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本实用新型公开了一种用于生产薄膜太阳能电池的化学气相沉积系统，跨越设置在第一区域和第二区域，其中，第一区域的洁净度高于第二区域；该化学气相沉积系统包含依次连接的加载台、第一承载室、多个低压化学气相沉积反应室、第二承载室和卸载台；其中，该化学...
该专利属于理想能源设备（上海）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过理想能源设备（上海）有限公司授权不得商用。

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