【技术实现步骤摘要】
本技术涉及一种太阳能电池生产中对太阳能电池进行磁控溅射溅镀背电极时在设备内的传动装置，具体的说是一种磁控溅射生产线机械传动装置。
技术介绍
在现有太阳能电池生产中，磁控溅射设备的传动装置一直不规范，各种各样的传动装置都不够稳定，对太阳能电池的转换效率有较大的影响，需要寻找一种稳定的磁控溅射机械传动装置，保证传输过程的稳定性，减少对太阳能电池转换效率的影响。
技术实现思路
本技术的目的是要提供一种太阳能电池生产中，太阳能电池进行磁控溅射溅镀背电极时在设备内快速、稳定的一种传动装置。本技术的目的是这样实现的该传动装置包括机械手、上片台、运载小车、导轨、沉积舱室、下片台，所述的导轨构成一个矩形回路，其中上片台设置回路中A方向和D方向的交界处，多个沉积舱室设置在B方向的导轨上，运载小车被设置在导轨上，下片台设置在回路中C方向和D方向的交界处，所述的上片台和下片台上设置有机械手。 本技术由于采用上述结构，使得磁控溅射机械的传动更加稳定，具有结构简单、使用方便等优点。附图说明图1为本技术整体结构示意图。具体实施方式由附图所示该传动装置包括机械手1、上片台2、运载小车3、导轨4、...
【技术保护点】
一种磁控溅射生产线机械传动装置，其特征在于：该传动装置包括机械手（１）、上片台（２）、运载小车（３）、导轨（４）、沉积舱室（５）、下片台（６），所述的导轨（４）构成一个矩形回路，其中上片台（２）设置回路中Ａ方向和Ｄ方向的交界处，多个沉积舱室（５）设置在Ｂ方向的导轨上，运载小车（３）被设置在导轨（４）上，下片台（６）设置在回路中Ｃ方向和Ｄ方向的交界处，所述的上片台（２）和下片台（６）上设置有机械手（１）。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：杨继泽，刘万学，刘志才，崔庆春，孙学义，马力斌，强艳建，杜宏荀，
申请(专利权)人：吉林庆达新能源电力股份有限公司，
类型：实用新型
国别省市：22[中国|吉林]
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