搬运车制造技术

本实用新型专利技术提供一种搬运车，属于半导体工艺技术领域，其可解决现有的半导体工艺车间的灰尘检测受人为因素影响、准确性差的问题。本实用新型专利技术的搬运车包括车本体，所述车本体上连接有灰尘检测设备。本实用新型专利技术的搬运车可用于半导体工艺车间中。（*该技术在2020年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及半导体工艺
，尤其涉及用于半导体工艺车间中的搬运 车。
技术介绍
在集成电路制造、薄膜晶体管液晶显示面板(TFT LCD)制造等半导体工艺领域中， 绝大多数的产品不良都与灰尘(P/T，Particle)有关，为降低灰尘浓度，半导体工艺车间都 配备有复杂的净化设备。由此可见，实时监控半导体工艺车间中各位置的灰尘浓度，避免其 超过预定值是十分重要的。在现有技术中，检测人员手持灰尘检测设备在半导体工艺车间 中各处巡逻并进行检测。专利技术人发现现有技术中至少存在如下问题现有技术中通过人工方式进行灰尘检 测，因此不能避免人为因素的影响，检测结果不准确。
技术实现思路
本技术的实施例提供一种搬运车，其检测结果准确。为达到上述目的，本技术的实施例采用如下技术方案一种搬运车，包括车本体，所述车本体上连接有灰尘检测设备。由于本技术的实施例的搬运车上连接有灰尘检测设备，故其可在正常运行的 同时对半导体工艺车间的各位置自动进行灰尘检测，从而避免人为因素的影响，保证检测 结果准确。附图说明为了更清楚地说明本技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例 或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅 是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提 下，还可以根据这些附图获得其它的附图。图1为本技术实施例一的搬运车的结构示意图；图2为本技术实施例一的搬运车的数据处理器的结构示意图；图3为本技术实施例三的搬运车的结构示意图；其中附图标记为1、车本体；2、摄像头；3、数据处理器；4、图像存储器；5、图像分 析器；6、时间记录器；7、位置记录器；8、结果存储器；9、结果发送器；10、激光/光电灰尘检 测设备。具体实施方式下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例的技术方案进行清 楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动的前提 下所获得的所有其它实施例，都属于本技术保护的范围。本技术实施例提供一种搬运车，包括车本体，所述车本体上连接有灰尘检测 设备。由于本技术的实施例的搬运车上连接有灰尘检测设备，故其可在正常运行的 同时对半导体工艺车间的各位置自动进行灰尘检测，从而避免人为因素的影响，保证检测 结果准确；同时，使用该搬运车后就不再需要检测人员进入车间，这样即降低了人工成本和 劳动强度，又避免了因检测人员在车间内的活动而对生产造成不良影响(如产生额外的灰 尘等)；另外，现有的检测方法只能实现对检测人员巡逻路线上各位置的依次测，不能实现 对多个位置的实时检测(除非让很多操作人员进入车间，但这样从成本和技术上说都不现 实)，而由于半导体工艺车间中通常有多辆搬运车，在同一时刻这些搬运车分布在车间内的 多个不同位置，故本搬运车可实现对半导体工艺车间内的多个位置的实时检测。实施例一本技术实施例提供一种搬运车，其用于在半导体工艺车间中搬运原料、产品 等。该搬运车为能自动按预定路径运动的自动化搬运车(AGV)。如图1、2所示，搬运车包括 车本体1，车本体1包括车轮、能源系统、驱动机构、控制系统、用于承载搬运物的承载部等 常规部件。且车本体1上还包括位于搬运车前端的摄像头2 (灰尘检测设备)。