一种负载传输装置与方法制造方法及图纸

本发明专利技术提供了一种负载传输装置，包括反应腔、传输腔、基板和机械手。上述反应腔内设置有基座；机械手位于传输腔中，机械手设置有支撑部，用于将所述基板在所述传输腔与所述反应腔之间传输。上述传输腔内设置有第一承载区、第二承载区和位于所述第一承载区、第二承载区之间的中间层区，上述的至少一个反应腔通过一传输门与传输腔连通或分隔。上述第一承载区设置有第一支架，第一承载区还包括第一放置轴、第一抓取轴与第一传输轴。上述第二承载区设置有第二支架，第二承载区还包括第二放置轴、第二抓取轴与第二传输轴。本发明专利技术的负载传输装置工作尺寸较小，结构紧凑，有效解决现有技术中存在的占地面积大，维护时间长，生产效率低的问题。

【技术实现步骤摘要】
201410692428

【技术保护点】
一种负载传输装置，其特征在于，包括：反应腔，其中设置有基座；基板，用以置于所述反应腔中的所述基座上，以进行处理；机械手，位于传输腔中，所述机械手设置有支撑部，用于将所述基板在所述传输腔与所述反应腔之间传输；传输腔，所述传输腔内设置有第一承载区、第二承载区和位于所述第一承载区、第二承载区之间的中间层区，所述的至少一个反应腔通过一传输门与所述传输腔连通或分隔；所述第一承载区设置有第一支架，用以承载所述待处理或者处理后的基板；所述第一承载区包括第一放置轴、第一抓取轴与第一传输轴，所述第一放置轴、第一抓取轴与第一传输轴三者互相平行，所述第一传输轴轴或第一抓取轴与第一放置轴间垂直距离大于等于所述机械手负载基板在第一承载区伸展或收缩的最小距离，小于等于所述机械手负载基板在第一承载区伸展或收缩的最大距离；所述第二承载区设置有第二支架，用以承载所述用以承载待处理或者处理后的基板；所述第二承载区包括第二放置轴、第二抓取轴与第二传输轴，所述第二放置轴、第二抓取轴与第二传输轴三者互相平行，所述第二传输轴或第二抓取轴与第二放置轴间垂直距离大于等于所述机械手负载基板在第二承载区伸展或收缩的最小距离，小于等于所述机械手负载基板在第二承载区伸展或收缩的最大距离。...

【技术特征摘要】
1.一种负载传输装置，其特征在于，包括：
反应腔，其中设置有基座；
基板，用以置于所述反应腔中的所述基座上，以进行处理；
机械手，位于传输腔中，所述机械手设置有支撑部，用于将所述基板在
所述传输腔与所述反应腔之间传输；
传输腔，所述传输腔内设置有第一承载区、第二承载区和位于所述第一
承载区、第二承载区之间的中间层区，所述的至少一个反应腔通过一传输门
与所述传输腔连通或分隔；
所述第一承载区设置有第一支架，用以承载所述待处理或者处理后的基
板；所述第一承载区包括第一放置轴、第一抓取轴与第一传输轴，所述第一
放置轴、第一抓取轴与第一传输轴三者互相平行，所述第一传输轴轴或第一
抓取轴与第一放置轴间垂直距离大于等于所述机械手负载基板在第一承载区
伸展或收缩的最小距离，小于等于所述机械手负载基板在第一承载区伸展或
收缩的最大距离；
所述第二承载区设置有第二支架，用以承载所述用以承载待处理或者处
理后的基板；所述第二承载区包括第二放置轴、第二抓取轴与第二传输轴，
所述第二放置轴、第二抓取轴与第二传输轴三者互相平行，所述第二传输轴
或第二抓取轴与第二放置轴间垂直距离大于等于所述机械手负载基板在第二
承载区伸展或收缩的最小距离，小于等于所述机械手负载基板在第二承载区
伸展或收缩的最大距离。
2.根据权利要求1所述的负载传输装置，其特征在于，所述机械手带动
所述支撑部沿所述第一抓取轴或所述第一传输轴进入所述第一承载区。
3.根据权利要求1所述的负载传输装置，其特征在于，所述机械手带动

\t所述支撑部沿所述第二抓取轴或所述第二传输轴进入所述第二承载区。
4.根据权利要求1所述的负载传输装置，其特征在于，所述机械手带动
所述支撑部沿所述第一放置轴轴向移动实现所述基板接触或脱离所述第一支
架。
5.根据权利要求1所述的负载传输装置，其特征在于，所述机械手带动
所述支撑部沿所述第二放置轴轴向移动实现所述基板接触或脱离所述第二支
架。
6.根据权利要求1所述的负载传输装置，其特征在于，当反应腔和传输
腔均处于真空状态下时，连通反应腔和传输腔。
7.根据权利要求1所述的负载传输装置，其特征在于，所述第一承载区
位于所述中间层区的上端，所述第二承载区位于所述中间层区的下端。
8.根据权利要求1所述的负载传输装置，其特征在于，所述第二承载区
位于所述中间层区的上端，所述第一承载区位于所述中间层区的下端。
9.根据权利要求1所述的负载传输装置，其特征在于，所述机械手旋转
或伸缩带动所述支撑部在所述第一放置轴、第一抓取轴、第一传输轴、第二
放置轴、第二抓取轴、第二传输轴间移动。
10.根据权利要求1所述的负载传输装置，其特征在于，所述基板的形
状为圆板形，所述基板用以承载至少一片工艺衬底。
11.根据权利要求10所述的负载传输装置，其特征在于,所述基板沿外
圆周下侧设置有环形凹槽。
12.根据权利要求1或11所述的负载传输装置，其特征在于,所述机械
手支撑部为半圆弧形，所述支撑部的末端卡持于所述基板的环形凹槽中，以
夹持所述基板。
13.根据权利要求1所述的负载传输装置，其特征在于，所述第一支架
为传输腔侧壁延伸出的支架，形状包括“L”形、倾斜一定角度的“I”形、“Y”
型、或者半圆形中的至少一种。
14.根据权利要求1所述的负载传输装置，其特征在于，所述第二支架
为传输腔侧壁延伸出的支架，形状包括“L”形、倾斜一定角度的“I”形、“Y”
型、或者半圆形中的至少一种。
15.根据权利要求1所述的负载传输装置，其特征在于，所述第一支架
或第二支架为设置于传输腔底部的支撑件。
16.根据权利要求1所述的负载传输装置，其特征在于，所述第一放置
轴、第一抓取轴与第一传输轴的轴向沿竖直方向延伸。
17.根据权利要求1所述的负载传输装置，其特征在于，所述第二放置
轴、第二抓取轴与第二传输轴的轴向沿竖直方向延...

【专利技术属性】
技术研发人员：马悦，胡兵，
申请(专利权)人：理想能源设备上海有限公司，
类型：发明
国别省市：上海;31