一种紫外线发射器制造技术

本发明专利技术涉及超高真空紫外线发射设备技术领域，具体为一种紫外线发射器。该发射器的带放电毛细管的阳极组件中放电毛细管的一端插接并固定于电极内，电极固定设于阳极法兰上，放电毛细管的另一端穿过阳极法兰，阳极法兰上设有放电气体的进气孔，进气孔连通进气组件；带引导毛细管的阴极组件中引导毛细管的一端穿过阴极件，阴极件固定安装于阴极法兰内，引导毛细管上开设有抽气口，抽气口连通所述差分抽组件；本发明专利技术提供的紫外线发射器，采用放电毛细管与氦气配合，通过电极进行放电，可有效产生紫外线，产生的紫外线光通过引导毛细管引出，引导毛细管起到对紫外线光束聚焦和导向的作用。

【技术实现步骤摘要】
一种紫外线发射器
本专利技术涉及超高真空紫外线发射设备
，具体为一种紫外线发射器。
技术介绍
瑞典科学家凯•西格巴恩于1958年成功研制出世界上第一台光电子能谱仪，可以分析物质的构成元素、化学状态和价电子带构造。激发光电子最常用的光源是氦紫外线光源，通过氦气的放电而发射的紫外线中有多种能量，其中以HeIα线（58.43nm，21.22eV）为主。HeIα光照射样品，表面原子的价电子被激发成光电子放出，进入能量分析器。扫描光电子能量，即可获得包括费米能级在内的价电子信息，扫描光电子发射角度，可获得价电子带的构造，从而可知价电子的状态。中国专利[CN201611040344.0]公开了一种放电气体辅助的无窗射频灯质谱电离源，该方案的无窗射频灯腔体置于电离源腔体上方，放电玻璃管上端密闭、下端开口，于电离源腔体顶部壁面开有通孔，放电玻璃管的开口端插接于顶部壁面通孔内，放电玻璃管与通孔内壁面密闭连接，于放电玻璃管中上部的外壁上缠绕有线圈，放电气体经毛细管与放电玻璃管内部相连通；缠绕有线圈的放电玻璃管置于一无窗射频灯腔体内；缠绕有线圈的放电玻本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种紫外线发射器，其特征在于：包括带放电毛细管的阳极组件、带引导毛细管的阴极组件及差分抽组件；/n所述带放电毛细管的阳极组件中放电毛细管的一端插接并固定于电极内，所述电极固定设于阳极法兰上，所述放电毛细管的另一端穿过阳极法兰，所述阳极法兰上设有放电气体的进气孔，所述进气孔连通进气组件；/n所述带引导毛细管的阴极组件中引导毛细管的一端穿过阴极件，所述阴极件固定安装于阴极法兰内，所述引导毛细管的另一端为紫外线出口，所述引导毛细管上开设有抽气口，所述抽气口连通差分抽组件；/n所述阳极法兰与阴极法兰密封连接，在阳极法兰与阴极法兰之间形成真空腔，放电毛细管的一端与引导毛细管的一端分别置于真空腔内，所...

【技术特征摘要】
1.一种紫外线发射器，其特征在于：包括带放电毛细管的阳极组件、带引导毛细管的阴极组件及差分抽组件；
所述带放电毛细管的阳极组件中放电毛细管的一端插接并固定于电极内，所述电极固定设于阳极法兰上，所述放电毛细管的另一端穿过阳极法兰，所述阳极法兰上设有放电气体的进气孔，所述进气孔连通进气组件；
所述带引导毛细管的阴极组件中引导毛细管的一端穿过阴极件，所述阴极件固定安装于阴极法兰内，所述引导毛细管的另一端为紫外线出口，所述引导毛细管上开设有抽气口，所述抽气口连通差分抽组件；
所述阳极法兰与阴极法兰密封连接，在阳极法兰与阴极法兰之间形成真空腔，放电毛细管的一端与引导毛细管的一端分别置于真空腔内，所述真空腔与阳极法兰上的进气孔连通。


2.根据权利要求1所述的一种紫外线发射器，其特征在于：还包括调整组件，所述调整组件包括带波纹管的外管，所述带波纹管的外管两端分别固定连接阴极法兰与连接法兰，所述阳极法兰、阴极法兰与连接法兰上开设有至少三组同轴的螺纹孔，所述螺纹孔内螺纹连接调节螺杆，所述调节螺杆的一端固定设有调节螺母。


3.根据权利要求2所述的一种紫外线发射器，其特征在于：所述差分抽组件包括抽气管，所述抽气管的一端设有抽气法兰，所述抽气管的另一端与带波纹管的外管固定连接，所述抽气管与抽气口连通。


4.根据权利要求...

【专利技术属性】
技术研发人员：郭方准，
申请(专利权)人：大连齐维科技发展有限公司，
类型：发明
国别省市：辽宁;21