下载溅射薄膜式土壤压力传感器的技术资料

文档序号:11854859

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本发明公开了一种溅射薄膜式土壤压力传感器,包括弹性敏感元件、圆环形薄壁筒、圆膜式应变片、引线转接板和密封上盖,弹性敏感元件与圆环形薄壁筒的下端固定连接,圆膜式应变片设置在圆环形薄壁筒内并与弹性敏感元件的内表面贴合,引线转接板设置在圆环形薄壁...
该专利属于中国工程物理研究院总体工程研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国工程物理研究院总体工程研究所授权不得商用。

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