【技术实现步骤摘要】
本技术涉及一种冷却装置，具体的说是一种磁控溅射设备中对阴极靶材进行冷却的装置。
技术介绍
在现有的太阳能电池生产过程中，通过磁控溅射设备对太阳能电池溅镀A1层，磁控溅射原理简要表述如下在被溅射的阴极与阳极之间加一个正交磁场和电场，在高真空室中充入所需要的惰性气体(通常为氩气)，永久磁铁在靶材料表面形成250 350高斯的磁场，同高压电场组成正交电磁场。在电场的作用下，氩气电离成正离子和电子，耙上加有一定的负高压，从阴极发出的电子受磁场的作用与工作气体的电离几率增大，在阴极附近形成高密度的等离子体，氩离子在洛伦兹力的作用下加速飞向靶面，以很高的速度轰击靶面，使靶材上被溅射出来的原子遵循动量转换原理以较高的动能脱离靶面飞向基片淀积成膜。 如上所述，阴极靶材在工作过程中温度很高，对其生产的影响很大，所以必须寻找一种方法，能有效的对靶材进行降温，使靶材的温度不至于太高，影响设备的正常运行。
技术实现思路
本技术的目的是要提供一种结构简单合理，能够有效的在磁控溅射设备中对阴极靶材进行冷却的装置。本技术的目的是这样实现的该冷却装置包括仓体上壁、耙材、降温板，所述的降温板设置在仓...
【技术保护点】
一种磁控溅射设备的阴极冷却装置，其特征在于：该冷却装置包括仓体上壁（１）、靶材（２）、降温板（３），所述的降温板（３）设置在仓体上壁（１）和靶材（２）之间，其中在降温板（３）的内部设置由冷却水管道（４）。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：杨继泽，刘万学，张兵，王巍，程明辉，左腾，徐柏章，曲爽，
申请(专利权)人：吉林庆达新能源电力股份有限公司，
类型：实用新型
国别省市：22[中国|吉林]
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