温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本实用新型涉及一种太阳能电池生产中对太阳能电池进行磁控溅射溅镀背电极时在设备内的传动装置，具体的说是一种磁控溅射生产线机械传动装置。该传动装置包括机械手、上片台、运载小车、导轨、沉积舱室、下片台，所述的导轨构成一个矩形回路，其中上片台设置回...
该专利属于吉林庆达新能源电力股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过吉林庆达新能源电力股份有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。