该摄像头2的焦距在4 6cm，优选为5cm(使用这样的焦距是为了避免其前方物 体的干扰)，而摄像头2的放大倍率在50倍至100倍，从而使其可清晰地拍摄到所有尺寸处 于管控范围(通常为大于等于3 μ m)的灰尘；该摄像头2优选为自动焦距补偿摄像头2，从 而保证在搬运车运行并存在微小抖动的情况下(因半导体工艺车间地面一般很平整，故搬 运车即使存在抖动也很小)能拍摄到清晰的图像。搬运车上还包括数据处理器3，该数据处理器3包括图像存储器4和图像分析器 5、图像存储器4用于存储由摄像头2摄得的图像，而图像分析器5则用图像处理软件对图 像存储器4中存储的图像进行分析，以得到灰尘的尺寸、数量、浓度、分布等检测结果。数据 处理器3中还可包括用于确定时间信息的时间记录器6和用于确定搬运车位置信息的位置 记录器7，二者分别用于提供时间信息和搬运车位置信息，若把这些信息加到检测结果中， 即可得到半导体工艺车间中各不同位置在不同时间的灰尘状况，从而可建立整个半导体工 艺车间中的灰尘分布状况、变化规律的模型，以便于分析灰尘产生的原因并根据灰尘分布 状况设定合理的工艺流程。搬运车上还具有分别与图像分析器5相连的结果存储器8和结果发送器9，结果存 储器8用于储存检测结果，而结果发送器9用于通过无线电等将检测结果实时发送到半导 体工艺车间外，以便及时发现灰尘浓度异常并进行处理。显然，上述的搬运车可按许多不同方式的工作。例如摄像头3可按不同方式选择 拍摄时间，如可一直持续拍摄，也可根据时间记录器6或位置记录器7的信号在特定时间或 位置拍摄，也可根据操作人员发出的命令拍摄；图像分析器5可实时地处理图像存储器4中 的图像，也可每隔一段时间进行集中处理，也可只对部分较清晰的图像进行处理；可不使用 图像存储器而直接用图像分析器5处理图像；结果存储器8、结果发送器9可将全部检测结 果都存储、发送，也可只处理异常的检测结果；结果发送器9可从结果存储器8获得检测结果，也可直接从数据处理器3获得检测结果。当然，搬运车上也可只有时间记录器6、位置记录器7、结果存储器8、结果发送器9 中的部分部件。如可只有时间记录器6而没有位置记录器，从而其可在处理检测结果时根 据时间信息计算出位置信息；或也可只有位置记录器7而没有时间记录器，从而可只检测 各位置的灰尘状况而不统计其随时间的变化规律。再如，搬运车上也可只有结果存储器8 而没有结果发送器9，从而可在搬运车运行一段时间后(例如停止生产时)将结果存储器8 中存储的结果集中导出；或也可只有结果发送器9而没有结果存储器8，从而其需要将检测 结果实时地发送出去。实施例二本技术实施例提供一种搬运车，其具有与上述实施例一的搬运车类似的结 构。区别在于，其中没有摄像头、图像存储器、图像分析器等，而是具有装在车本体1前端的 激光灰尘检测设备10或光电灰尘检测设备10，该灰尘检测设备10直接连接结果存储器8， 而结果存储器8连接时间记录器6、位置记录器7、结果发送器9等。实施例三本技术实施例提供一种搬运车，其具有与上述实施例一的搬运车类似的结 构。区别在于，其不是自动化搬运车，而是人工推动的搬运车(因此具有把手)。显然，上述各实施例的搬运车还可进行许多变化。例如灰尘检测设备也可为其它 类型，并可装在车本体的其它位置上，如侧部、后部等；一台搬运车上可具有多个灰尘检测 设备(如同时具有激光灰尘检测设备和光电灰尘检测设备)以适应不同的检测状况(如不 同的灰尘浓度、灰尘尺寸等)；搬运车上可没有时间记录器、位置记录器、结果存储器、结果 发送器等部件；图像存储器、图像分析器、时间记录器、位置记录器、结果存储器、结果发送 器等部件可集成为一体，也可分别独立存在并装在不同位置；各部件间可通过导线电连接， 也可通过无线电等进行信息传递；本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种搬运车，包括车本体，其特征在于，所述车本体上连接有灰尘检测设备。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：董云，
申请(专利权)人：北京京东方光电科技有限公司，
类型：实用新型
国别省市：11[中国|北京]