【技术实现步骤摘要】
本技术涉及太阳能电池生产领域，具体的说是一种在磁控溅射设备中溅镀A1 前对太阳能电池逐步加热的装置。
技术介绍
在现有的太阳能电池生产过程中，磁控溅射设备对太阳能电池进行A1层溅镀的 过程之前，要求保证太阳能电池达到一定的温度，以方便实现下一道工序溅镀的速度和达 到溅镀的效果，所以在溅镀工序之前要对太阳能电池进行加热。 以往的加热过程为让太阳能电池通过设置一定温度的加热炉，对太阳能电池进 行加热，因为加热温度一般在5(TC，所以加热炉的温度要稍大于5(TC，而电池直接进入该 温度的加热炉，急剧的温度变化会使电池的表面应力产生很大的变化，严重时甚至会发生 碎片现象。所以需要寻找一种合适的加热装置对太阳能电池进行加热，而不会对太阳能电 池造成损害。
技术实现思路
本技术的目的是要提供一种在磁控溅射设备中对太阳能电池进行溅镀前的 加热装置，该装置能够对太阳能电池进行循序渐进的分级加热，不会导致电池的表面应力 产生过大的变化和造成太阳能电池损害。 本技术的目的是这样实现的该加热装置包括并排设置的两个加热箱、电池 挂片箱、传送导轨，所述的传送导轨设置在两个加热箱的上面，电池挂...
【技术保护点】
一种磁控溅射溅镀前的太阳能电池加热装置，其特征在于：该加热装置包括并排设置的两个加热箱（１，２）、电池挂片箱（３）、传送导轨（４），所述的传送导轨（４）设置在两个加热箱（１，２）的上面，电池挂片箱（３）挂装在传送导轨（４）上。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：杨继泽，刘万学，张兵，刘志才，王德宏，孙学义，朱艳伟，钟福建，
申请(专利权)人：吉林庆达新能源电力股份有限公司，
类型：实用新型
国别省市：22[中国|吉林]
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