一种紫外线发射器制造技术

本实用新型专利技术涉及超高真空紫外线发射设备技术领域，具体为一种紫外线发射器。该发射器的带放电毛细管的阳极组件中放电毛细管的一端插接并固定于电极内，电极固定设于阳极法兰上，放电毛细管的另一端穿过阳极法兰，阳极法兰上设有放电气体的进气孔，进气孔连通进气组件；带引导毛细管的阴极组件中引导毛细管的一端穿过阴极件，阴极件固定安装于阴极法兰内，引导毛细管上开设有抽气口，抽气口连通所述差分抽组件；本实用新型专利技术提供的紫外线发射器，采用放电毛细管与氦气配合，通过电极进行放电，可有效产生紫外线，产生的紫外线光通过引导毛细管引出，引导毛细管起到对紫外线光束聚焦和导向的作用。

【技术实现步骤摘要】
一种紫外线发射器
本技术涉及超高真空紫外线发射设备
，具体为一种紫外线发射器。
技术介绍
瑞典科学家凯•西格巴恩于1958年成功研制出世界上第一台光电子能谱仪，可以分析物质的构成元素、化学状态和价电子带构造。激发光电子最常用的光源是氦紫外线光源，通过氦气的放电而发射的紫外线中有多种能量，其中以HeIα线（58.43nm，21.22eV）为主。HeIα光照射样品，表面原子的价电子被激发成光电子放出，进入能量分析器。扫描光电子能量，即可获得包括费米能级在内的价电子信息，扫描光电子发射角度，可获得价电子带的构造，从而可知价电子的状态。中国专利[CN201611040344.0]公开了一种放电气体辅助的无窗射频灯质谱电离源，该方案的无窗射频灯腔体置于电离源腔体上方，放电玻璃管上端密闭、下端开口，于电离源腔体顶部壁面开有通孔，放电玻璃管的开口端插接于顶部壁面通孔内，放电玻璃管与通孔内壁面密闭连接，于放电玻璃管中上部的外壁上缠绕有线圈，放电气体经毛细管与放电玻璃管内部相连通；缠绕有线圈的放电玻璃管置于一无窗射频灯腔体内；缠绕有线圈的放电玻璃管内构成紫外光线产生区，电荷转移反应电离所需的紫外光线在紫外光线产生区产生。但此装置中产生的紫外光线与放电气体一起进入电离源腔体内，通过紫外光线照射到样品分子发生电荷转移反应，在反应过程中，放电气体会影响样品分子的检测结果，并且无法实现紫外线光的有效产生、聚焦、引导及调整。
技术实现思路
为解决上述产生的紫外光线与放电气体一起进入电离源腔体内，放电气体会影响样品分子的检测结果，并且无法实现紫外线光的有效产生、聚焦、引导及调整的问题，本技术提供一种紫外线发射器，结构简单，操作方便，可在超高真空状态下有效工作。本技术为实现上述目的所采用的技术方案是：一种紫外线发射器，包括带放电毛细管的阳极组件、带引导毛细管的阴极组件及差分抽组件；所述带放电毛细管的阳极组件中放电毛细管的一端插接并固定于电极内，所述电极固定设于阳极法兰上，所述放电毛细管的另一端穿过阳极法兰，所述阳极法兰上设有放电气体的进气孔，所述进气孔连通进气组件；所述带引导毛细管的阴极组件中引导毛细管的一端穿过阴极件，所述阴极件固定安装于阴极法兰内，所述引导毛细管的另一端为紫外线出口，所述引导毛细管上开设有抽气口，所述抽气口连通差分抽组件；所述阳极法兰与阴极法兰密封连接，在阳极法兰与阴极法兰之间形成真空腔，放电毛细管的一端与引导毛细管的一端分别置于真空腔内，所述真空腔与阳极法兰上的进气孔连通。进一步的，还包括调整组件，所述调整组件包括带波纹管的外管，所述带波纹管的外管两端分别固定连接阴极法兰与连接法兰，所述阳极法兰、阴极法兰与连接法兰上开设有至少三组同轴的螺纹孔，所述螺纹孔内螺纹连接调节螺杆，所述调节螺杆的一端固定设有调节螺母。进一步的，所述差分抽组件包括抽气管，所述抽气管的一端设有抽气法兰，所述抽气管的另一端与带波纹管的外管固定连接，所述抽气管与抽气口连通。进一步的，所述带波纹管的外管内套装有内管一，所述内管一的一端与阴极件固定连接，内管一的另一端伸出带波纹管的外管，所述内管一内套装有内管二，所述内管二的一端与阴极件固定连接，内管二的另一端伸出内管一，所述引导毛细管通过固定螺母固定于内管二中，所述内管一与内管二上分别开设有连通抽气管与抽气口的通孔。进一步的，所述阴极件采用铜件，放电毛细管与引导毛细管分别采用玻璃毛细管，其余部件采用304不锈钢。进一步的，所述引导毛细管外设有屏蔽管，所述屏蔽管通过顶丝与内管二固定连接。进一步的，所述引导毛细管上开设有1~4个抽气口，每一个抽气口对应一个差分抽组件。进一步的，所述进气组件包括进气管，所述进气管的一端固定连接阳极法兰，进气管的另一端固定连接进气法兰。进一步的，所述放电毛细管通过缩紧锥形段与锁紧螺母固定于电极内。进一步的，所述阳极法兰上开设有通风机螺纹孔。本技术的技术效果和优点：1.本技术提供的紫外线发射器，采用直流放电方式，直流放电方式构造简单，成本低，放电稳定，容易普及；在对比文件中是采用放电玻璃管与线圈配合产生紫外线，本技术中在阳极组件中设置放电毛细管，在阴极组件中设置引导毛细管，放电毛细管与氦气配合，通过电极进行放电，可有效产生紫外线，产生的紫外线光束通过引导毛细管引出，引导毛细管起到对紫外线光束聚焦和导向的作用；2.调整组件可通过波纹管、调节螺杆及调节螺母的配合，可调节引导毛细管的紫外线出口方向，使紫外线光束可更准确灵活的对准样品；3.放电毛细管通过缩紧锥形段与锁紧螺母固定于电极内，引导毛细管通过固定螺母固定于内管二中，在使用过程中，方便放电毛细管及引导毛细管的更换；4.采用多级差分抽组件，对引导毛细管进行抽真空，可有效减少由于放电气体的进入对整个真空系统真空度的影响，可有效保持超高真空环境，并且将引导毛细管里的放电气体去除，减少对检测样品的污染与影响，提高检测数据准确性；5.带波纹管的外管内套装有内管一，内管一内套装有内管二，内管一与内管二可对引导毛细管起保护作用，并组成差分抽系统，对引导毛细管进行抽真空处理；6.在引导毛细管外设置屏蔽管，可对引导毛细管起到保护作用；7.阴极件采用铜件，因为铜具有良好的导热性及较低的溅射率，适合作为阴极，放电毛细管与引导毛细管分别采用玻璃毛细管，其余部件采用304不锈钢，可耐220℃的高温烘烤,提高本装置的使用寿命；8.在阳极法兰上开设通风机螺纹孔用于连接通风机，使用通风机可对阳极进行冷却降温。附图说明图1为本技术的外部结构示意图；图2为本技术的俯视图；图3为本技术的内部剖视图；图4为本技术的带放电毛细管的阳极组件剖视图；图5为本技术的带引导毛细管的阴极组件与差分抽组件剖视图；图6为本技术的缩紧锥形段示意图；图中：1-电极，2-进气法兰，3-调节螺母，4-阳极法兰，5-阴极法兰，6-带波纹管的外管，7-连接法兰，8-内管一，9-屏蔽管，10-引导毛细管，11-调节螺杆，12-抽气管，13-抽气法兰，14-通风机螺纹孔，15-放电毛细管，16-缩紧锥形段，17-锁紧螺母，18-进气管，19-阴极件，20-波纹管，21-顶丝，22-固定螺母，23-内管二，24-抽气口，25-真空腔。具体实施方式下面结合附图与实施例对本技术进行详细说明。实施例1：如图1-6所示，本实施例中提供的其中一种紫外线发射器，包括带放电毛细管的阳极组件、带引导毛细管的阴极组件及差分抽组件；带放电毛细管的阳极组件包括放电毛细管15，放电毛细管15的一端插接并固定于电极1内，放电毛细管15通过缩紧锥形段16与锁紧螺母17固定于电极1内，电极1固定设于阳极法兰4上，放电毛细管15的另一端穿过阳极法兰4，阳极法兰4上设有放电气体的进气孔，进气孔连通进气组件，本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种紫外线发射器，其特征在于：包括带放电毛细管的阳极组件、带引导毛细管的阴极组件及差分抽组件；/n所述带放电毛细管的阳极组件中放电毛细管的一端插接并固定于电极内，所述电极固定设于阳极法兰上，所述放电毛细管的另一端穿过阳极法兰，所述阳极法兰上设有放电气体的进气孔，所述进气孔连通进气组件；/n所述带引导毛细管的阴极组件中引导毛细管的一端穿过阴极件，所述阴极件固定安装于阴极法兰内，所述引导毛细管的另一端为紫外线出口，所述引导毛细管上开设有抽气口，所述抽气口连通差分抽组件；/n所述阳极法兰与阴极法兰密封连接，在阳极法兰与阴极法兰之间形成真空腔，放电毛细管的一端与引导毛细管的一端分别置于真空腔内，所述真空腔与阳极法兰上的进气孔连通。/n

