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本发明提供了一种负载传输装置，包括反应腔、传输腔、基板和机械手。上述反应腔内设置有基座；机械手位于传输腔中，机械手设置有支撑部，用于将所述基板在所述传输腔与所述反应腔之间传输。上述传输腔内设置有第一承载区、第二承载区和位于所述第一承载区、第...
该专利属于理想能源设备(上海)有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过理想能源设备(上海)有限公司授权不得商用。

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