溅射薄膜式土壤压力传感器制造技术

本发明专利技术公开了一种溅射薄膜式土壤压力传感器，包括弹性敏感元件、圆环形薄壁筒、圆膜式应变片、引线转接板和密封上盖，弹性敏感元件与圆环形薄壁筒的下端固定连接，圆膜式应变片设置在圆环形薄壁筒内并与弹性敏感元件的内表面贴合，引线转接板设置在圆环形薄壁筒内并位于圆膜式应变片的上方，圆膜式应变片的电极点通过金丝引线与引线转接板下表面的转接焊接点连接，引线转接板上表面的转接焊接点通过信号引出线与普通信号引线连接，密封上盖与圆环形薄壁筒的上端固定连接。本发明专利技术采用圆膜式应变片与圆环形薄壁筒分离的结构设计，避免在生产中使用粘接胶，消除了粘接胶受环境温度的影响而引起传感器性能的不稳定，提高传感器的可靠性。

【技术实现步骤摘要】
溅射薄膜式土壤压力传感器
本专利技术涉及一种压力传感器，尤其涉及一种溅射薄膜式土壤压力传感器。
技术介绍
随着现代建筑业的高速发展，大量的修建地铁、隧道、高铁、大桥、高层建筑、水电站等设施和地质灾害的防治，都需要预知并分析土体力学性质和稳定性，这就要求能够精确测量土壤的有效应力。现有市场上的超薄圆扣式土壤压力传感器是在弹性圆膜周边固支的圆形凹槽整体结构的圆形凹槽内的圆膜表面上采用粘接胶粘接应变片制成弹性敏感元件，再采用特殊胶粘接上盖，应变片引线经由圆形凹槽整体结构侧壁上的引线孔引出，焊接于上盖外凸的粘接了转接板的小手柄上的转节点，上述结构导致其土壤传感器存在下述缺陷：1、圆形凹槽整体结构底部的内表面做为传感器的感应面，机械加工难度大，加工成本高，形位公差不易控制和一致，不易于内表面研磨处理和批量研磨；2、采用粘贴胶粘接应变片于弹性体感应面上组合成弹性敏感元件，使得传感器的最终性能受机械加工的影响较大，对周围环境的影响特别敏感，受环境温度影响大，时漂大，同时使用粘接胶粘接密封上盖，在水中容易渗漏和脱落，工作温度范围窄；3、应变片引线转接点所在的小手柄厚度是由焊点和防水胶厚度的叠加，其高本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种溅射薄膜式土壤压力传感器，其特征在于：包括弹性敏感元件、圆环形薄壁筒、圆膜式应变片、引线转接板和密封上盖，所述弹性敏感元件与所述圆环形薄壁筒的下端固定连接，所述圆膜式应变片设置在所述圆环形薄壁筒内并与所述弹性敏感元件的内表面贴合，所述引线转接板设置在所述所述圆环形薄壁筒内并位于所述圆膜式应变片的上方，所述圆膜式应变片的电极点通过金丝引线与所述引线转接板下表面的转接焊接点连接，所述引线转接板上表面的转接焊接点通过信号引出线与普通信号引线连接，所述密封上盖与所述圆环形薄壁筒的上端固定连接。

【技术特征摘要】
1.一种溅射薄膜式土壤压力传感器，其特征在于：包括弹性敏感元件、圆环形薄壁筒、圆膜式应变片、引线转接板和密封上盖，所述弹性敏感元件与所述圆环形薄壁筒的下端固定连接，所述圆膜式应变片设置在所述圆环形薄壁筒内并与所述弹性敏感元件的内表面贴合，所述引线转接板设置在所述所述圆环形薄壁筒内并位于所述圆膜式应变片的上方，所述圆膜式应变片的电极点通过金丝引线与所述引线转接板下表面的转接焊接点连接，所述引线转接板上表面的转接焊接点通过信号引出线与普通信号引线连接，所述密封上盖与所述圆环形薄壁筒的上端固定连接，所述弹性敏感元件为超薄金属圆片，所述圆膜式应变片为真空溅射金属合金薄膜，所述圆环形薄壁筒内壁设置有用于固定所述引线转接板的固定支撑架，所述圆环形薄壁筒的侧壁设置有引线孔，所述引线孔位于所述引线转接...

【专利技术属性】
技术研发人员：黎启胜，唐俐，胡绍全，刘伟，王小龙，时海亮，胡东平，王远，李代生，曾永菊，朱昌亚，
申请(专利权)人：中国工程物理研究院总体工程研究所，
类型：发明
国别省市：四川;51