超高真空机械手制造技术

技术编号:4567945 阅读:213 留言:0更新日期:2012-04-11 18:40
本实用新型专利技术涉及真空设备。超高真空机械手,机械手外罩铰接抓手,抓手通过二连杆与驱动轴前端螺纹连接,驱动轴活动套装在驱动管内,驱动管前端通过连接件固定连接机械手外罩,连接件端面焊接波纹管一的一端,波纹管一的另一端和波纹管二分别焊接在连接盘的两面,波纹管二的另一端固定在真空连接法兰上,驱动管同时套装在波纹管一和波纹管二内,且驱动管后端与波纹管三的一端固定连接,波纹管三通过支持管与波纹管四固定连接成一体,且滑动套装在固定外筒内,固定外筒上装有固定把手,固定把手底端铰接活动把手。本实用新型专利技术实现超高真空环境中的任意角度摇摆,伸缩和抓放驱动。(*该技术在2019年保护过期,可自由使用*)

【技术实现步骤摘要】

超高真空机械手一、
-本技术涉及超高真空设备,特别是超高真空用的抓取装置。二、
技术介绍
超高真空技术是新材料合成,材料的物理化学性质分析和宇宙开 发的基本环境。为了实现在超高真空环境中的各种分析研究,离不开 对样品的传输和操纵,虽然真空环境中样品的操纵幅度较小,但是要 求在大气侧操作来控制真空环境中的样品,特别是通过机械手对样进 行操纵时,需要前后及旋转,运转灵活且要保持真空环境的密封效果, 目前尚无较理想的机械手对样品进行抓取,同时可以在真空环境中任 意角度摇摆且大距离移动。三、
技术实现思路
本技术的目的是克服上述不足问题,提供一种超高真空机械 手,结构简单,实现在超高真空环境中对样品进行抓取和大角度大距 离移动。本技术为实现上述目的所采用的技术方案是超高真空机械 手,机械手外罩铰接抓手,抓手通过二连杆与驱动轴前端螺纹连接, 驱动轴活动套装在驱动管内,驱动管前端通过连接件固定连接机械手 外罩,连接件端面焊接波纹管一的一端,波纹管一的另一端与连接盘焊接固定,连接盘同时焊接波纹管二的一端,波纹管二的另一端固定 安装在真空连接法兰上,驱动管同时套装在波纹管一和波纹管二内, 且驱动管后端与波纹管三的一端固定连接,波纹管三通过支持管与波 纹管四固定连接成一体,且滑动套装在固定外筒内,固定外筒上装有 固定把手,固定把手底端铰接活动把手,活动把手活动端与波纹管四 外套装有活动筒连接,滑动筒内通过轴承安装旋转金具,旋转金具与 波纹管四内安装的旋转杆固定连接,贯穿驱动管内的驱动轴后端置于 波纹管三内,且后端端头与旋转杆固定连接,旋转杆与旋转金具固定 连接,旋转金具端头装有限位旋钮,活动把手活动端置于滑动筒和限 位旋钮之间的间隙处。所述驱动管一端固定安装在连接件内,连接件固定连接机械手外罩。所述波纹管三与支持管通过刀口法兰固定连接。本技术采用四段波纹管构造,实现超高真空环境中的任意角 度摇摆,伸縮和抓放驱动,摇摆的驱动通过和真空连接法兰连接的第 一段波纹管来实现。伸縮驱动通过和第一段波纹管连接的第二段波纹 管来实现。第二段波纹管的长度根据要进行伸縮的距离来决定。第三 段波纹管通过刀口法兰来完成密封,通过外部把手实现的伸縮驱动可 以驱动机械手前端手臂的张合,从而完成样品的抓放驱动,第四段波 纹管用来实现前端手臂的旋转,和真空接触的部件,全部采用不锈钢 部件,有利于维持超高真空。采用焊接波纹管密封,即满足放出气体 少的要求,又使得摇摆,伸縮和直线驱动顺畅。采用金属刀口法兰,适合超高真空密封。构造全部采用金属部件,可耐高温烘烤。四、 附图说明图l为本技术外观结构图2为本技术剖视图3为本技术机械手结构示意图4为本技术旋转杆结构示意图5为本技术旋转金具结构示意图。五具体实施方式如图1、 2所示的超高真空机械手,机械手外罩2铰接抓手1, 抓手1通过二连杆27与驱动轴12前端螺纹连接,驱动轴活动套装在 驱动管13内(如图3所示),驱动管13前端固定安装在连接件内, 连接件固定连接机械手外罩,连接件端面焊接波纹管一3的一端,波 纹管一 1的另一端与连接盘14焊接固定,连接盘14同时焊接波纹管 二 4的一端,波纹管二 4的另一端固定安装在真空连接法兰5上,驱 动管13同时套装在波纹管一和波纹管二内,且驱动管后端与波纹管 三15的一端固定连接,波纹管三15外套装有复位弹簧16,波纹管 三的另一端通过刀口法兰17与支持管18固定连接,支持管18的另 一端与波纹管四19外套装的滑动筒20固定连接成一体,且滑动套装 在固定外筒21内,固定外筒上装有固定把手22,固定把手底端铰接 活动把手23,滑动筒内通过轴承安装旋转金具24 (如图5),旋转金 具与波纹管四内安装的旋转杆25 (如图4)固定连接,贯穿驱动管内 的驱动轴12后端置于波纹管三内,且后端端头与旋转杆25固定连接,旋转金具端头装有限位旋钮26,活动把手活动端置于滑动筒和限位 旋钮之间的间隙处。使用时真空连接法兰和真空腔体的相应法兰连接后,完成超高真 空的密封。压动活动把手的活动端,驱动波纹管三的伸縮驱动,波纹 管三伸縮驱动套装在波纹管一和波纹管二内的驱动管运动,用来实现 机械手的伸縮驱动,驱动轴的伸縮运动完成最前端机械手臂的张合驱 动。旋转限位旋钮,使得波纹管四旋转,从而驱动旋转杆旋转,旋转 杆带动驱动轴旋转,实现最前端机械手臂的旋转,固定螺钉可以固定 机械手的旋转角度。本文档来自技高网...

