【技术实现步骤摘要】
本技术公开了一种卧式真空镀膜机非靶门翻转机构，属于真空镀膜机械技术 领域。
技术介绍
卧式真空镀膜机非靶门主要用于生产线例行检修时打开真空箱体。传统的卧式真 空镀膜机在检修时，通常是用起重行车吊开真空箱体的盖板门(非靶门或检修门)，由于真 空镀膜机是在洁净空间内运行，起重设备的运行不可避免的会产生落灰，导致真空镀膜机 运行可靠性及镀膜质量的下降。同时，吊装过程只能手动操作，很繁琐，还存在有安全隐患。
技术实现思路
本技术的目的在于克服现有技术之不足而提供一种结构简单、加工制造容 易、操作方便、不会造成真空镀膜环境污染的卧式真空镀膜机非靶门翻转机构。本技术是采用下述方案实现的一种卧式真空镀膜机非靶门翻转机构，包括 真空镀膜机箱体、非靶门、连杆、油缸，所述连杆通过第一铰轴铰装在所述真空镀膜机箱体 一侧，所述非靶门的一侧通过第二铰轴铰装在所述连杆上；所述油缸的一端通过第三铰轴 铰装在所述真空镀膜机箱体上，另一端通过第四铰轴铰装在所述连杆上；所述第一铰轴、第 二铰轴、第四铰轴的轴心连线构成一个三连杆机构，所述第一铰轴、第三铰轴、第四铰轴的 轴心连线构成一个三连杆机构。本技术的工作原理及优点简述于下当真空箱体检修需开启非靶门时，先驱动液压油缸动作，在液压油缸的驱动下，连 杆带动靶门一起绕第一铰轴旋转，当液压油缸的活塞收缩到位后，停止工作，此时靶门旋转 大于90度，见附图2。本技术由于采用上述结构，利用液压油缸驱动耙门绕铰接轴转动，实现非耙 门自动开启90度，克服了现有技术非耙门开启程序烦琐、劳动强度大、污染真空镀膜环境 的弊端，操作过程自动化程度高，外观整洁。综上所述，本...
【技术保护点】
一种卧式真空镀膜机非靶门翻转机构，包括真空镀膜机箱体、非靶门、连杆、油缸，其特征在于：所述连杆通过第一铰轴铰装在所述真空镀膜机箱体一侧，所述非靶门的一侧通过第二铰轴铰装在所述连杆上；所述油缸的一端通过第三铰轴铰装在所述真空镀膜机箱体上，另一端通过第四铰轴铰装在所述连杆上；所述第一铰轴、第二铰轴、第四铰轴的轴心连线构成一个三连杆机构，所述第一铰轴、第三铰轴、第四铰轴的轴心连线构成一个三连杆机构。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：黄国兴，孙桂红，祝海生，郭爱云，黄乐，
申请(专利权)人：湘潭宏大真空设备有限公司，
类型：实用新型
国别省市：43[中国|湖南]
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