【技术特征摘要】
1.一种紫外线发射器，其特征在于：包括带放电毛细管的阳极组件、带引导毛细管的阴极组件及差分抽组件；
所述带放电毛细管的阳极组件中放电毛细管的一端插接并固定于电极内，所述电极固定设于阳极法兰上，所述放电毛细管的另一端穿过阳极法兰，所述阳极法兰上设有放电气体的进气孔，所述进气孔连通进气组件；
所述带引导毛细管的阴极组件中引导毛细管的一端穿过阴极件，所述阴极件固定安装于阴极法兰内，所述引导毛细管的另一端为紫外线出口，所述引导毛细管上开设有抽气口，所述抽气口连通差分抽组件；
所述阳极法兰与阴极法兰密封连接，在阳极法兰与阴极法兰之间形成真空腔，放电毛细管的一端与引导毛细管的一端分别置于真空腔内，所述真空腔与阳极法兰上的进气孔连通。


2.根据权利要求1所述的一种紫外线发射器，其特征在于：还包括调整组件，所述调整组件包括带波纹管的外管，所述带波纹管的外管两端分别固定连接阴极法兰与连接法兰，所述阳极法兰、阴极法兰与连接法兰上开设有至少三组同轴的螺纹孔，所述螺纹孔内螺纹连接调节螺杆，所述调节螺杆的一端固定设有调节螺母。


3.根据权利要求2所述的一种紫外线发射器，其特征在于：所述差分抽组件包括抽气管，所述抽气管的一端设有抽气法兰，所述抽气管的另一端与带波纹管的外管固定连接，所述抽气管与抽气口连通。


4.根据权利要求...

【专利技术属性】
技术研发人员：郭方准，
申请(专利权)人：大连齐维科技发展有限公司，
类型：新型
国别省市：辽宁;21