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本实用新型涉及钯铬溅射薄膜高温压力传感器，包括接管嘴、膜片组件、转接座、壳体和插座，膜片组件包括蓝宝石膜片以及设置在蓝宝石膜片的薄膜层；薄膜层由内到外依次包括经离子束溅射形成的第一绝缘层、第二绝缘层、应变电阻层、补偿电阻层、焊盘层和保护层；...该专利属于中国航天科技集团公司第六研究院第十一研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国航天科技集团公司第六研究院第十一研究所授权不得商用。