【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种自掩模单结多端三维纳米结构的制备方法,其特征在于,包括下列步骤: 1)衬底上功能薄膜材料的生长:使用化学气相沉积、等离子体增强化学气相沉积、等离子体激光沉积、金属有机物化学气相沉积、低压化学气相沉积、分子束外延、电子束蒸发、热蒸发、溅射、电镀,旋转敷涂其中之一或组合的方法,在导体,半导体或电介质薄膜材料上生长; 2)功能薄膜材料上自掩模微纳米材料的生长:自掩模微纳米材料的生长方法包括两种:其一是利用聚焦离子束/聚焦电子束直写微纳米材料,步骤包括:(i)薄膜样品的放置与固定;(ii)样品台的调整;(iii)纳米材料直写沉积;其二是通过图形转移的方法:用光刻形成抗试剂图形,然后采用电镀或气相沉积方法生长高高宽比的微纳米材料阵列; 3)步骤2)中制备的样品的放置与固定: (i)若衬底是具有表面绝缘薄膜层的导电衬底,用导电物质将衬底背面固定在样品托上;若衬底是具有表面导电层的电绝缘衬底,将衬底固定在样品托上后,再用导电物质将样品表面边缘与样品托连接;(ii)将(i)步中固定于样品托上的样品放入离子束刻蚀设备的真空样品腔内的样品台上; 4)基于离子束刻蚀的单结多端三维纳米材料结构的 ...
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:李无瑕,顾长志,崔阿娟,
申请(专利权)人:中国科学院物理研究所,
类型:发明
国别省市:11
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