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本发明涉及超高真空紫外线发射设备技术领域，具体为一种紫外线发射器。该发射器的带放电毛细管的阳极组件中放电毛细管的一端插接并固定于电极内，电极固定设于阳极法兰上，放电毛细管的另一端穿过阳极法兰，阳极法兰上设有放电气体的进气孔，进气孔连通进气组...
该专利属于大连齐维科技发展有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过大连齐维科技发展有限公司授权不得商用。

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