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电子束照射装置制造方法及图纸
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下载电子束照射装置的技术资料
文档序号:5142700
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本实用新型提供一种电子束照射装置,具有:三角波电源、由前述三角波电源的三角波电流励磁,扫描电子束的扫描线圈、方形波电源、及由前述方形波电源的方形波电流励磁;对前述扫描的扫描方向垂直相交的方向上使电子束偏向的偏向线圈,通过前述扫描线圈和偏向线...
该专利属于日新高电压工程公司所有,仅供学习研究参考,未经过日新高电压工程公司授权不得商用。
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