【技术保护点】
超高真空机械手,机械手外罩铰接抓手,抓手通过二连杆与驱动轴前端螺纹连接,其特征是:驱动轴活动套装在驱动管内,驱动管前端通过连接件固定连接机械手外罩,连接件端面焊接波纹管一的一端,波纹管一的另一端与连接盘焊接固定,连接盘同时焊接波纹管二的一端,波纹管二的另一端固定安装在真空连接法兰上,驱动管同时套装在波纹管一和波纹管二内,且驱动管后端与波纹管三的一端固定连接,波纹管三通过支持管与波纹管四固定连接成一体,且滑动套装在固定外筒内,固定外筒上装有固定把手,固定把手底端铰接活动把手,活动把手活动端与波纹管四外套装有活动筒连接,滑动筒内通过轴承安装旋转金具,旋转金具与波纹管四内安装的旋转杆固定连接,贯穿驱动管内的驱动轴后端置于波纹管三内,且后端端头与旋转杆固定连接,旋转杆与旋转金具固定连接,旋转金具端头装有限位旋钮,活动把手活动端置于滑动筒和限位旋钮之间的间隙处。

【技术特征摘要】
1、超高真空机械手,机械手外罩铰接抓手,抓手通过二连杆与驱动轴前端螺纹连接,其特征是驱动轴活动套装在驱动管内,驱动管前端通过连接件固定连接机械手外罩,连接件端面焊接波纹管一的一端,波纹管一的另一端与连接盘焊接固定,连接盘同时焊接波纹管二的一端,波纹管二的另一端固定安装在真空连接法兰上,驱动管同时套装在波纹管一和波纹管二内,且驱动管后端与波纹管三的一端固定连接,波纹管三通过支持管与波纹管四固定连接成一体,且滑动套装在固定外筒内,固定外筒上装有固定把手,固定把手底端铰接活动把手,...

【专利技术属性】
技术研发人员:郭方准
申请(专利权)人:大连齐维科技发展有限公司
类型:实用新型
国别省市:91[]

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