钯铬溅射薄膜高温压力传感器制造技术

本实用新型专利技术涉及钯铬溅射薄膜高温压力传感器，包括接管嘴、膜片组件、转接座、壳体和插座，膜片组件包括蓝宝石膜片以及设置在蓝宝石膜片的薄膜层；薄膜层由内到外依次包括经离子束溅射形成的第一绝缘层、第二绝缘层、应变电阻层、补偿电阻层、焊盘层和保护层；第一绝缘层为Ｔａ２Ｏ５薄膜，所述第二绝缘层为ＳｉＯ２薄膜，应变电阻层为ＰｄＣｒ１３薄膜，补偿电阻层为Ｐｔ薄膜，焊盘层为Ａｕ薄膜，保护层为Ａｌ２Ｏ３薄膜。本实用新型专利技术解决了现有高温压力传感器测量范围有限、可靠性差、测量复杂程度高的技术问题。本实用新型专利技术结构的传感器具备了高温环境下工作的能力。（*该技术在2019年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种自补偿合金薄膜高温压力传感器。
技术介绍
高温介质压力测量的关键是耐高温应变电阻材料的研制、材料防氧化措施以及保 证传感器具有好的温度性能。目前高温压力传感器工作最高温度约300°C，更高温度下的介 质压力测量需采用水冷式传感器或加引压管间接测量，导致测量不便，复杂程度增加，更限 制了此种测量方式只能用于地面测试；若利用传感器直接测量高温介质，则传感器的弹性 膜片、敏感材料会在高温下失效。因此，现有的压力传感器在测量高温燃气介质时存在较大 的局限性。
技术实现思路
本技术目的是提供一种钯铬溅射薄膜高温压力传感器，其解决了现有高温压 力传感器测量范围有限、可靠性差、测量复杂程度高的技术问题。本技术的技术方案为一种钯铬溅射薄膜高温压力传感器，包括接管嘴1、膜片组件2、转接座3、壳体4 和插座5，其特殊之处在于所述膜片组件2包括蓝宝石膜片21以及设置在蓝宝石膜片21 的薄膜层；所述薄膜层由内到外依次包括经离子束溅射形成的第一绝缘层22、第二绝缘层 23、应变电阻层24、补偿电阻层25、焊盘层26和保护层27 ；所述第一绝缘层22为Ta205薄 膜，所述第二绝缘层23为Si02本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种钯铬溅射薄膜高温压力传感器，包括接管嘴（１）、膜片组件（２）、转接座（３）、壳体（４）和插座（５），其特征在于：所述膜片组件（２）包括蓝宝石膜片（２１）以及设置在蓝宝石膜片（２１）的薄膜层；所述薄膜层由内到外依次包括经离子束溅射形成的第一绝缘层（２２）、第二绝缘层（２３）、应变电阻层（２４）、补偿电阻层（２５）、焊盘层（２６）和保护层（２７）；所述第一绝缘层（２２）为Ｔａ↓［２］Ｏ↓［５］薄膜，所述第二绝缘层（２３）为ＳｉＯ↓［２］薄膜，所述应变电阻层（２４）为ＰｄＣｒ↓［１３］薄膜，所述补偿电阻层（２５）为Ｐｔ薄膜，所述焊盘层（２６）为Ａｕ薄膜，所述保护层（２７）为Ａｌ↓［２］Ｏ↓［３］...

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：李伟，
申请(专利权)人：中国航天科技集团公司第六研究院第十一研究所，
类型：实用新型
国别省市：87[中国|西安]