工作腔及其制作方法技术

本发明专利技术的目的在于，提供一种能够保证具有适当的密封性、良好的组装操作性的工作腔及其制作方法。为达到上述目的，本发明专利技术一个实施方式的工作腔（１）具有第１工作腔分体（１０）、第２工作腔分体（２０）、密封部件（７１）。在具有上述结构的工作腔（１）中，第１工作腔分体（１０）与第２工作腔分体（２０）被相互接合在一起后，将密封部（７１ａ）沿着其接合部（Ｊ１）安装。所以，在接合工作腔分体１时能够较容易地对接合位置进行微调。进而，能够改善密封部件的安装操作性从而保证了适当的密封性。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及一种，该工作腔可作为真空容器使用，使其内部 维持在真空状态或减压状态，再具体一点说，本专利技术涉及的工作腔是由多个腔块经组合而 成的分体式结构。
技术介绍
用作成膜装置或蚀刻装置的真空腔随着基板的大型化，其尺寸也变得大型 化。例如，平板显示器用的玻璃基板的纵向与横向尺寸，预计第10代的产品可达到 2850mmX3250mm，第11代产品可达到3200mmX3700mm。所以真空腔今后也会逐渐大型化， 因而，从真空装置的装配操作性、制造成本等角度考虑，工作腔的结构及制作方法会越来越重要。真空腔的大型化会带来制作成本的提高、设置操作性降低、输送不便等的问题。已 知的技术中通过采用分体式结构的真空腔来解决上述问题。例如，在下述的专利文献1中， 记载有这样一种真空腔的制作方法，即，真空腔的真空腔主体由多个工作腔分体部件构成， 使形成在工作腔分体部件的接合面上的法兰部相互接合从而制作大型的真空腔。上述法兰 部通过多个螺栓相互接合，在该多个法兰部之间安装着密封部件，通过该密封部件，该真空 腔可保证其内部的密封性。现有技术文献专利文献专利文献1 日本专利技术专利公开公报特开2006本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种工作腔，其特征在于，包括：　　第１工作腔分体与第２工作腔分体，其为多面体形状且分别具有第１开口端部；　　第１连接机构，用于使上述第１工作腔分体与第２工作腔分体的各上述第１开口端部相互接合从而形成第１接合部；　　第１密封部件，其沿着上述第１接合部安装以密封上述第１工作腔分体与第２工作腔分体的内部。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】JP 2009-2-6 2009-0259851.一种工作腔，其特征在于，包括第1工作腔分体与第2工作腔分体，其为多面体形状且分别具有第1开口端部； 第1连接机构，用于使上述第1工作腔分体与第2工作腔分体的各上述第1开口端部 相互接合从而形成第1接合部；第1密封部件，其沿着上述第1接合部安装以密封上述第1工作腔分体与第2工作腔 分体的内部。2.根据权利要求1所述的工作腔，其特征在于， 上述第1接合部包括形成在上述第1开口端部的第1接合面；形成在上述第2开口端部且与上述第1接合面相正对的第2接合面， 上述第1连接机构为贯穿上述第1接合面与上述第2接合面并使上述第1接合面与上 述第2接合面相互接合的多个紧固件。3.根据权利要求2所述的工作腔，其特征在于，上述第1密封部件沿着上述第1接合部 安装，且位于上述紧固件的贯穿位置的外周侧。4.根据权利要求3所述的工作腔，其特征在于，上述紧固件具有保持上述第1工作腔分 体与上述第2工作腔分体的气密性的密封部。5.根据权利要求1所述的工作腔，其特征在于，沿着上述第1接合部形成有用于收装上 述第1密封部件的槽。6.根据权利要求5所述的工作腔，其特征在于，上述槽是在上述第1工作腔分体与上述 第2工作腔分体相接合后而形成。7.根据权利要求1所述的工作腔，其特征在于，还包括沿着上述第1接合部固定上述第 1密封部件的固定部。8.根据权利要求1所述的工作腔，其特征在于，上述第1工作腔分体与上述第2工作腔分体分别具有与上述第1开口端部相连的第2 开口端部，在由上述第1连接机构使上述第1工作腔分体与上述第2工作腔分体接合时，该 两方的第2开口端部相连，所述工作腔还包括将上述第1工作腔分体与上述第2工作腔分体的第2开口端部一并 覆盖的工作腔盖板。9.根据权利要求8所述的工作腔，其特征在于， 上述第1密封部件包括...

【专利技术属性】
技术研发人员：吉田大介，
申请(专利权)人：株式会社爱发科，
类型：发明
国别省市：JP[日本]