【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种电子束照射装置，具有：三角波电源、由前述三角波电源的三角波电流励磁，扫描电子束的扫描线圈、方形波电源、及由前述方形波电源的方形波电流励磁；对前述扫描的扫描方向垂直相交的方向上使电子束偏向的偏向线圈，通过前述扫描线圈和偏向线圈使前述电子束扫描轨道为矩形；其特征在于，前述三角波电流的扫描方向的往路或复路的任一个扫描中，前述方形波电源的方形波电流中，反转往路或复路的任一个扫描中的方形波电流的波形。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：水谷睦，
申请(专利权)人：日新高电压工程公司，
类型：实用新型
国别省市：JP[日本]
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