滑杆， 所述第一真空箱体、第二真空箱体上设有通道口，所述插板阀包括第一阀门本体和第二阀 门本体，所述第一阀门本体、第二阀门本体安装在所述滑杆的两侧并且可随滑杆沿滑杆轴 线方向移动，所述滑杆安装在所述第一真空箱体、第二真空箱体之间，所述第一阀门本体、 第二阀门本体之间安装有回位拉簧及与外设压力气源连接的波纹气管。本技术中，在所述第一阀门本体、第二阀门本体上设有相互匹配的导向销及 导向孔。本技术中，所述第一阀门本体、第二阀门本体上设有与真空镀膜箱体上设置 的通道口位置相对应的密封条。本技术中，所述滑杆与外设液压油缸活塞连接驱动。由于采用上述结构，关闭阀门的动作分为两个步骤，首先是外设液压油缸活塞推 动滑杆移动，带动插板阀置于第一真空箱体、第二真空箱体的通道口之间，然后启动外设压 力气源，将第一阀门本体、第二阀门本体顶压在通道口，密封通道口，采用这种方式阀门与 通道口密封均勻，密封效果好。附图说明图1为本技术的结构示意图。图2为图IA-A面的截面图。图3为图2阀门移出图。附图1、2、3中1—第二真空箱体 ，2—滑杆，3—滚轮，4—气泵，5—第二阀 门本体，6-—波纹气管，7-—回位弹簧，8-—第一阀门本体，9-一第一真空箱体，10-—通道 口，11—密封条，12—导向孔，13—导向销。具体实施方式以下结合附图，来详细说明真空镀膜生产线用插板阀的具体实施方式。如图1、2、3所示，一种真空镀膜生产线用插板阀，包括第一真空箱体9、第二真空 箱体1、插板阀、滑杆2，所述第一真空箱体9、第二真空箱体1上设有通道口 10，所述插板阀 包括第一阀门本体8和第二阀门本体5，所述第一阀门本体8、第二阀门本体5安装在所述 滑杆2的两侧并且可随滑杆2沿滑杆2轴线方向移动，所述滑杆2安装在所述第一真空箱 体9、第二真空箱体1之间设置的滚轮3上，并通过外设液压油缸活塞与滑杆2连接驱动滑 杆2来回移动，所述第一阀门本体8、第二阀门本体5之间安装有回位拉簧7及与外设压力 气源连接的波纹气管6。在所述第一阀门本体8、第二阀门本体5上设有相互匹配的导向销 13及导向孔12。本技术中，所述第一本体8、第二阀门本体5与通道口 10相对应的位置设有密 封条11。工作时，当需要镀膜的玻璃进入真空箱体后，在外设液压油缸活塞的推动下滑杆2 在滚轮3上移动至第一真空箱体9、第二真空箱体1的通道口 10之间，同时第一阀门本体 8、第二阀门本体5处于与第一真空箱体9、第二真空箱体1的通道口 10相对应的位置，随后 启动外设压力气源，通过与外设压力气源连接的波纹气管6将第一阀门本体8、第二阀门本 体5顶压在通道口 10，将通道口 10密封，同时，对真空箱体抽真空，待达到预定真空度时， 外设压力气源停止工作，第一阀门本体8、第二阀门本体5在回位弹簧7的作用下与通道口 10脱离，外设液压油缸活塞再次推动滑杆2带动第一阀门本体8、第二阀门本体5移出，完 成插板阀的关闭与开启。同时，在插板阀开启时，需要镀膜的玻璃即可通过第一真空箱体9、 第二真空箱体1的通道口 10进行传送，进入下一个工位。权利要求一种真空镀膜生产线用插板阀，其特征在于包括第一真空箱体(9)、第二真空箱体(1)、插板阀、滑杆(2)，所述第一真空箱体(9)、第二真空箱体(1)上设有通道口(10)，所述插板阀包括第一阀门本体(8)和第二阀门本体(5)，所述第一阀门本体(8)、第二阀门本体(5)安装在所述滑杆(2)的两侧并且可随滑杆(2)沿滑杆轴线方向移动，所述滑杆(2)安装在所述第一真空箱体(9)、第二真空箱体(1)之间，所述第一阀门本体(8)、第二阀门本体(5)之间安装有回位拉簧(7)及与外设压力气源连接的波纹气管(6)。2.根据权利要求1所述的一种真空镀膜生产线用插板阀，其特征在于在所述第一阀 门本体(8)、第二阀门本体(5)上设有相互匹配的导向销(13)及导向孔(12)。3.根据权利要求2所述的一种真空镀膜生产线用插板阀，其特征在于所述滑杆(2) 与外设液压油缸活塞连接驱动。4.根据权利要求1、2或3所述的一种真空镀膜生产线用插板阀，其特征在于在所述 第一阀门本体(8)、第二阀门本体(5)上设有与真空镀膜箱体上设置的通道口(10)位置相 对应的密封条(11)。专利摘要一种真空镀膜生产线用插板阀，包括第一真空箱体、第二真空箱体、插板阀、滑杆，所述第一真空箱体、第二真空箱体上设有通道口，所述插板阀包括第一阀门本体和第二阀门本体，所述第一阀门本体、第二阀门本体安装在所述滑杆的两侧并且可随滑杆沿滑杆轴线方向移动，所述滑杆安装在所述第一真空箱体、第二真空箱体之间，所述第一阀门本体、第二阀门本体之间安装有回位拉簧及与外设压力气源连接的波纹气管，本技术具有使用方便、密封效果好、避免各腔体作业时产生互相干扰等优点，可替代现有真空镀膜生产线用的转板阀。文档编号C23C14/56GK201695083SQ201020218958公开日2011年1月5日 申请日期2010年6月8日 优先权日2010年6月8日专利技术者孙桂红, 祝海生, 郭爱云, 黄乐, 黄国兴 申请人:湘潭宏大真空设备有限公司本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种真空镀膜生产线用插板阀，其特征在于：包括第一真空箱体（９）、第二真空箱体（１）、插板阀、滑杆（２），所述第一真空箱体（９）、第二真空箱体（１）上设有通道口（１０），所述插板阀包括第一阀门本体（８）和第二阀门本体（５），所述第一阀门本体（８）、第二阀门本体（５）安装在所述滑杆（２）的两侧并且可随滑杆（２）沿滑杆轴线方向移动，所述滑杆（２）安装在所述第一真空箱体（９）、第二真空箱体（１）之间，所述第一阀门本体（８）、第二阀门本体（５）之间安装有回位拉簧（７）及与外设压力气源连接的波纹气管（６）。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：黄国兴，孙桂红，祝海生，郭爱云，黄乐，
申请(专利权)人：湘潭宏大真空设备有限公司，
类型：实用新型
国别省市：43[中国|湖南]