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真空直线导入装置制造方法及图纸
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下载真空直线导入装置的技术资料
文档序号:41644793
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本发明涉及真空直线导入装置,包括驱动杆,用于传递在真空腔内的运动;磁体,用于通过磁力驱动驱动杆的运动;弹簧,用于通过弹力驱动驱动杆的运动;电磁线圈以及法兰套筒;驱动杆的一端为自由端,另一端与弹簧的一端接触,弹簧的另一端抵接于法兰套筒的内壁,...
该专利属于中国科学院物理研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院物理研究所授权不得商用。
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