一种用于生产薄膜太阳能电池的化学气相沉积系统技术方案

本实用新型专利技术公开了一种用于生产薄膜太阳能电池的化学气相沉积系统，跨越设置在第一区域和第二区域，其中，第一区域的洁净度高于第二区域；该化学气相沉积系统包含依次连接的加载台、第一承载室、多个低压化学气相沉积反应室、第二承载室和卸载台；其中，该化学气相沉积系统整体呈弓形设置；该加载台和卸载台设置在第一区域中；该第一承载室、多个低压化学气相沉积反应室和第二承载室设置于第二区域中。由于本实用新型专利技术的化学气相沉积系统整体设置为弓形，因此其加载台和卸载台都设置在洁净度较高的第一区域中，故无需设置专门的回传机构，保证衬底在沉积过程中不受污染的同时也降低了系统的生产成本。同时，可有效降低该化学气相沉积系统的占地面积。（*该技术在2020年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种化学气相沉积系统，尤其涉及一种用于生产薄膜太阳能电池 的电极的低压化学气相沉积系统。
技术介绍
薄膜太阳能电池在弱光条件下仍可发电，其生产过程能耗低，具备大幅度降低原 材料和制造成本的潜力。因此，目前市场对薄膜太阳能电池的需求正逐渐增长，而制造薄膜 太阳能电池的技术更成为近年来的研究热点。薄膜太阳能电池的制造过程是在衬底(如玻璃基板)上沉积多层薄膜以形成电极， 因此需要一整套的化学气相沉积系统。如沉积透明薄膜电极时，就需要一个低压化学气相 沉积系统来实现。如图1所示，图1是现有技术中低压化学气相沉积系统的结构示意图。该低压化 学气相沉积系统1为直线型系统，包括呈直线型依次排列的加载台11、第一承载室12、多个 低压化学气相沉积反应室13、第二承载室14和卸载台15。其中，为防止衬底在加载时受到 污染，加载台11设置在洁净度较高的第一区域101 ；而第一承载室12、多个低压化学气相沉 积反应室13、第二承载室14和卸载台15则设置于第二区域102。薄膜太阳能电池的电极沉积过程为衬底在第一区域101内通过加载台11加载到 化学气相沉积系统中，加载后的衬底在第一承载室12内本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于生产薄膜太阳能电池的化学气相沉积系统，跨越设置在洁净度不同的第一区域和第二区域，其中，第一区域的洁净度高于第二区域；该化学气相沉积系统包含依次连接的加载台、第一承载室、多个化学气相沉积反应室、第二承载室和卸载台；其特征在于：所述的化学气相沉积系统整体呈弓形设置；其中，所述的加载台和卸载台设置在第一区域中；所述的第一承载室、多个化学气相沉积反应室和第二承载室设置于第二区域中。

【技术特征摘要】
1.一种用于生产薄膜太阳能电池的化学气相沉积系统，跨越设置在洁净度不同的第一 区域和第二区域，其中，第一区域的洁净度高于第二区域；该化学气相沉积系统包含依次连 接的加载台、第一承载室、多个化学气相沉积反应室、第二承载室和卸载台；其特征在于所述的化学气相沉积系统整体呈弓形设置；其中，所述的加载台和卸载台设置在第一区域中；所述的第一承载室、多个化学气相沉积反应室和第二承载室设置于第二区域中。2.如权利要求1所述的化学气相沉积系统，其特征在于，该化学气相沉积系统包含三 个部分所述的加载台与第一承载室依次连接构成第一部分，即为该弓形化学气相沉积系统的 其中一个弓翼部分；所述的卸载台与第二承载室依次连接构成第三部分，即为该弓形化学气相沉积系统的 另一个弓翼部分；所述的至少一个化学气相沉积反应室作为中间连接反应室构成第二部分，即为该弓形 化学气相沉积系统的弓身部分。3.如权利要求2所述的化学气相沉积...

【专利技术属性】
技术研发人员：李一成，
申请(专利权)人：理想能源设备上海有限公司，
类型：实用新型
国别省市：31[中国|上海]