真空直线导入装置制造方法及图纸

本发明专利技术涉及真空直线导入装置，包括驱动杆，用于传递在真空腔内的运动；磁体，用于通过磁力驱动驱动杆的运动；弹簧，用于通过弹力驱动驱动杆的运动；电磁线圈以及法兰套筒；驱动杆的一端为自由端，另一端与弹簧的一端接触，弹簧的另一端抵接于法兰套筒的内壁，电磁线圈设置于法兰套筒的外侧；真空直线导入装置通过弹簧的弹力驱动驱动杆朝第一方向运动，通过磁体的磁力驱动驱动杆朝与第一方向相反的第二方向运动，在二力的共同作用，使驱动杆在真空腔内进行直线往复运动。本发明专利技术的真空直线导入装置无需使用金属焊接波纹管进行密封，直接避免了使用金属焊接波纹管和各种复杂的精细传动机构，组装、调试方便，保证良好的密封性，并可大幅降低成本。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及精密仪器，更具体地涉及一种真空直线导入装置。

技术介绍

1、随着科技不断进步，真空技术的发展也日益成熟。在生产制造、医疗卫生、科学研究等领域，真空技术都有了广泛的应用。真空技术被广泛应用的同时，各类真空功能装置也得到了应用，例如真空直线导入装置，为了实现在真空环境中的各种研究，需要经常利用真空直线导入装置对真空系统内的一些组件进行位移操作或者对样品的传递和操作等，即将真空外部的运动传递到真空内。

2、传统的真空直线运动导入装置的操作通常需要在大气侧进行，并且是机械式导入，其通过外力驱动外部推动杆，带动固定在焊接波纹管上的可动法兰挤压(或拉伸)焊接波纹管，从而驱动固定在可动法兰上的直线驱动杆运动，完成真空直线导入。

3、但上述技术在使用过程中还存在以下缺陷和不足：

4、1、为了完成真空直线导入，不可避免的要将大气中的运动转换成真空腔中的运动，因此需要保证真空设备和导入装置的密封性能，传统的直线导入通常采用的是橡胶密封或者金属焊接波纹管密封，但前者在长时间使用下密封性较差，后者由于波纹管是通过金属片一片一片地焊本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种真空直线导入装置(100)，应用于真空腔内的直线导入，其包括：

2.根据权利要求1所述的真空直线导入装置(100)，其中，所述真空直线导入装置(100)还包括：

3.根据权利要求1所述的真空直线导入装置(100)，其中，所述驱动杆(1)的自由端集成有功能器件。

4.根据权利要求1所述的真空直线导入装置(100)，其中，所述功能器件为挡板。

5.根据权利要求1所述的真空直线导入装置(100)，其中，在所述磁力和所述弹力共同作用使所述驱动杆(1)在所述真空腔内进行直线往复运动，包括：

6.根据权利要求1所述的真空直线导入装置...

【技术特征摘要】

1.一种真空直线导入装置(100)，应用于真空腔内的直线导入，其包括：

2.根据权利要求1所述的真空直线导入装置(100)，其中，所述真空直线导入装置(100)还包括：

3.根据权利要求1所述的真空直线导入装置(100)，其中，所述驱动杆(1)的自由端集成有功能器件。

4.根据权利要求1所述的真空直线导入装置(100)，其中，所述功能器件为挡板。

5.根据权利要求1所述的真空直线导入装置(100)，其中，在所述磁力和所述弹力共同作用使所述驱动杆(1)在所述真空腔内进行直线往复运动，包括：

6.根据权利要求1所述的真空直线导入装置(100)，其中，所述第一方向为远离所述电磁线圈(5)的方向，所述第二方向为朝向所述电磁线圈...

【专利技术属性】
技术研发人员：马瑞松，黄远志，郇庆，刘利，
申请(专利权)人：中国科学院物理研究所，
类型：发明
国别省市：