【技术实现步骤摘要】
重负载高精度真空样品台
[0001]本专利技术涉及超高真空技术,尤其涉及一种重负载高精度真空样品台。
技术介绍
[0002]在设计使用光学系统时,为了达到一种相对较好的设计使用要求,会采用计算进行估量或者进行实际测量。而通过计算所得到的光学元件的数值结果与实际测量的光学元件的光学常数会相差较大,因此,设计重负载高精度真空样品台来进行对光学元件光学常数的实际测量意义非常深远。
[0003]反射率计量装置是通过由大气中传入到主真空腔体内的过程来实现样品和探测器扫描的运动。目前随着各种反射率光学元件的广泛应用,对于反射率测量精度的要求也越来越高。因此对于反射率计量装置来说,最重要的在于提高它的测量精度。除了测量精度以外,对于装置的操作简便性也不能忽视。因此亟待一种简便的能够实现多维度运动的重负载高精度真空样品台。
技术实现思路
[0004]本专利技术的目的在于,针对传统反射率计量装置的反射率计量过程繁琐且设备操作不够方便问题,提出一种重负载高精度真空样品台,该样品台能提高扫描速度及反射率测量的精准度。在真空可靠、真空度高的前提下,对于样品实际光学常数的测量准确有着重要意义。
[0005]为实现上述目的,本专利技术采用的技术方案是:一种重负载高精度真空样品台,包括样品扫描系统、样品直线驱动机构和差分旋转机构;所述样品扫描系统用于固定待测样品,并能实现待测样品在Y、Z方向上的移动和转动;所述样品直线驱动机构与样品扫描系统连接,并能实现样品扫描系统X方向上的移动;所述差分旋转机构通过样品直线驱动机 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种重负载高精度真空样品台,其特征在于,包括样品扫描系统、样品直线驱动机构和差分旋转机构;所述样品扫描系统用于固定待测样品,并能实现待测样品在Y、Z方向上的移动和转动;所述样品直线驱动机构与样品扫描系统连接,并能实现样品扫描系统X方向上的移动;所述差分旋转机构通过样品直线驱动机构与样品扫描系统连接,并能实现样品扫描系统以X方向为轴转动。2.根据权利要求1所述重负载高精度真空样品台,其特征在于,所述样品扫描系统包括:镜架固定架(1)、第一转角仪(21)、第二转角仪(22)、第一滑动板(121)、第二滑动板(122)、第一固定底板(31)、第二固定底板(32)、第一电机(111)、第二电机(112)、第三电机(113)、第四电机(114)、第一丝杠结构和第二丝杠结构;所述第一丝杠结构包括配合设置的第一滚珠丝杠(141)和第一螺母(131),所述第二丝杠结构包括配合设置的第二滚珠丝杠(142)和第二螺母(132);待测样品由镜架固定架(1)固定在重负载高精度真空样品台上,所述镜架固定架(1)、第一转角仪(21)、第二转角仪(22)、第一滑动板(121)、第一丝杠结构、第一固定底板(31)、第二滑动板(122)、第二丝杠结构和第二固定底板(32)顺次连接;所述第一电机(111)能驱动第一转角仪(21)转动,所述第三电机(113)能驱动第二转角仪(22)转动;所述第二电机(112)通过联轴器与第一滚珠丝杠(141)连接,所述第一螺母(131)与第一滑动板(121)连接,所述第一丝杠结构的轴承座与第一固定底板(31)连接;所述第二电机(112)带动着联轴器转动,带动第一滚珠丝杠(141)转动,使与第一滚珠丝杠(141)配合的第一螺母(131)在Z方向上移动,使固定在镜架固定架(1)上的待测样品在Z方向上移动;第一固定底板(31)背离第一丝杠结构的一侧与第二滑动板(122)相连,所述第四电机(114)通过联轴器与第二滚珠丝杠(142)连接,所述第二螺母(132)与第二滑动板(122)连接,所述第二丝杠结构的轴承座与第二固定底板(32)连接;第四电机(114)带动着联轴器转动,带动第二滚珠丝杠(142)转动,使与第二滚珠丝杠(142)配合的第二螺母(132)在Y方向上移动,使固定在镜架固定架(1)上的待测样品在Y方向上移动。3.根据权利要求2所述重负载高精度真空样品台,其特征在于,所述第一电机(111)能驱动第一转角仪(21)绕着Z轴转动,所述第三电机(113)能驱动第二转角仪(22)绕着Y轴转动。4.根据权利要求3所述重负载高精度真空样品台,其特征在于,所述第一转角仪(21)转动范围为
±
15
°
,所述第二...
【专利技术属性】
技术研发人员:郭方准,石晓倩,赵荟如,
申请(专利权)人:大连齐维科技发展有限公司,
类型:发明
国别省市:
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