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本实用新型涉及一种冷却装置，具体的说是一种磁控溅射设备中对阴极靶材进行冷却的装置。该冷却装置包括仓体上壁、靶材、降温板，所述的降温板设置在仓体上壁和靶材之间，其中在降温板的内部设置由冷却水管道。所述的降温板内部设置的冷却水管道包括两条管道，...
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