【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种磁控溅射镀膜线的屏蔽冷却系统，属于大面积磁控溅射镀膜生产设备。
技术介绍
对于连续式真空磁控溅射镀膜玻璃生产线来说，在镀膜过程中，阴极溅射会产生一定的溅射物和热量，而这些溅射物长期积累在真空腔室内不仅会影响热量的传导，而且还会影响镀膜腔室内的镀膜环境，从而对镀膜质量产生一定的影响，所以在镀膜时会希望将阴极产生的溅射物及时清理，同时也希望阴极产生的热量尽快传导出去。
技术实现思路
本专利技术旨在解决镀膜时阴极产生的溅射物的清理问题和阴极产生热量的传导问题。为了达成上述目的，提供了一种磁控溅射镀膜线的屏蔽冷却系统，包括屏蔽板、铜编织带、冷却管、底架、及连接板，所述连接板通过螺钉将所述底架连接起来，所述冷却管通过螺栓固定至所述底架，所述冷却管固定有所述铜编织带，所述屏蔽板通过螺钉安装在所述冷却管上，所述铜编织带紧密压在所述屏蔽板和所述冷却管之间，由此，所述铜编织带使所述屏蔽板和所述冷却管紧密贴合，从而增加传热面积。一些实施例中，所述连接板通过螺钉将所述底架连接在一起，由此保证该装置两侧处于同一水平面以增加其支撑的稳定性。一些实施例中，所述冷却...
【技术保护点】
一种磁控溅射镀膜线的屏蔽冷却系统，其特征在于，包括屏蔽板、铜编织带、冷却管、底架、及连接板，所述连接板通过螺钉将所述底架连接起来，所述冷却管通过螺栓固定至所述底架，所述冷却管固定有所述铜编织带，所述屏蔽板通过螺钉安装在所述冷却管上，所述铜编织带紧密压在所述屏蔽板和所述冷却管之间，由此，所述铜编织带使所述屏蔽板和所述冷却管紧密贴合，从而增加传热面积。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：井治，张仰平，刘锐，罗松松，张超群，王程，
申请(专利权)人：中国建材国际工程集团有限公司，
类型：发明
国别省市：上海;31
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。